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透射電鏡和掃描電鏡的特點及應(yīng)用(越全越好)

zhyl9999 2017-11-22 16:44:26 1657  瀏覽
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  • hhh0202008 2017-11-23 15:25:03
    掃描電子顯微鏡的設(shè)計思想和工作原理,早在1935年便已被提出來了。1942年,英國首先制成一臺實驗室用的掃描電鏡,但由于成像的分辨率很差,照相時間太長,所以實用價值不大。經(jīng)過各國科學(xué)工作者的努力,尤其是隨著電子工業(yè)技術(shù)水平的不斷發(fā)展,到 1956年開始生產(chǎn)商品掃描電鏡。近數(shù)十年來,掃描電鏡已廣泛地應(yīng)用在生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、冶金學(xué)等學(xué)科的領(lǐng)域中,促進了各有關(guān)學(xué)科的發(fā)展。 一.掃描電鏡的特點 和光學(xué)顯微鏡及透射電鏡相比,掃描電鏡具有以下特點: (一) 能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu),樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。 (二) 樣品制備過程簡單,不用切成薄片。 (三) 樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn),因此,可以從各種角度對樣品進行觀察。 (四) 景深大,圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍,比透射電鏡大幾十倍。 (五) 圖象的放大范圍廣,分辨率也比較高??煞糯笫畮妆兜綆资f倍,它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間,可達3nm。 (六) 電子束對樣品的損傷與污染程度較小。 (七) 在觀察形貌的同時,還可利用從樣品發(fā)出的其他信號作微區(qū)成分分析。 二.掃描電鏡的結(jié)構(gòu)和工作原理 (一) 結(jié)構(gòu) 1.鏡筒 鏡筒包括電子槍、聚光鏡、物鏡及掃描系統(tǒng)。其作用是產(chǎn)生很細的電子束(直徑約幾個nm),并且使該電子束在樣品表面掃描,同時激發(fā)出各種信號。 2.電子信號的收集與處理系統(tǒng) 在樣品室中,掃描電子束與樣品發(fā)生相互作用后產(chǎn)生多種信號,其中包括二次電子、背散射電子、X射線、吸收電子、俄歇(Auger)電子等。在上述信號中,Z主要的是二次電子,它是被入射電子所激發(fā)出來的樣品原子中的外層電子,產(chǎn)生于樣品表面以下幾nm至 幾十nm的區(qū)域,其產(chǎn)生率主要取決于樣品的形貌和成分。通常所說的掃描電鏡像指的就是二次電子像,它是研究樣品表面形貌的Z有用的電子信號。檢測二次電子的檢測器(圖15(2)的探頭是一個閃爍體,當(dāng)電子打到閃爍體上時,1就在其中產(chǎn)生光,這種光被光導(dǎo)管傳送到光電倍增管,光信號即被轉(zhuǎn)變成電流信號,再經(jīng)前置放大及視頻放大,電流信號轉(zhuǎn)變成電壓信號,Z后被送到顯像管的柵極。 3.電子信號的顯示與記錄系統(tǒng) 掃描電鏡的圖象顯示在陰極射線管(顯像管)上,并由照相機拍照記錄。顯像管有兩個,一個用來觀察,分辨率較低,是長余輝的管子;另一個用來照相記錄,分辨率較高,是短余輝的管子。 4.真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng) 掃描電鏡的真空系統(tǒng)由機械泵與油擴散泵組成,其作用是使鏡筒內(nèi)達到 10(4~10(5托的真空度。電源系統(tǒng)供給各部件所需的特定的電源。 (二) 工作原理 從電子槍陰極發(fā)出的直徑20(m~30(m的電子束,受到陰陽極之間加速電壓的作用,射向鏡筒,經(jīng)過聚光鏡及物鏡的會聚作用,縮小成直徑約幾毫微米的電子探針。