今天主要講下，關(guān)于表面形貌的測量：

通?？煞纸佑|式與非接觸式兩種，在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域中，這兩個(gè)方法具有互補(bǔ)性，并且各有不同，因此在實(shí)際應(yīng)用以及選擇機(jī)器的時(shí)候，一定要根據(jù)具體情況而定，建議先咨詢相關(guān)的技術(shù)工程師。

本期主要說下接觸式表面形貌測量儀器：臺階儀

臺階儀根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。

基本工作原理如下：

當(dāng)臺階儀的觸針在被測的物體表面輕輕滑過時(shí)，被接觸的物體表面微小的峰谷就會(huì)讓觸針在進(jìn)行滑行的同時(shí)也做一些上下運(yùn)動(dòng)。因此表面輪廓的情況在一定程度上就被觸針的運(yùn)動(dòng)情況所體現(xiàn)出來。

以優(yōu)尼康主推的KLA臺階儀D-Series & P-series為例，簡單看下：

觸針傳感器技術(shù)：高度分辨率低于0.1納米

光學(xué)杠桿傳感器: D-Series

電容傳感器 (LVDC): P-Series

所有KLA系列臺階儀探針均由金剛石制成，具有出色的可靠性

應(yīng)用：

醫(yī)用支架臺階高度；藥庫深度
ITO薄膜臺階高度；20到200 nm臺階

太陽能電池

蝕刻工藝

LED氮化鎵外延缺陷檢測

太陽能板形貌

硅片減薄形貌

圓角測試

臺階儀作為一種接觸式的表面形貌測量儀器,其在很多領(lǐng)域都有著較為廣泛的應(yīng)用。在使用設(shè)備的過程中也會(huì)有很多注意事項(xiàng)，今天上海爾迪儀器科技有限公司就帶大家看看需要注意的地方：

1.取放臺階儀樣品時(shí)都要貼著樣品臺。

2.保證被測樣品表面干凈沒有灰塵顆粒以防弄臟針尖。

3.樣品臺階不超過要求，不可太粗糟，平面度要在儀器量程內(nèi)。

4.在測試和啟動(dòng)軟件的時(shí)候，請確認(rèn)臺階儀上的門是關(guān)著的。

5.在進(jìn)行測試的時(shí)候請勿觸摸防震桌或者奔跑等，避免引起較大噪聲和震動(dòng)的活動(dòng)以免影響測試結(jié)果甚至損壞探針。

6.測完數(shù)據(jù)后及時(shí)拷走以防系統(tǒng)崩潰而丟失數(shù)據(jù)。測完后請關(guān)閉總電源

bruker是分子和材料研究以及工業(yè)和應(yīng)用分析科學(xué)儀器的制造商。致力于研發(fā)高水平、高精度分析儀器。一直堅(jiān)持為每項(xiàng)分析工作提供高精的技術(shù)解決方案。 

Bruker Dektak-XT 臺階儀是五十多年專有技術(shù)進(jìn)步的TOP。它們提供可重復(fù)、可靠和準(zhǔn)確的測量:從傳統(tǒng)的臺階高度測量和二維粗糙度的表面表征到高級三維形貌和薄膜應(yīng)力分析。bruker臺階儀已被廣泛接受為薄膜厚度、應(yīng)力、表面粗糙度和形貌測量的金標(biāo)準(zhǔn)，應(yīng)用到從學(xué)術(shù)研究到半導(dǎo)體過程控制等不同領(lǐng)域。

Bruker?Dektak?臺階儀在上海爾迪儀器科技有限公司有售，不知道怎么選型？不知道產(chǎn)品適配什么樣的機(jī)器？上海爾迪儀器科技有限公司具有免費(fèi)的售前咨詢及方案制定，更多詳細(xì)資料、產(chǎn)品咨詢，可聯(lián)系我司。

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器 。根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

·操作簡易，從研發(fā)到質(zhì)量控制都有更好的過程控制。

·能夠在微電子，半導(dǎo)體，太陽能、超高亮度發(fā)光二極管（LED）、醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等行業(yè)實(shí)現(xiàn)納米級表面形貌測量。

·測量精度較高、量程大、測量結(jié)果穩(wěn)定可靠、重復(fù)性好

·可以作為其它形貌測量技術(shù)的比對

主要應(yīng)用范圍：

·大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所
·半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體
·LED：發(fā)光二極管

·太陽能
·MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)
·數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
·汽車
·醫(yī)療設(shè)備

布魯克DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項(xiàng)創(chuàng)新性的設(shè)計(jì)，可以提供無與倫比的重現(xiàn)性，重現(xiàn)性低于4A。臺階儀這項(xiàng)性能的提高達(dá)到了過去四十年 Dektak 技術(shù)創(chuàng)新的頂峰，更加鞏固了其行業(yè)領(lǐng)先地位。通過整合其行業(yè)領(lǐng)先產(chǎn)品，DektakXT實(shí)現(xiàn)了最高性能。

更多詳細(xì)資料，可聯(lián)系上海爾迪儀器科技有限公司，撥打電話021-62211270！021-62211270！

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器 。根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

·操作簡易，從研發(fā)到質(zhì)量控制都有更好的過程控制。

·能夠在微電子，半導(dǎo)體，太陽能、超高亮度發(fā)光二極管（LED）、醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等行業(yè)實(shí)現(xiàn)納米級表面形貌測量。

·測量精度較高、量程大、測量結(jié)果穩(wěn)定可靠、重復(fù)性好

·可以作為其它形貌測量技術(shù)的比對

主要應(yīng)用范圍：

·大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所
·半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體
·LED：發(fā)光二極管

·太陽能
·MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)
·數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
·汽車
·醫(yī)療設(shè)備

布魯克DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項(xiàng)創(chuàng)新性的設(shè)計(jì)，可以提供無與倫比的重現(xiàn)性，重現(xiàn)性低于4A。臺階儀這項(xiàng)性能的提高達(dá)到了過去四十年 Dektak 技術(shù)創(chuàng)新的頂峰，更加鞏固了其行業(yè)領(lǐng)先地位。通過整合其行業(yè)領(lǐng)先產(chǎn)品，DektakXT實(shí)現(xiàn)了高性能。