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安徽歌博A500型氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用于離子注入機(jī)檢漏

安徽歌博科技有限公司 2020-03-10 15:39:59 641  瀏覽
  •        離子注入機(jī)是集成電路制造前工序中的關(guān)鍵設(shè)備,離子注入是對(duì)半導(dǎo)體表面附近區(qū)域進(jìn)行摻雜的技術(shù),其目的是改變半導(dǎo)體的載流子濃度和導(dǎo)電類型。離子注入與常規(guī)熱摻雜工藝相比可對(duì)注入劑量、注入角度、注入深度、橫向擴(kuò)散等方面進(jìn)行精確的控制,克服了常規(guī)工藝的限制,提高了電路的集成度、開啟速度、成品率和壽命,降低了成本和功耗。離子注入機(jī)廣泛用于摻雜工藝,可以滿足淺結(jié)、低溫和精確控制等要求,已成為集成電路制造工藝中必不可少的關(guān)鍵裝備。   

           離子注入機(jī)通常由離子源、離子引入和質(zhì)量分析器、加速管、掃描系統(tǒng)和工藝腔等組成。離子源是把需要注入的元素氣態(tài)粒子電離成離子,決定要注入離子的種類和束流強(qiáng)度。離子源直流放電或高頻放電產(chǎn)生的電子作為轟擊粒子,當(dāng)外來電子的能量高于原子的電離電位時(shí),通過碰撞使元素發(fā)生電離。碰撞后除了原始電子外,還出現(xiàn)正電子和二次電子。正離子進(jìn)入質(zhì)量分析器選出需要的離子,再經(jīng)過加速器獲得較高能量,由四級(jí)透鏡聚焦后進(jìn)入靶室,進(jìn)行離子注入。

     

           作為高真空設(shè)備,其出廠、安裝、維護(hù)都離不開氦質(zhì)譜檢漏儀。由于半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)需要高潔凈度,通常離子注入機(jī)設(shè)備都是選用干泵型的氦質(zhì)譜檢漏儀來滿足設(shè)備的出廠安裝以及維護(hù)需要,主要采用負(fù)壓噴氦法來查找設(shè)備可疑泄漏點(diǎn)。

           安徽歌博科技生產(chǎn)的干泵型氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體設(shè)備檢漏行業(yè),如圖所示即為安徽歌博A500型氦質(zhì)譜檢漏儀在為某實(shí)驗(yàn)室的離子注入機(jī)設(shè)備檢漏。安徽歌博科技氦質(zhì)譜檢漏儀憑借便捷的操控,zhuo越的性能, 以及高靈敏超穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)被業(yè)內(nèi)工程人員廣泛認(rèn)可,已建立長期合作關(guān)系。


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安徽歌博A500型氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用于離子注入機(jī)檢漏

       離子注入機(jī)是集成電路制造前工序中的關(guān)鍵設(shè)備,離子注入是對(duì)半導(dǎo)體表面附近區(qū)域進(jìn)行摻雜的技術(shù),其目的是改變半導(dǎo)體的載流子濃度和導(dǎo)電類型。離子注入與常規(guī)熱摻雜工藝相比可對(duì)注入劑量、注入角度、注入深度、橫向擴(kuò)散等方面進(jìn)行精確的控制,克服了常規(guī)工藝的限制,提高了電路的集成度、開啟速度、成品率和壽命,降低了成本和功耗。離子注入機(jī)廣泛用于摻雜工藝,可以滿足淺結(jié)、低溫和精確控制等要求,已成為集成電路制造工藝中必不可少的關(guān)鍵裝備。   

       離子注入機(jī)通常由離子源、離子引入和質(zhì)量分析器、加速管、掃描系統(tǒng)和工藝腔等組成。離子源是把需要注入的元素氣態(tài)粒子電離成離子,決定要注入離子的種類和束流強(qiáng)度。離子源直流放電或高頻放電產(chǎn)生的電子作為轟擊粒子,當(dāng)外來電子的能量高于原子的電離電位時(shí),通過碰撞使元素發(fā)生電離。碰撞后除了原始電子外,還出現(xiàn)正電子和二次電子。正離子進(jìn)入質(zhì)量分析器選出需要的離子,再經(jīng)過加速器獲得較高能量,由四級(jí)透鏡聚焦后進(jìn)入靶室,進(jìn)行離子注入。