在物鏡上部的掃描線圈的作用下,電子探針在樣品表面作光柵狀掃描并且激發(fā)出多種電子信號。這些電子信號被相應(yīng)的檢測器檢測,經(jīng)過放大、轉(zhuǎn)換,變成電壓信號,Z后被送到顯像管的柵極上并且調(diào)制顯像管的亮度。顯像管中的電子束在熒光屏上也作光柵狀掃描,并且這種掃描運動與樣品表面的電子束的掃描運動嚴(yán)格同步,這樣即獲得襯度與所接收信號強度相對應(yīng)的掃描電子像,這種圖象反映了樣品表面的形貌特征。第二節(jié) 掃描電鏡生物樣品制備技術(shù)大多數(shù)生物樣品都含有水分,而且比較柔軟,因此,在進行掃描電鏡觀察前,要對樣品作相應(yīng)的處理。掃描電鏡樣品制備的主要要求是:盡可能使樣品的表面結(jié)構(gòu)保存好,沒 有變形和污染,樣品干燥并且有良好導(dǎo)電性能。 一.樣品的初步處理 (一) 取材 取材的基本要求和透射電鏡樣品制備相同,可參考第十四章超薄切片技術(shù)中所提的要求。但是,對掃描電鏡來說,樣品可以稍大些,面積可達8mm×8mm,厚度可達5mm。對于易卷曲的樣品如血管、胃腸道粘膜等,可固定在濾紙或卡片紙上,以充分暴露待觀察的組 織表面。 (二) 樣品的清洗 用掃描電鏡觀察的部位常常是樣品的表面,即組織的游離面。由于樣品取自活體組織,其表面常有血液、組織液或粘液附著,這會遮蓋樣品的表面結(jié)構(gòu),影響觀察。因此,在樣品固定之前,要將這些附著物清洗干凈。清洗的方法有以下幾種: 1.用等滲的生理鹽水或緩沖液清洗; 2.用5%的蘇打水清洗; 3.用超聲震蕩或酶消化的方法進行處理。例如清洗腸粘膜表面的粘液,可用下面的方法: 清洗液配方:透明質(zhì)酸酶 300 (gα—糜蛋白酶 10 mg生理鹽水 100 ml清洗液的pH為5.5~6。清洗的方法是將樣品浸泡在配好的清洗液中,邊浸泡邊震蕩30分鐘,Z后用雙蒸水洗3次。無論用哪種清洗方法,注意在清洗時不要損傷樣品。 (三) 固定 固定所用的試劑和透射電鏡樣品制備相同,常用戊二醛及鋨酸雙固定。由于樣品體積較大,固定時間應(yīng)適當(dāng)延長。也可用快速冷凍固定。 (四) 脫水 樣品經(jīng)漂洗后用逐級濃度的酒精或丙酮脫水,然后進入中間液,一般用醋酸異戊酯作中間液。 二.樣品的干燥 掃描電鏡觀察樣品要求在高真空中進行。無論是水或脫水溶液,在高真空中都會產(chǎn)生劇烈地汽化,不僅影響真空度、污染樣品,還會破壞樣品的微細結(jié)構(gòu)。因此,樣品在用電鏡觀察之前必須進行干燥。干燥的方法有以下幾種: (一) 空氣干燥法 空氣干燥法又稱自然干燥法,就是將經(jīng)過脫水的樣品,讓其暴露在空氣中使脫水劑逐漸揮發(fā)干燥。這種方法的Z大優(yōu)點是簡便易行和節(jié)省時間;它的主要缺點是在干燥過程中,組織會由于脫水劑揮發(fā)時表面張力的作用而產(chǎn)生收縮變形。因此,該方法一般只適用 于表面較為堅硬的樣品。 (二) 臨界點干燥法 臨界點干燥法是利用物質(zhì)在臨界狀態(tài)時,其表面張力等于零的特性,使樣品的液體完全汽化,并以氣體方式排掉,來達到完全干燥的目的。這樣就可以避免表面張力的影響,較好地保存樣品的微細結(jié)構(gòu)。此法操作較為方便,所用的時間也不算長,一般約2~3小 時即可完成,所以是Z為常用的干燥方法。但用此法,需要特殊儀器設(shè)備。 臨界點干燥是在臨界點干燥儀中進行的,操作步驟如下: 1.固定、脫水:按常規(guī)方法進行。如樣品是用乙醇脫水的,在脫水至后,要用純丙酮置換15~20分鐘。 2.轉(zhuǎn)入中間液:由純丙酮轉(zhuǎn)入中間液醋酸異戊酯中,時間約15~30分鐘。 3.移至樣品室:將樣品從醋酸異戊酯中取出,放入樣品盒,然后移至臨界點干燥儀的樣品室內(nèi),蓋上蓋并擰緊以防漏氣。 4.用液體二氧化碳置換醋酸異戊酯:在達到臨界狀態(tài)(31(C , 72.8大氣壓)后,將溫度再升高10(C,使液體二氧化碳氣化,然后打開放氣閥門,逐漸排出氣體,樣品即完全干燥。 (三) 冷凍干燥法 冷凍干燥法是將經(jīng)過冷凍的樣品置于高真空中,通過升華除去樣品中的水分或脫水劑的過程。冷凍干燥的基礎(chǔ)是冰從樣品中升華,即水分從固態(tài)直接轉(zhuǎn)化為氣態(tài),不經(jīng)過中間的液態(tài),不存在氣相和液相之間的表面張力對樣品的作用,從而減輕在干燥過程中對樣 品的損傷。