隨著NANO-MASTER專利技術的ICP源的深入應用，對于大面積的基片提供均勻高品質的薄膜生長得以實現(xiàn)。到目前為止，NANO-MASTER的ALD系統(tǒng)可以支持在任意尺寸的襯底上的擴展，這給顯示和照明等領域帶來好消息。

此外，NANO-MASTER同時具備粉末處理能力的擴展。這樣，NANO-MASTER系統(tǒng)已經可以支持在任意尺寸和任意形狀的固體上進行原子級生長。在應用選擇方面，我們支持熱ALD和PEALD系統(tǒng)的單獨應用，同事也支持ALE/ALD雙系統(tǒng)、IBE/ALD雙系統(tǒng)、ALD/PECVD雙系統(tǒng)、ALD/IBAD雙系統(tǒng)等應用，以及ALD跟其它NANO-MASTER任意系統(tǒng)組成的Cluster系統(tǒng)，可以實現(xiàn)多工序工藝在不間斷真空的情況下一步完成工藝。

經過多輪往復溝通才確認下來的ALD需求，NANO-MASTER嚴格按照Air Force（美國空軍）客戶的要求進行定制。提交系統(tǒng)之后，經過多輪測試，NANO-MASTER的ALD系統(tǒng)在設備加工品質、工藝性能指標、設備穩(wěn)定性等多方面都已經經過嚴格的考核，并得到最終的驗收。

隨著ALD系統(tǒng)應用于Air Force，我們ALD系統(tǒng)的性能和設備穩(wěn)定性都得到了很好的驗證，也證明了我們的設計具有許多獨特的優(yōu)勢。

    “碳達峰”和“碳中和”一直都是能源領域的熱點話題，作為助力“雙碳”戰(zhàn)略的生力軍，光伏產業(yè)具有舉足輕重的地位。目前光伏的主力是硅太陽能電池，它們具有效率高、穩(wěn)定性好、產業(yè)鏈完備、使用壽命長的優(yōu)勢。然而，晶硅電池的轉換效率到達瓶頸，且從硅料到組件至少經過4 道工序，單位制程需要3 天以上，同時還需要大量人力、運輸成本等。為了讓太陽能的利用更加便捷、高效且廉價，科學界和工業(yè)界正在研制新型太陽能電池；鈣鈦礦太陽能電池就是備受關注的后起之秀，鈣鈦礦疊層效率極限可達50%，而鈣鈦礦組件在單一工廠完成生產，原材料經過加工后直接成組件，沒有傳統(tǒng)的“電池片”工序，大大縮短制程耗時。但是，如何制備大面積且能保持較高效率的鈣鈦礦太陽能電池，依然是難題，也成了制約其產業(yè)化應用的瓶頸。

       原速ALD在鈣鈦礦電子傳輸層、空穴傳輸層、鈍化層、封裝阻水層等領域已取得了突破性進展，獲得了業(yè)界的認可。為了更高效地服務于世界光伏產業(yè)高地，原速也在上海建立了技術研發(fā)中心。截止目前，公司已形成服務于鈣鈦礦電池研發(fā)、中試、100MW、 GW級量產的產線ALD技術解決方案。

1、ALD-SnO2 應用于鈣鈦礦電池電子傳輸層 

? ALD 相比于傳統(tǒng)沉積技術，在制備超薄膜時具有更優(yōu)異的均勻性和保形性，以及缺陷更少的優(yōu)點

2、ALD-NiO 應用于鈣鈦礦電池空穴傳輸層 

? ALD 可用于制備性能優(yōu)異的超?。?10 nm）NiO 空穴傳輸層

3、ALD 應用于鈣鈦礦電池鈍化層 

? ALD 超薄膜可以應用于界面處，通過和懸掛鍵反應的方式減少表面缺陷，或排斥載流子，達到鈍化的效果

4、ALD 應用于鈣鈦礦電池封裝 

? 致密的 ALD 膜可達到有效的阻水氧的效果

       鋰離子電池在充放電過程中，鋰離子在正負極之間穿梭。在充電過程中，鋰離子從正極脫出經過電解液和隔膜到達負極發(fā)生反應。在放電過程中鋰離子從負極返回正極嵌入正極材料。在循環(huán)過程中，正極材料面臨許多的問題如自身體積的變化，晶體結構的改變，界面結構的退化等導致的容量衰減。同樣的，負極材料也面臨著體積膨脹，枝晶的生長導致的負極材料的粉碎溶解、從集流體表面剝離脫離、電接觸變差，短路等一系列問題，這些問題導致材料的容量和循環(huán)性能嚴重下降，甚至電池的起火爆炸。