 

       作為高真空設(shè)備,其出廠、安裝、維護(hù)都離不開氦質(zhì)譜檢漏儀。由于半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)需要高潔凈度,通常離子注入機(jī)設(shè)備都是選用干泵型的氦質(zhì)譜檢漏儀來滿足設(shè)備的出廠安裝以及維護(hù)需要,主要采用負(fù)壓噴氦法來查找設(shè)備可疑泄漏點(diǎn)。

       安徽歌博科技生產(chǎn)的干泵型氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體設(shè)備檢漏行業(yè),如圖所示即為安徽歌博A500型氦質(zhì)譜檢漏儀在為某實(shí)驗(yàn)室的離子注入機(jī)設(shè)備檢漏。安徽歌博科技氦質(zhì)譜檢漏儀憑借便捷的操控,zhuo越的性能, 以及高靈敏超穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)被業(yè)內(nèi)工程人員廣泛認(rèn)可,已建立長期合作關(guān)系。


2020-03-10 15:39:59 641 0
安徽歌博氦質(zhì)譜檢漏儀用于高壓換熱器檢漏

       高壓換熱器作為一種熱量轉(zhuǎn)換裝置,主要應(yīng)用于大型火電機(jī)組回?zé)嵯到y(tǒng),其傳熱性能的優(yōu)劣直接影響機(jī)組的經(jīng)濟(jì)性與安全性。因此提高高壓加熱器的傳熱效率,減小熱量傳遞過程中的不可逆損失,成為解決能源GX利用的重要措施之一。該裝置由殼體和管系兩大部分組成,在殼體內(nèi)腔上部設(shè)置蒸汽凝結(jié)段,下部設(shè)置疏水冷卻段,進(jìn)、出水管頂端設(shè)置給水進(jìn)口和給水出口。當(dāng)過熱蒸汽由進(jìn)口進(jìn)入殼體后即可將上部主螺管內(nèi)的給水加熱,蒸汽凝結(jié)為水后,凝結(jié)的熱水又可將下部疏冷螺管內(nèi)的部分給水加熱,被利用后的凝結(jié)水經(jīng)疏水出口流出體外。因此本裝置對(duì)密封性良好與否直接關(guān)系到高壓換熱器的安全性能及能源轉(zhuǎn)換效果。所以整體焊接部位及內(nèi)部管路檢漏是十分必要的。

         

 

       現(xiàn)在較為常用的方式,是在高壓換熱器充入一定壓力的氦氣,用檢漏儀的吸槍在高壓換熱器可能會(huì)出現(xiàn)泄漏的地方進(jìn)行探測(cè)。如果由氦氣泄漏,則會(huì)被氦檢儀捕捉到,根據(jù)事先設(shè)定好的報(bào)警值,高于報(bào)警值儀器報(bào)警。值得注意的是檢測(cè)場地如果通風(fēng)不暢的話,可能會(huì)有之前泄漏的氦氣殘存在空氣中,影響檢漏儀的檢測(cè)結(jié)果,所以檢測(cè)場地需要注意通風(fēng)。

       安徽歌博科技有限公司氦質(zhì)譜檢漏儀,檢測(cè)精度高,反應(yīng)速度快,得到客戶一致好評(píng)。在業(yè)內(nèi)積累了良好的口碑。


2020-03-16 11:20:24 661 0
安徽歌博LNG氣瓶氦質(zhì)譜檢漏

LNG即是液化天然氣簡稱,LNG氣瓶用途即是裝載液化天然氣,屬于壓力容器范疇。LNG氣瓶的主要結(jié)構(gòu)是雙層真空結(jié)構(gòu),包括內(nèi)容器、外容器、接口閥門、液位傳感器等部分組成。因?yàn)楫a(chǎn)品的特殊性,LNG氣瓶氣密性檢測(cè),為關(guān)鍵工序之一。

                          

 