冷凍干燥法有兩種,即含水樣品直接冷凍干燥和樣品脫水后冷凍干燥。 1.含水樣品直接冷凍干燥法 1.1 取材固定:按常規(guī)方法進行。 1.2 置于冷凍保護劑中:將樣品置于冷凍保護劑中浸泡數(shù)小時。常用的冷凍保護劑為10%~20%二甲基亞砜水溶液,或15%~40%甘油水溶液。 1.3 驟冷:將經(jīng)過保護劑處理的樣品迅速投入用液氮預(yù)冷至(150(C的氟利昂冷凍劑中,使樣品中的水分很快凍結(jié)。 1.4 干燥:將已凍結(jié)的樣品移到冷凍干燥器內(nèi)已預(yù)冷的樣品臺上,抽真空,經(jīng)幾小時或數(shù)天后,樣品即達到干燥。 本方法不需要脫水,避免了有機溶劑對樣品成分的抽提作用,不會使樣品收縮,也是較早使用的方法。但是,由于花費時間長,消耗液氮多,容易產(chǎn)生冰晶損傷,因此未被廣泛應(yīng)用。 2.樣品脫水后冷凍干燥 樣品用乙醇或丙酮脫水后過渡到某些易揮發(fā)的有機溶劑中,然后連同這些溶劑一起冷凍并在真空中升華而達到干燥。和前一種方法比較,本方法的優(yōu)點是不會產(chǎn)生冰晶損傷, 且干燥時間短。不足之處是有機溶劑對樣品成分有抽提作用,造成部分內(nèi)含物丟失。乙腈(acetonitrile)真空干燥法:這是一種利用乙腈在急速蒸發(fā)時會冷卻固化的性質(zhì)將樣品干燥的方法。其操作步驟如下: (1). 固定、水洗:按常規(guī)方法進行。 (2). 乙腈置換:使用50%?70%?80%?90%的乙腈水溶液置換,Z后用乙腈代替,每步驟15~20分鐘。 (3). 干燥:至純乙腈時,放入真空鍍膜臺抽真空,乙腈和樣品在真空中很快致冷而被凍結(jié)(凍結(jié)的溫度為(45(C),變成冰狀固體。然后繼續(xù)抽真空,使凍結(jié)的乙腈升華,約需30分鐘,樣品即達干燥。 樣品干燥后要粘在樣品臺上。對于不鍍膜而直接觀察的樣品,必須用導(dǎo)電膠來粘固;對于要鍍膜的樣品,則可以用膠水或wan能膠來代替,微細的樣品如粉末、纖維等也可用雙面膠紙來粘貼。 三.樣品的導(dǎo)電處理 生物樣品經(jīng)過脫水、干燥處理后,其表面不帶電,導(dǎo)電性能也差。用掃描電鏡觀察時,當(dāng)入射電子束打到樣品上,會在樣品表面產(chǎn)生電荷的積累,形成充電和放電效應(yīng),影響對圖象的觀察和拍照記錄。因此在觀察之前要進行導(dǎo)電處理,使樣品表面導(dǎo)電。常用的導(dǎo)電方法有以下幾種: (一) 金屬鍍膜法 金屬鍍膜法是采用特殊裝置將電阻率小的金屬,如金、鉑、鈀等蒸發(fā)后覆蓋在樣品表面的方法。樣品鍍以金屬膜后,不僅可以防止充電、放電效應(yīng),還可以減少電子束對樣品的損傷作用,增加二次電子的產(chǎn)生率,獲得良好的圖象。 1.真空鍍膜法 真空鍍膜法是利用真空 膜儀進行的。其原理是在高真空狀態(tài)下把所要噴鍍的金屬加熱,當(dāng)加熱到熔點以上時,會蒸發(fā)成極細小的顆粒噴射到樣品上,在樣品表面形成一層金屬膜,使樣品導(dǎo)電。噴鍍用的金屬材料應(yīng)選擇熔點低、化學(xué)性能穩(wěn)定、在高溫下和鎢不起作用以及有高的二次電子產(chǎn)生率、膜本身沒有結(jié)構(gòu)?,F(xiàn)在一般選用金或金和碳。為了獲得細的顆粒,有用鉑或用金—鈀、鉑—鈀合金的。金屬膜的厚度一般為10nm~20nm。真空鍍膜法所形成的膜,金屬顆粒較粗,膜不夠均勻,操作較復(fù)雜并且費時,目前已經(jīng)較少使用。 2.離子濺射鍍膜法 在低真空(0.1~0.01乇)狀態(tài)下,在陽極與陰極兩個電極之間加上幾百至上千伏的直流電壓時,電極之間會產(chǎn)生輝光放電。在放電的過程中,氣體分子被電離成帶正電的陽離子和帶負(fù)電的電子,并在電場的作用下,陽離子被加速跑向陰極,而電子被加速跑向陽極 。如果陰極用金屬作為電極(常稱靶極),那么在陽離子沖擊其表面時,就會將其表面的金屬粒子打出,這種現(xiàn)象稱為濺射。此時被濺射的金屬粒子是中性,即不受電場的作用,而靠重力作用下落。如果將樣品置于下面,被濺射的金屬粒子就會落到樣品表面,形 成一層金屬膜,用這種方法給樣品表面鍍膜,稱為離子濺射鍍膜法,圖15(3顯示該法的原理。 