       原子層沉積（ALD）薄膜沉積可以合成具有原子級精度的材料，基于自限的膜納米級的控制，可以實現(xiàn)多組分膜的化學成分控制、大面積的薄膜/工藝的可重復性，具備低溫處理以及原位實時監(jiān)控等技術特征。該技術在鋰離子電池，太陽能電池，燃料電池以及超級電容器中都具有廣泛的應用。

      ALD已經被公認是一種非常有前途的工具可以用來解決鋰離子電池以及其他電能儲存設備所面臨的問題。ALD在鋰離子電池中的應用主要分為兩個方面：(1)高性能電池電極，隔膜，集流體材料等的制備；(2)表面修飾。其應用主要總結在下圖：

1、ALD在電極材料及電解質制備中的應用

a、ALD 用于負極材料的制備

采用ALD技術制備的負極材料主要集中在過渡金屬氧化物(TMOs), 如RuO₂, SnO₂, TiO₂和ZnO. 其能量密度比傳統(tǒng)的石墨電極高。同時，為了解決TMOs負極材料所面臨的挑戰(zhàn)，如SnO₂在循環(huán)過程中較大的體積變化，TiO₂低的電子跟離子電導率，由超高電導率的碳基材料如石墨烯，碳納米管以及Mxenes與TOMs組成的復合負極材料可以很好的融合兩者的優(yōu)勢。

如：ALD制備的TiO₂/CNF-CFP(carbon fiber paper)負極，具有高可逆容量（272 mAh g^?1 at 0.1 A g^?1），超高倍率性能(133 mAh g^?1 at 40 A g^?1) 以及超長循環(huán)穩(wěn)定性（≈ 93%容量保持率在10000 圈 at 20 A g^?1）。

b、用于正極材料的制備

通過ALD技術制備的正極材料有非鋰化正極如V₂O₅, FePO₄; 鋰化正極如LiFePO₄, LiCoO₂以LixMn₂O₄。

如TiO₂/V₂O₅/@CNT paper正極在100 mA g^-1的電流密度下的放電比容量為400 mAh g^-1，達到了理論放電比容量。 同時，正極材料V2O5的溶解問題可以通過TiO₂層得到，同時不損失容量跟倍率性能。

c、SSEs固態(tài)電解質的制備

歸功于其安全性及循環(huán)穩(wěn)定性，全固態(tài)鋰離子電池近來成為了研究的熱點。ALD可以解決全固態(tài)鋰離子電池所面臨的兩大關鍵性挑戰(zhàn)：a.高界面阻抗，b.低離子電導率。 最近采用ALD制備的固態(tài)電解質有LiPON, Li7La₃Zr₂O₁₂, LixAlySizO, LixTayOz, LixAlyS and Li₂O-SiO₂.這些含鋰SSEs提供了一個關鍵的技術平臺來制備高能量密度，長壽命以及安全的可充放電池。如下圖所示，ALD制備的LLZO為制備3D全固態(tài)鋰離子微電池提供了一條技術路線。

2、ALD在電池電極，隔膜，集流體等表面修飾領域的應用

a、ALD對負極表面修飾的應用

在負極材料中，ALD表面/界面修飾技術主要為了解決從SEI膜引發(fā)的系列問題。在循環(huán)過程中，SEI膜的大量形成以及體積變化會引起電極的破壞，從而引發(fā)新的暴露面導致容量的衰減。如在石墨負極表面沉積Al2O3可以在電池循環(huán)了200圈之后有效地保持98%的首圈容量。

鋰金屬作為負極材料的未來之星，在鋰金屬的沉積跟剝離過程中，鋰枝晶的生長導致電池短路的問題亟待解決。采用ALD技術在鋰金屬表面構建例如有機/無機復合人工SEI膜，可以有效地抑制鋰枝晶的生長。

b、ALD對正極表面的修飾作用

為了解決正極材料表面所面臨的電解液分解，相變，析氧以及過渡金屬溶解等問題,采用ALD技術在正極材料表面沉積保護層可以作為物理阻擋層或者HF清除層，從而有效地提高電池的循環(huán)穩(wěn)定性跟倍率性能。在正極材料（層狀結構：LiCoO₂, LiNixMnyCozO₂,富鋰(Li-rich)xLi₂MnO₃·(1 ? x)LiMO₂(M = Mn, Ni, Co)，尖晶石結構LiMn₂O₄)表面沉積的ALD鍍層主要可以分為四類：a金屬氧化物：Al₂O₃, TiO₂, ZrO₂, MgO, CeO₂, Ga₂O₃; b氟化物：AlF₃, AlWxFy; c磷化物：AlPO₄,FePO₄; d含鋰化合物：LiAlO₂, LiTaO₃, LiAlF₄。