     LNG氣瓶檢漏采用負(fù)壓法。具體步驟:1.將真空波紋管一端連接到氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏口上,另一端連接到氣瓶夾層。2.按檢漏儀上的“開始”按鍵,檢漏儀開始對(duì)氣瓶夾層進(jìn)行抽空。3.達(dá)到檢測(cè)條件后,用噴槍將分別在氣瓶內(nèi)膽和外膽噴吹氦氣,如產(chǎn)品存在泄漏,氦氣會(huì)進(jìn)入到夾層內(nèi)部,進(jìn)而被抽入檢漏儀內(nèi),而被檢測(cè)到,超過設(shè)定報(bào)警值,檢漏儀會(huì)顯示漏率并發(fā)出聲光報(bào)警,提示不合格。

2020-06-10 17:16:58 565 0
氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用于醫(yī)用負(fù)壓引流瓶檢漏

       負(fù)壓引流瓶由調(diào)壓器、集液瓶、軟管等組成。調(diào)壓器與集液瓶合為一體,集液瓶上有一個(gè)軟管接口,連接負(fù)壓終端。集液瓶內(nèi)是負(fù)壓狀態(tài),接通時(shí),打開調(diào)節(jié)閥,調(diào)節(jié)到所需的壓力,該負(fù)壓將引導(dǎo)污物(如污血、痰、體液燈等)通過軟管流入集液瓶內(nèi)。

 

         

 

       負(fù)壓引流瓶泄漏若超過允許值,瓶內(nèi)的負(fù)壓會(huì)消失,產(chǎn)品即失效。氣密性檢測(cè),可采用氦質(zhì)譜檢漏儀負(fù)壓法檢漏。具體方法:將產(chǎn)品通過軟管及連接工裝連接到氦氣檢測(cè)儀檢漏口上,點(diǎn)按開始按鈕,此時(shí)設(shè)備對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行抽真空,到預(yù)設(shè)本底要求時(shí),用連接氦氣的噴槍對(duì)產(chǎn)品的另一端噴吹氦氣,設(shè)備進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)。產(chǎn)品若有泄漏,氦氣會(huì)通過產(chǎn)品的通道漏孔進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部,超過預(yù)設(shè)報(bào)警值,設(shè)備進(jìn)行報(bào)警。檢漏結(jié)束,再次點(diǎn)按開始按鈕,設(shè)備停止檢漏,取下產(chǎn)品,進(jìn)行下一次檢漏操作。

       安徽歌博科技有限公司專業(yè)從事氦質(zhì)譜檢漏儀,自動(dòng)化氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的企業(yè),具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和持續(xù)創(chuàng)新能力,經(jīng)營業(yè)績穩(wěn)定增長的高科技公司。

安徽歌博氦質(zhì)譜檢漏儀 A100產(chǎn)品特點(diǎn)

支持正壓檢漏,負(fù)壓檢漏

自動(dòng)跟蹤本底,提供快速可靠的測(cè)量結(jié)果

優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)

高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確保快速清氦

支持氮?dú)馄瓶?,不受環(huán)境氦氣干擾,快速降低本底

支持7*24小時(shí)長時(shí)間在線測(cè)試

支持幾秒一次的高頻率測(cè)試

配有檢漏口精細(xì)過濾器,過濾細(xì)微雜質(zhì),確保機(jī)器不受雜質(zhì)影響和損傷

雙銥絲離子源,有效的系統(tǒng)設(shè)計(jì),防大氣沖擊

支持定制檢漏工作臺(tái),更加便捷使用

安徽歌博氦質(zhì)譜檢漏儀 A100技術(shù)參數(shù)

Z小可檢漏率(負(fù)壓模式) 5×10-13Pa·m3/s

Z小可檢漏率(正壓模式) 1×10-8Pa·m3/s

檢漏口壓強(qiáng) 粗檢 1500Pa

中檢 200Pa

精檢 40Pa

響應(yīng)時(shí)間 <1s

啟動(dòng)時(shí)間 ≤3min

前級(jí)油泵抽速 16m3/h 

外形尺寸(W×D×H) 845×465×988

重量 80Kg


2020-03-10 15:09:39 638 0
氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用于R7S燈管氦氣檢漏

       傳統(tǒng)鹵素?zé)綦p端管,由于光效低,壽命短,用LED R7S替代無疑是目前Z好的選擇。例如:15W的LED R7S就可以替代150w的鹵素?zé)綦p端管,按一天8小時(shí)計(jì)算,一天可以節(jié)省一度電,一年就是365度電。LED R7S,不但可以做暖光,還可以做白光,紅光、綠光等彩光,這是鹵素?zé)綦p端管所做不到的,因此LED R7S的用途可以更加廣泛。