圖15(3 離子濺射鍍膜法原理圖 和真空鍍膜法比較,離子濺射鍍膜法具有以下優(yōu)點:(1)由于從陰極上飛濺出來的金屬粒子的方向是不一致的,因而金屬粒子能夠進入到樣品表面的縫隙和凹陷處,使樣品表面均勻地鍍上一層金屬膜,對于表面凹凸不平的樣品,也能形成很好的金屬膜,且顆粒較 細。(2)受輻射熱影響較小,對樣品的損傷小。(3)消耗金屬少。(4)所需真空度低,節(jié)省時間。 (二) 組織導(dǎo)電法 用金屬鍍膜法使樣品表面導(dǎo)電,需要特殊的設(shè)備,操作比較復(fù)雜,同時對樣品有一定程度的損傷。為了克服這些不足,有人采用組織導(dǎo)電法(又稱導(dǎo)電染色法),即利用某些金屬 溶液對生物樣品中的蛋白質(zhì)?脂類和醣類等成分的結(jié)合作用,使樣品表面離子化或產(chǎn)生導(dǎo)電性能好的金屬鹽類化合物,從而提高樣品耐受電子束轟擊的能力和導(dǎo)電率。 此法的基本處理過程是將經(jīng)過固定、清洗的樣品,用特殊的試劑處理后即可觀察。由于不經(jīng)過金屬鍍膜,所以不僅能節(jié)省時間,而且可以提高分辨率,還具有堅韌組織,加強固定效果的作用。 組織導(dǎo)電法主要有碘化鉀導(dǎo)電染色法、碘化鉀--醋酸鉛導(dǎo)電法、丹寧酸—鋨酸導(dǎo)電法等。比較常用的是丹寧酸—鋨酸導(dǎo)電法,其具體操作方法如下: (1).樣品處理:按常規(guī)方法取材、清洗及用戊二醛固定。 (2).導(dǎo)電染色:將樣品放入2%~4%丹寧酸溶液中浸泡。如果觀察表面結(jié)構(gòu),浸泡時間為30分鐘;如果觀察內(nèi)部結(jié)構(gòu),浸泡時間為8小時,即可過夜。在浸泡過程中,可更換一次溶液。 (3).清洗及再固定:用磷酸緩沖液充分清洗,然后放入1%鋨酸中固定2~4小時,再用磷酸緩沖液清洗。 (4).脫水和干燥:按常規(guī)方法。 (5).掃描電鏡觀察。 四.幾種特殊的樣品制備技術(shù) (一) 細胞內(nèi)部結(jié)構(gòu)冷凍割斷法 1972年,日本學(xué)者田中敬一采用冷凍樹脂割斷法將細胞打開,用掃描電鏡觀察細胞的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。后來他又以二甲基亞砜代替樹脂進行冷凍割斷取得成功,該方法簡便,結(jié)構(gòu)清晰,已得到廣泛應(yīng)用。其操作方法如下: 1.取材和固定:為了使細胞結(jié)構(gòu)清晰,不被過多的血細胞污染,可在取材前用灌注法沖洗。即先將動物麻醉,經(jīng)腹主動脈注入生理鹽水或低分子量的右,切開下腔靜脈放血,至無血色為止。然后迅速取材,將樣品修成1mm×1mm×5mm大小,投入1%鋨酸溶液中固定1小時,用1/15M磷酸緩沖液 (pH7.4)清洗兩次,每次10分鐘。 2.二甲基亞 浸泡:將樣品依次放入25%、50%二甲基亞砜溶液中,各浸泡30分鐘。 3.割斷:用TF—1型冷凍割斷裝置進行割斷。然后將割斷后的樣品放到50%二甲基亞砜中,等融化后再用1/15M磷酸緩沖液浸洗,每次10分鐘,換液5次。 4.軟化及后固定:將樣品放入0.1%鋨酸中軟化,溫度20(C,時間48~72小時。然后用1% 八 固定1小時,雙蒸水浸洗1小時,換液幾次,需徹底清洗干凈。 5.導(dǎo)電染色:將樣品放入2%丹寧酸中2小時(或過夜),以雙蒸水清洗1小時,換液幾次。再以1% 八 固定30~60分鐘,雙蒸水清洗1小時。 6.脫水、干燥及鍍膜:按常規(guī)方法進行。 (二) 鑄型技術(shù) 為了研究空腔臟器特別是血管系統(tǒng)復(fù)雜的立體分布,先向腔內(nèi)注射某種成形物質(zhì),待該物硬化后再把組織腐蝕去掉,剩下的成形物即能顯示血管系統(tǒng)的立體分布,這種技術(shù)稱鑄型技術(shù)。如果是研究血管系統(tǒng),稱為血管鑄型。用鑄型技術(shù)制作的標(biāo)本,經(jīng)過鍍膜后,就可進行掃描電鏡觀察。 常用的鑄型劑有甲基丙烯酸酯、聚苯乙烯及其共聚物以及ABS等。ABS是一種樹脂,為丙烯晴、丁二烯和苯乙烯的三元共聚物,被認(rèn)為是比較理想的鑄型劑。下面簡單介紹用ABS制作血管鑄型標(biāo)本的方法: 1.