擴散泵開始抽高真空后真空度上升很慢
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真空室是1.5立方米，配600擴散泵，原來抽到0.05pa只要3分鐘，現(xiàn)在需要20分鐘，不是突然變成這樣的，是非常緩慢的一個過程。真空度在2pa以下時再上升就非常慢了！ 求教了
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- 茵囡 2010-08-01 00:00:00
- 真空泵問題，或者漏氣
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- chenzhiwang111 2010-08-02 00:00:00
- 我是從事真空泵油的，設備方面不是很清楚。但是如果油的品質不夠好的話，是會出現(xiàn)這樣的情況的，隨著氣溫的變化是有可能出現(xiàn)這樣的情況的。不知道你配套的是什么型號的擴散泵油了。
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- fukren3897 2010-08-02 00:00:00
- 擴散泵泵油不夠，冷卻水，水溫過高，都會使擴散泵效率達不到..
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- long20090501 2018-04-22 10:26:54
- 首先檢查真空室的密封 2，關閉所有閥門，測試泵本身抽真空能力 3 更換真空泵油 4 更換密封墊
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