 



 

       R7S燈管氦氣檢測(cè)泄漏,采用氦質(zhì)譜檢漏儀被壓法檢漏。具體方法:將封裝過工藝氣體(氦氣)后的產(chǎn)品放在設(shè)備的檢漏罐里面,點(diǎn)擊開始按鈕,檢漏儀對(duì)檢漏罐進(jìn)行抽空,產(chǎn)品內(nèi)外存在壓差,若燈管有泄漏,泄漏的氦氣會(huì)從R7S燈管內(nèi)部逃逸到檢漏罐內(nèi),進(jìn)而進(jìn)入檢漏儀內(nèi)部,設(shè)備對(duì)其進(jìn)行質(zhì)譜分析,顯示出對(duì)應(yīng)的漏率。精度高,效率快。



2020-03-10 15:36:05 546 0
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方法有哪些?

氦質(zhì)譜檢漏儀作為高精度氣體泄漏檢測(cè)的核心設(shè)備,憑借其卓越的靈敏度和可靠性,廣泛應(yīng)用于航空航天、電子制造、能源動(dòng)力等領(lǐng)域。其核心原理基于質(zhì)譜學(xué)技術(shù),通過氦氣示蹤與離子分離機(jī)制實(shí)現(xiàn)微小漏點(diǎn)的精準(zhǔn)定位。本文將從工作原理、檢漏方法、操作流程、應(yīng)用場景及維護(hù)要點(diǎn)等多維度,系統(tǒng)解析該技術(shù)的科學(xué)內(nèi)涵與工程實(shí)踐價(jià)值。

氦質(zhì)譜檢漏儀的核心工作原理涉及離子化與磁場分離過程。燈絲發(fā)射的電子在電離室內(nèi)與氦氣碰撞,生成帶正電的氦離子。這些離子在加速電場作用下進(jìn)入均勻磁場,由于洛倫茲力作用,不同質(zhì)荷比的離子沿不同半徑的圓弧軌跡運(yùn)動(dòng)。通過調(diào)節(jié)加速電壓,僅氦離子能通過出口狹縫到達(dá)收集器,形成可檢測(cè)的離子流信號(hào)。逆擴(kuò)散檢漏技術(shù)進(jìn)一步優(yōu)化了檢測(cè)條件,利用分子泵對(duì)不同氣體的壓縮比差異,使氦氣逆流進(jìn)入質(zhì)譜室,顯著提升高壓容器檢漏效率并延長燈絲壽命。

在具體檢漏方法中,吸槍法、鐘罩法和背壓法構(gòu)成三大主流技術(shù)。吸槍法通過移動(dòng)式探頭采集泄漏氦氣,適用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)的局部檢測(cè);鐘罩法則通過密封罩覆蓋被測(cè)件,測(cè)量整體漏率;背壓法則對(duì)預(yù)充氦氣的工件進(jìn)行真空抽吸,適用于微型器件的批量檢測(cè)。操作流程通常包括設(shè)備連接、真空建立、氦氣噴施及信號(hào)分析四個(gè)階段。以SFJ-231型儀器為例,其標(biāo)準(zhǔn)化流程涵蓋粗真空預(yù)抽(2000-200Pa)、中真空精抽(200-40Pa)和精檢模式切換,配合閥門系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)不同靈敏度檔位的無縫轉(zhuǎn)換。

技術(shù)性能方面,現(xiàn)代氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可達(dá)10-13 Pa·m3/s量級(jí),檢測(cè)范圍橫跨10-2至10-13 Pa·m3/s,響應(yīng)時(shí)間小于0.3秒。這種卓越性能使其在航空航天發(fā)動(dòng)機(jī)密封檢測(cè)、半導(dǎo)體封裝氣密性驗(yàn)證、核反應(yīng)堆壓力容器監(jiān)控等場景中不可替代。例如,在火箭箭體檢測(cè)中,氦罩法與累積法的結(jié)合使檢漏靈敏度提升三個(gè)數(shù)量級(jí),有效預(yù)防推進(jìn)劑泄漏事故。