灌流和注入鑄型劑 首先將準(zhǔn)備灌注的器官取下或保持自然位置,找到動脈,插入玻璃管或靜脈穿刺針,并以粗絲線結(jié)扎之,用普通流水或溫鹽水將血管中的血液沖洗干凈。然后灌注鑄型劑ABS丁酮溶液,濃度為5%~30%,注入的壓力為100mmHg。注入鑄型劑的臟器,可以放在50(C~60(C 的溫水中浸泡6小時左右,這樣既能保持臟器的原形,也有助于鑄型劑的硬化。 2.腐蝕和清洗 將標(biāo)本放入10%~20%氫氧化鈉或氫氧化鉀溶液中腐蝕,也有放20%~30%鹽酸中腐蝕。時間一般為5~7天。若用稀鹽酸腐蝕,可加入5%~10%胃蛋白酶,腐蝕的效果更好。然后用流水將血管鑄型周圍被腐蝕的組織沖洗干凈,時間為24~72小時,沖洗的速度要慢。 3.顯微解剖和剝制鑄型 為了暴露和切取要觀察的部分,需要在解剖顯微鏡下進行。如果鑄型太硬,可將鑄型浸入酒精中,加溫至40~60(C,能使鑄型變軟,便于解剖和切取。 4.干燥和鍍膜 將切取的鑄型用蒸餾水洗干凈,用濾紙吸干后放37(C溫箱中30~60分鐘,Z后放干燥缸中保存。鍍膜可用真空噴鍍,也可用離子鍍膜,方法同前。鍍膜后就可用掃描電鏡觀察 。 (三) 鹽酸化學(xué)消化法 為了研究被觀察細胞的基底面及深層細胞表面,可采用鹽酸化學(xué)消化法制備樣品。 1.固定和清洗:同常規(guī)方法。 2.鹽酸消化:用8mol/L鹽酸消化和腐蝕,其溫度與時間根據(jù)不同組織而異。 3.清潔樣品:用2%~5%Tween20作用3小時,以清潔樣品和穩(wěn)定其結(jié)構(gòu)。 4.脫水、干燥和鍍膜:按常規(guī)方法處理。 參考文獻 1.朱祖福,沈錦德,許志義,等:電子顯微鏡.diyi版,北京,機械工業(yè)出版社,198 4,203~231. 2.朱麗霞,程乃乾,高信曾:生物學(xué)中的電子顯微鏡技術(shù),diyi版,北京,北京大學(xué)出 版社,1983,236~258. 3.張景強,樸英杰,蔡?;I,等:生物電子顯微技術(shù),diyi版,廣州,中山大學(xué)出版社 ,1987,113~132. 7 4.田中敬一、永谷隆編著,李文鎮(zhèn)、應(yīng)國華等譯:圖解掃描電子顯微鏡—生物樣品制備 ,diyi版,北京,科學(xué)出版社,1984. 5.Osatake H,Tanaka K,Inoue T: An application of rapid freezing, freeze substitution(fixation for scanning electron microscopy. 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Scanning Microsc 1990;4:889~941. 8.應(yīng)國華,李向印,李淑榮,等:掃描電鏡生物樣品的鹽酸化學(xué)消化法.中華物理醫(yī)學(xué) 雜志.1988;10:102~103. ------------------------------------------------------------------------------------- 自從1933年德國Ruska和Knoll等人在柏林制成diyi臺電子顯微鏡后,幾十年來,有許多用于表面結(jié)構(gòu)分析的現(xiàn)代儀器先后問世。如透射電子顯微鏡(TEM)、掃描電子顯微鏡(SEM)、場電子顯微鏡(FEM )、場離子顯微鏡(FIM)、低能電子衍射(LEED)、俄歇 譜儀(AES)、光電子能譜(ESCA)、電子探針等。這些技術(shù)在表面科學(xué)各領(lǐng)域的研究中起著重要的作用。但任何一種技術(shù)在應(yīng)用中都會存在這樣或那樣的局限性,例如,LEED及X射線衍射等衍射方法要求樣品具備周期性結(jié)構(gòu),光學(xué)顯微鏡和SEM的分辨率不足以分 辨出表面原子,高分辨TEM主要用于薄層樣品的體相和界面研究,F(xiàn)EM和FIM只能探測在半徑小于100nm的針尖上的原子結(jié)構(gòu)和二維幾何性質(zhì),且制樣技術(shù)復(fù)雜,可用來作為樣品的研究十分有限;還有一些表面分析技術(shù),如X射線光電子能譜(ELS)等只能提供空間平均 的電子結(jié)構(gòu)信息;有的技術(shù)只能獲得間接結(jié)果,還需要用試差模型來擬合。此外,上述一些分析技術(shù)對測量環(huán)境也有特殊要求,例如真空條件等。 1982年,國際商業(yè)機器公司蘇黎世實驗室的葛·賓尼(Gerd Binnig)博士和海·羅雷爾(Heinrich Rohrer)博士及其同事們共同研制成功了世界diyi臺新型的表面分析儀器——掃描隧道顯微鏡(Scanning Tunneling Microscope,以下簡稱STM)。它的出現(xiàn),使人 類diyi次能夠?qū)崟r地觀察單個原子在物質(zhì)表面的排列狀態(tài)和與表面電子行為有關(guān)的物理、化學(xué)性質(zhì),在表面科學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)等領(lǐng)域的研究中有著重大的意義和廣闊的應(yīng)用前景,被國際科學(xué)界公認(rèn)為八十年代世界十大科技成就之一。為表彰STM的fa明者 們對科學(xué)研究的杰出貢獻,1986年賓尼和羅雷爾被授予諾貝爾物理學(xué)獎。 在STM出現(xiàn)以后,又陸續(xù)發(fā)展了一系列工作原理相似的新型顯微技術(shù),包括原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope,以下簡稱AFM)、橫向力顯微鏡(Lateral Force Microscope,以下簡稱LFM)等,這類基于探針對被測樣品進行掃描成象的顯微鏡統(tǒng)稱為掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope,以下簡稱SPM)。 與其它表面分析技術(shù)相比,SPM所具有的獨特優(yōu)點可歸納為以下五條: 1、原子級高分辨率。如STM在平行和垂直于樣品表面方向的分辨率分別可達0.1nm和0.01nm,即可以分辨出單個原子,具有原子級的分辨率。 2、可實時地得到實空間中表面的三維圖像,可用于具有周期性或不具備周期性的表面結(jié)構(gòu)研究。這種可實時觀測的性能可用于表面擴散等動態(tài)過程的研究。 3、可以觀察單個原子層的局部表面結(jié)構(gòu),而不是體相或整個表面的平均性質(zhì)。因而可直接觀察到表面缺陷、表面重構(gòu)、表面吸附體的形態(tài)和位置,以及由吸附體引起的表面重構(gòu)等。 4、可在真空、大氣、常溫等不同環(huán)境下工作,甚至可將樣品浸在水和其它溶液中,不需要特別的制樣技術(shù),并且探測過程對樣品無損傷。這些特點適用于研究生物樣品和在不同試驗條件下對樣品表面的評價,例如對于多相催化機理、超導(dǎo)機制、電化學(xué)反應(yīng)過程中電極表面變化的監(jiān)測等。 5、配合掃描隧道譜STS(Scanning Tunneling Spectroscopy)可以得到有關(guān)表面結(jié)構(gòu)的信息,例如表面不同層次的態(tài)密度、表面電子阱、電荷密度波、表面勢壘的變化和能隙結(jié)構(gòu)等。 如果將應(yīng)用范圍較接近于SPM的電子顯微鏡、場離子顯微鏡與其作一簡略比較(見表1),就可對STM儀器的特點及優(yōu)越性有一清晰的認(rèn)識。 表1. 掃描探針顯微鏡(SPM)與其他顯微鏡技術(shù)的各項性能指標(biāo)比較分辨率 工作環(huán)境 樣品環(huán)境 溫度 對樣品破壞程度 檢測深度 掃描探針顯微鏡(SPM) 原子級(0.1nm) 實環(huán)境、大氣、溶液、真空 室溫或低溫 無 100μm量級透射電鏡(TEM) 點分辨(0.3~0.5nm)晶格分辨(0.1~0.2nm) 高真空 室溫 小 接近SEM,但實際上為樣品厚度所限,一般小于100nm. 掃描電鏡(SEM) 6~10nm 高真空 室溫 小 10mm (10倍時)1μm (10000倍時) 場離子顯微鏡(FIM) 原子級 超高真空 30~80K 有 原子厚度 此外,在技術(shù)本身,SPM具有的設(shè)備相對簡單、體積孝價格便宜、對安裝環(huán)境要求較低、對樣品無特殊要求、制樣容易、檢測快捷、操作簡便等特點,同時SPM的日常維護和運行費用也十分低廉,因此,SPM技術(shù)一經(jīng)發(fā)明,就帶動納米科技快速發(fā)展,并在很短的時間內(nèi)得到廣泛應(yīng)用。