設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)是保障長期穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵。日常維護(hù)需重點(diǎn)關(guān)注機(jī)械泵油位監(jiān)測(cè)(每500小時(shí)更換)、分子泵軸承潤滑(年度保養(yǎng))、質(zhì)譜室污染清潔(視使用頻率)等環(huán)節(jié)。校準(zhǔn)環(huán)節(jié)強(qiáng)調(diào)標(biāo)準(zhǔn)漏孔的應(yīng)用,通過定期對(duì)比實(shí)測(cè)值與理論值,確保檢測(cè)精度偏差小于5%。此外,氦氣供給系統(tǒng)的密封性檢查與過濾器更換,可有效避免交叉污染導(dǎo)致的誤報(bào)。

相較于傳統(tǒng)檢漏技術(shù),氦質(zhì)譜法的優(yōu)勢(shì)顯著。氣泡法靈敏度僅達(dá)10-5 Pa·m3/s,而壓力衰減法受溫度波動(dòng)影響嚴(yán)重。紅外與超聲波檢漏雖具非接觸優(yōu)勢(shì),但無法識(shí)別微小漏點(diǎn)及混合氣體泄漏。氦質(zhì)譜技術(shù)獨(dú)有的選擇性識(shí)別能力,使其在10-12 Pa·m3/s級(jí)檢測(cè)中保持>95%的準(zhǔn)確率,且不受背景氣體干擾,這在多組分工業(yè)環(huán)境中尤為重要。

隨著智能制造升級(jí),氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)正向智能化、集成化方向發(fā)展。自動(dòng)氦峰掃描、多通道并行檢測(cè)、物聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)互聯(lián)等創(chuàng)新功能,正推動(dòng)該技術(shù)從單一檢測(cè)工具向智能制造質(zhì)量控制節(jié)點(diǎn)演變。在新能源電池包密封檢測(cè)、氫燃料電池堆泄漏監(jiān)測(cè)等新興領(lǐng)域,其技術(shù)優(yōu)勢(shì)將持續(xù)釋放產(chǎn)業(yè)價(jià)值。

2025-04-21 12:45:20 188 0
氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 用于 LNG 儲(chǔ)罐檢漏

某公司采用伯東 Pfeiffer  氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340  對(duì) LNG 低溫儲(chǔ)罐檢漏, 其罐體焊縫采用自動(dòng)焊, 單條焊縫的漏率不高于 1×10-9 Pa.m3/s, 整臺(tái)容器的漏率不高于 1×10-8Pa.m3/s.

 

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

ASM340

ASM340 D

ASM340 I

對(duì)氦氣的最小檢檢漏率

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

檢測(cè)模式

真空模式和吸槍/模式

真空模式和吸槍/模式

真空模式和吸槍/模式

檢測(cè)氣體

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

啟動(dòng)時(shí)間 min

3

3

3

對(duì)氦氣的抽氣速度 l/s

2.5

2.5

2.5

進(jìn)氣口最/大壓力 hPa

25

25

5

前級(jí)泵抽速 m3/h

油泵 15

隔膜泵 3.4

不含前級(jí)泵

重量 kg

56

45

32

 

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 優(yōu)點(diǎn):

1. 前級(jí)泵配備旋片泵(油泵)Adixen Pascal 1015 I 抽速高達(dá)15 m3/h

2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對(duì)氦氣抽速 2.5 l/s

3. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對(duì)氦氣的最小檢檢漏率:

   真空模式:5E-13 Pa m3/s

   吸槍/模式:5E-10 Pa m3/s 目前業(yè)界公認(rèn)最小漏率

4. 移動(dòng)式操作面板(有線、無線)

5. 集成SD卡, 方便資料處理

6. 抗破大氣、抗震動(dòng), 降低由操作失誤帶來的風(fēng)險(xiǎn)性

7. 豐富的可選配件, 如吸槍、遙控器、小推車、旁路裝置、標(biāo)準(zhǔn)漏孔等

8. 檢測(cè)時(shí)間短

 

 

LNG 儲(chǔ)罐需要檢漏原因:

LNG 低溫儲(chǔ)罐是 LNG 儲(chǔ)存運(yùn)輸過程中核心設(shè)備, 進(jìn)行 LNG 運(yùn)輸時(shí), 要考慮低溫液體的絕熱要求, 采用合理的絕熱保護(hù)措施. 因?yàn)槔洳氐?LNG 一旦發(fā)生泄露, 其氣化量約為液態(tài)下的 600倍, 在空氣中形成自動(dòng)引爆的氣團(tuán), 非常危險(xiǎn).