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掃描電鏡和透射電鏡的區(qū)別

電子顯微鏡已經(jīng)成為表征各種材料的有力工具。 它的多功能性和極高的空間分辨率使其成為許多應(yīng)用中非常有價值的工具。 其中,兩種主要的電子顯微鏡是透射電子顯微鏡(TEM)和掃描電子顯微鏡(SEM)。 在這篇文章中,將簡要描述他們的相似點和不同點。

掃描電鏡和透射電鏡的工作原理

從相似點開始, 這兩種設(shè)備都使用電子來獲取樣品的圖像。 他們的主要組成部分是相同的;  

· 電子源;

· 電磁和靜電透鏡控制電子束的形狀和軌跡;

· 光闌。

所有這些組件都存在于高真空中。  

現(xiàn)在轉(zhuǎn)向這兩種設(shè)備的差異性。掃描電鏡(SEM)使用一組特定的線圈以光柵樣式掃描樣品并收集散射的電子(詳細了解SEM中檢測到的不同類型的電子)。

而透射電鏡(TEM)是使用透射電子,收集透過樣品的電子。 因此,透射電鏡(TEM)提供了樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu),如晶體結(jié)構(gòu),形態(tài)和應(yīng)力狀態(tài)信息,而掃描電鏡(SEM)則提供了樣品表面及其組成的信息。  

而且,這兩種設(shè)備最明顯的差別之一是它們可以達到的ZJ空間分辨率; 掃描電鏡(SEM)的分辨率被限制在?0.5nm,而隨著最近在球差校正透射電鏡(TEM)中的發(fā)展,已經(jīng)報道了其空間分辨率甚至小于50pm。

哪種電子顯微鏡技術(shù)最適合操作員進行分析?

這完全取決于操作員想要執(zhí)行的分析類型。 例如,如果操作員想獲取樣品的表面信息,如粗糙度或污染物檢測,則應(yīng)選擇掃描電鏡(SEM)。 另一方面,如果操作員想知道樣品的晶體結(jié)構(gòu)是什么,或者想尋找可能存在的結(jié)構(gòu)缺陷或雜質(zhì),那么使用透射電鏡(TEM)是wei一的方法。

掃描電鏡(SEM)提供樣品表面的3D圖像,而透射電鏡(TEM)圖像是樣品的2D投影,這在某些情況下使操作員對結(jié)果的解釋更加困難。  

由于透射電子的要求,透射電鏡(TEM)的樣品必須非常薄,通常低于150nm,并且在需要高分辨率成像的情況下,甚至需要低于30nm,而對于掃描電鏡(SEM)成像,沒有這樣的特定要求。  

這揭示了這兩種設(shè)備之間的另一個主要差別:樣品制備。掃描電鏡( SEM)的樣品很少需要或不需要進行樣品制備,并且可以通過將它們安裝在樣品杯上直接成像。  

相比之下,透射電鏡(TEM)的樣品制備是一個相當(dāng)復(fù)雜和繁瑣的過程,只有經(jīng)過培訓(xùn)和有經(jīng)驗的用戶才能成功完成。 樣品需要非常薄,盡可能平坦,并且制備技術(shù)不應(yīng)對樣品產(chǎn)生任何偽像(例如沉淀或非晶化 )。 目前已經(jīng)開發(fā)了許多方法,包括電拋光,機械拋光和聚焦離子束刻蝕。 專用格柵和支架用于安裝透射電鏡(TEM)樣品。

SEM vs TEM:操作上的差異

這兩種電子顯微鏡系統(tǒng)在操作方式上也有所不同。 掃描電鏡(SEM)通常使用15kV以上的加速電壓,而透射電鏡(TEM)可以將其設(shè)置在60-300kV的范圍內(nèi)。  

與掃描電鏡(SEM)相比,透射電鏡(TEM)提供的放大倍數(shù)也相當(dāng)高:透射電鏡(TEM)可以將樣品放大5000萬倍以上,而對于掃描電鏡(SEM)來說,限制在1-2百萬倍之間。  

然而,掃描電鏡(SEM)可以實現(xiàn)的ZD視場(FOV)遠大于透射電鏡(TEM),用戶可以只對樣品的一小部分進行成像。 同樣,掃描電鏡(SEM)系統(tǒng)的景深也遠高于透射電鏡(TEM)系統(tǒng)。

表I:掃描電鏡(SEM)和透射電鏡(TEM)之間主要差異的總結(jié)

一般來說,透射電鏡(TEM)的操作更為復(fù)雜。 透射電鏡(TEM)的用戶需要經(jīng)過強化培訓(xùn)才能操作設(shè)備。 在每次使用之前需要執(zhí)行特殊程序,包括幾個步驟以確保電子束wan美對中。 在表I中,您可以看到掃描電鏡(SEM)和透射電鏡(TEM)之間主要區(qū)別的總結(jié)。

結(jié)合SEM和TEM技術(shù)

還有一種電子顯微鏡技術(shù)被提及,它是透射電鏡(TEM)和掃描電鏡(SEM)的結(jié)合,即掃描透射電鏡(STEM)。 如今,大多數(shù)透射電鏡(TEM)可以切換到“STEM模式”,用戶只需要改變其對準(zhǔn)程序。 在掃描透射電鏡(STEM)模式下,光束被精確聚焦并掃描樣品區(qū)域(如SEM),而圖像由透射電子產(chǎn)生(如TEM)。

在掃描透射電鏡(STEM)模式下工作時,用戶可以利用這兩種技術(shù)的功能; 他們可以在高分辨率先看到樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)(甚至高于透射電鏡TEM分辨率),但也可以使用其他信號,如X射線和電子能量損失譜。 這些信號可用于能量色散X射線光譜(EDX)和電子能量損失光譜(EELS)。  

當(dāng)然,EDX能譜分析在掃描電鏡(SEM)系統(tǒng)中也是常見分析方法,并用于通過檢測樣品被電子撞擊時發(fā)射的X射線來識別樣品的成分。

電子能量損失光譜(EELS)只能在以掃描透射電鏡(STEM)模式工作的透射電鏡(TEM)系統(tǒng)中實現(xiàn),并能夠反應(yīng)材料的原子和化學(xué)成分,電子性質(zhì)以及局部厚度測量。

在SEM和TEM之間做出選擇

從所提到的一切來看,顯然沒有“更好”的技術(shù); 這完全取決于需要的分析類型。 當(dāng)用戶想要從樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)獲得信息時,透射電鏡(TEM)是zui佳的選擇,而當(dāng)需要樣品表面信息時,掃描電鏡(SEM)是shou選。 當(dāng)然,主要決定因素是兩個系統(tǒng)之間的巨大價格差異,以及易用性。 透射電鏡(TEM)可以為用戶提供更多的分辨能力和多功能性,但是它們比掃描電鏡(SEM)更昂貴且體型較大,需要更多操作技巧和復(fù)雜的前期制樣準(zhǔn)備才能獲得滿意的結(jié)果。

關(guān)于作者

Antonis Nanakoudis

Antonis Nanakoudis是Phenom-World的應(yīng)用工程師,后者是世界ling先的桌面掃描電子顯微鏡供應(yīng)商。Antonis致力于拓展Phenom飛納電鏡在不同的領(lǐng)域的應(yīng)用,并且不斷地探索、創(chuàng)新更多的使用技巧。


(來源:復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司)

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