因此儲(chǔ)罐容器的內(nèi)膽, 外殼, 焊點(diǎn), 閥門等部位都需要進(jìn)行泄漏測(cè)試, 只有經(jīng)過檢漏的儲(chǔ)罐才能作為合格, 放心的儲(chǔ)存氣體的載體, 如果客戶儲(chǔ)罐容量較大, 還需要外接真空泵組輔助檢漏儀進(jìn)行測(cè)試.

氣體運(yùn)輸過程中的運(yùn)輸儲(chǔ)罐, 槽罐車載體等同樣需要進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏才能上路運(yùn)輸.

 

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺(tái)灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
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2021-08-05 15:58:59 672 0
氦質(zhì)譜檢漏儀的氦質(zhì)譜檢漏方法
 
2018-11-11 18:09:11 473 0
伯東 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 用于波紋管檢漏

某不銹鋼軟管生產(chǎn)企業(yè)采用伯東 Pfeiffer  氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340  對(duì)波紋管進(jìn)行檢漏. 其生產(chǎn)的波紋管廣泛用于石化, 冶煉, 航空航天, 建筑,電力, 供熱管道, 機(jī)械制造等行業(yè).

 

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

ASM340

ASM340 D

ASM340 I

對(duì)氦氣的最小檢檢漏率

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

檢測(cè)模式

真空模式和吸槍/模式

真空模式和吸槍/模式

真空模式和吸槍/模式

檢測(cè)氣體

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

啟動(dòng)時(shí)間 min

3

3

3

對(duì)氦氣的抽氣速度 l/s

2.5

2.5

2.5

進(jìn)氣口最/大壓力 hPa

25

25

5

前級(jí)泵抽速 m3/h

油泵 15

隔膜泵 3.4

不含前級(jí)泵

重量 kg

56

45

32

 

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 優(yōu)點(diǎn):

1. 前級(jí)泵配備旋片泵(油泵)Adixen Pascal 1015 I 抽速高達(dá)15 m3/h

2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對(duì)氦氣抽速 2.5 l/s

3. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對(duì)氦氣的最小檢檢漏率:

   真空模式:5E-13 Pa m3/s

   吸槍/模式:5E-10 Pa m3/s 目前業(yè)界公認(rèn)最小漏率

4. 移動(dòng)式操作面板(有線、無線)

5. 集成SD卡, 方便資料處理

6. 抗破大氣、抗震動(dòng), 降低由操作失誤帶來的風(fēng)險(xiǎn)性

7. 豐富的可選配件, 如吸槍、遙控器、小推車、旁路裝置、標(biāo)準(zhǔn)漏孔等

8. 檢測(cè)時(shí)間短


 

待檢漏產(chǎn)品: 定制超長波紋管


焊接波紋管檢漏原因:

波紋管通常通過激光焊接連接至法蘭或外殼. 激光焊接會(huì)產(chǎn)生光性均勻焊縫, 通過肉眼無法判斷是否存在泄漏, 焊接波紋管對(duì)氣密性的要求很高, 傳統(tǒng)的泄漏測(cè)試, 如染料滲透測(cè)試, 制冷劑嗅探或氣泡測(cè)試不能達(dá)到客戶工業(yè)生產(chǎn)的要求, 因此需要引入氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行泄漏檢測(cè).

 

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺(tái)灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
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2021-08-05 16:00:27 479 0
上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀中壓開關(guān)柜檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀中壓開關(guān)柜檢漏
應(yīng)用于電力行業(yè)的中壓開關(guān)柜, 廣泛使用在發(fā)電廠, 變電站, 地區(qū)電網(wǎng)和輸電站中. 另外也適用于船舶, 高鐵等行業(yè). 中壓開關(guān)柜是一種金屬封閉開關(guān)設(shè)備, 它對(duì)中壓開關(guān)以外的其他設(shè)備, 起到很好的絕緣性能, 避免電弧燒穿電力設(shè)備, 保障電力使用上的安全, 中壓開關(guān)柜內(nèi)部通過吸和開關(guān)控制電路.

開關(guān)吸合器需要檢漏
中壓開關(guān)柜內(nèi)部通過吸和開關(guān)控制電路, 吸合器內(nèi)部真空環(huán)境, 如果有漏, 吸合開關(guān)就會(huì)失效, 造成通電終斷, 導(dǎo)致事故發(fā)生. 因此需要進(jìn)行檢漏.

上海伯東中壓開關(guān)柜檢漏客戶案例: 某國際知名中壓開關(guān)生產(chǎn)企業(yè), 生產(chǎn)的中壓空氣絕緣開關(guān)柜產(chǎn)品系列采用真空開關(guān)技術(shù), 其內(nèi)部的吸和開關(guān)需要進(jìn)行檢漏, 漏率要求 <1x10-7 mbar l/s, 采用真空模式檢漏, 通過伯東推薦采購德國 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340.

上海伯東推薦中壓開關(guān)柜檢漏用氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340

對(duì)氦氣的最小檢測(cè)漏率, 真空模式 5E-13 Pa m3/s

檢測(cè)氣體: 4He, 3He, H2

檢測(cè)模式: 真空, 吸槍

對(duì)氦氣的抽氣速度 2.5 l/s

進(jìn)氣口壓力 25 hPa

前級(jí)泵抽速 15 m3/h


結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 上海伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號(hào)氦質(zhì)譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺(tái)式檢漏儀滿足各種不同的應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點(diǎn). 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 推薦氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用 >>

若您需要進(jìn)一步的了解開關(guān)吸合器檢漏, 請(qǐng)聯(lián)絡(luò)上海伯東葉小姐,分機(jī)109

2020-10-16 14:25:40 489 0
伯東 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 用于鋰電池檢漏

國內(nèi)著名激光焊接供應(yīng)商-某新能源行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)采用伯東 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 用于鋰電池檢漏系統(tǒng), 對(duì)鋰電池外殼進(jìn)行檢漏.

 

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

ASM340

ASM340 D

ASM340 I

對(duì)氦氣的最小檢檢漏率

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

檢測(cè)模式

真空模式和吸qiang模式

真空模式和吸qiang模式

真空模式和吸qiang模式

檢測(cè)氣體

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

啟動(dòng)時(shí)間 min

3

3

3

對(duì)氦氣的抽氣速度 l/s

2.5

2.5

2.5

進(jìn)氣口壓力 hPa

25

25

5

前級(jí)泵抽速 m3/h

油泵 15

隔膜泵 3.4

不含前級(jí)泵

重量 kg

56

45

32

 

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 優(yōu)點(diǎn):

1. 前級(jí)泵配備旋片泵(油泵)Adixen Pascal 1015 I 抽速高達(dá)15 m3/h

2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對(duì)氦氣抽速 2.5 l/s

3. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對(duì)氦氣的最小檢檢漏率:

   真空模式:5E-13 Pa m3/s

   吸qiang模式:5E-10 Pa m3/s 目前業(yè)界公認(rèn)最小漏率

4. 移動(dòng)式操作面板(有線、無線)

5. 集成SD卡, 方便資料處理

6. 抗破大氣、抗震動(dòng), 降低由操作失誤帶來的風(fēng)險(xiǎn)性

7. 豐富的可選配件, 如吸槍、遙控器、小推車、旁路裝置、標(biāo)準(zhǔn)漏孔等

8. 檢測(cè)時(shí)間短

 

客戶現(xiàn)場使用圖:

 

鋰電池需要檢漏原因:

一般的鋰離子電池單元由一個(gè)正極, 一個(gè)負(fù)極和一個(gè)隔膜以及電解質(zhì)構(gòu)成. 這些單元在包裝內(nèi)排列. 由于鋰金屬的化學(xué)特性非?;顫? 使得鋰金屬的加工, 保存, 使用對(duì)環(huán)境要求非常高. 鋰電池主要是外殼焊接處需要檢漏, 如果鋰電池里面的電解液因?yàn)橥鈿さ牟幻芊庑远孤冻鰜砜膳c潮濕環(huán)境產(chǎn)生劇烈反應(yīng), 不僅對(duì)環(huán)境和人員造成嚴(yán)重的危害, 同時(shí)影響設(shè)備使用壽命, 所以鋰電池在組裝和密封 ( 圓柱形及棱柱形單元通過焊接)環(huán)節(jié), 需要進(jìn)行泄漏測(cè)試.


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