      近日，中石油江漢機械研究所有限公司（以下簡稱“江漢機械研究所”）再次簽約青軟青之共建LIMS實驗室信息管理系統(tǒng)。旨在通過升級管理信息系統(tǒng)產品，助力江漢機械研究所實現(xiàn)全新管理變革和智能化全功能升級。

      江漢機械研究所對信息化建設工作非常重視，20年前，研究所就引進了青軟青之的前身網軟科技的LIMS系統(tǒng)，大大提高了實驗員對分析數據的錄入效率。風雨兼程20年，青軟青之的LIMS產品已從網軟科技的C/S版升級到B/S版，微服務架構及前后端分離技術讓產品更靈活，能更好地滿足客戶的個性化需求，同時，江漢機械研究所的研發(fā)以及生產能力也在不斷突破，隨著數字化手段的進入，其信息化管理需求也更加多元化了，“老的C/S版LIMS系統(tǒng)”的方式已經難以滿足實驗室業(yè)務發(fā)展要求，需要使用更高效率的管理方式，提升實驗室整體業(yè)務工作效率和數字化管理能力。

      基于此，青軟青之將根據江漢機械研究所業(yè)務發(fā)展需要，對老C/S版LIMS系統(tǒng)進行數據遷移并升級，使實驗室所有的儀器設備、檢驗流程、檢驗報告數據等要素都在一個體系內運轉，隨時可供追溯和查詢，并實現(xiàn)實驗室與其它部門業(yè)務的關聯(lián)，促進實驗室管理向信息化、標準化、規(guī)范化的大幅轉變，并達到一定程度的智能化。

      在微納集成器件進一步微型化和集成化的發(fā)展趨勢下，現(xiàn)有器件特征尺寸已縮小至深亞微米和納米量級，以突破常規(guī)尺寸的極限實現(xiàn)超微型化和高功能密度化，成為近些年來的熱點研究領域。微納結構器件不僅對功能薄膜本身的厚度和質量要求嚴格，而且對功能薄膜/基底之間的界面質量也十分敏感，尤其是隨著復雜高深寬比和多孔納米結構在微納器件中的應用，傳統(tǒng)的薄膜制備工藝越來越難以滿足其發(fā)展需求。ALD 技術沉積參數高度可控，可在各種尺寸的復雜三維微納結構基底上，實現(xiàn)原子級精度的薄膜形成和生長，可制備出高均勻性、高精度、高保形的納米級薄膜。

       微機電系統(tǒng)(MEMS)是尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置，其內部結構一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智能系統(tǒng)，主要由傳感器、動作器(執(zhí)行器)和微能源三大部分組成，廣泛應用于智能系統(tǒng)、消費電子、可穿戴設備、智能家居、系統(tǒng)生物技術的合成生物學與微流控技術等領域。MEMS的構造過程需要精細的微納加工技術，而工作過程伴隨著器件復雜的三維運動，其中ALD技術均可發(fā)揮重要作用，ALD具有高致密性以及高縱寬比結構均勻性，為MEMS機械耐磨損層、抗腐蝕層、介電層、憎水涂層、生物相容性涂層、刻蝕掩膜層等提供優(yōu)質解決方案。

       磁隧道結(MTJ)是由釘扎層、絕緣介質層和自由由層的多層堆垛組成。在電場作用下，電子會隧穿絕緣層勢壘而垂直穿過器件，電子隧穿的程度依賴于釘扎層和自由層的相對磁化方向。隨著MTJ尺寸的不斷縮小以及芯片集成度的不斷提高，MTJ制備過程中的薄膜生長工藝偏差和刻蝕工藝偏差的存在，將會導致MTJ狀態(tài)切換變得不穩(wěn)定，并降低MTJ的讀取甚至會嚴重影響NV-FA電路中寫入功能和邏輯運算結果輸出功能的正確性。ALD技術沉積參數高度可控，可通過精準控制循環(huán)數來控制MTJ所需達到的各項參數，是適用于MTJ制造的最佳工藝方案之一。

      生物物理學微流體器件可由單個納米孔和電極組成，也可以由許多納米孔陣列組成，可同時篩選、引導、定位、測量不同尺度的生物大分子，在生物物理學和生物技術領域中有著廣泛的應用前景。生物納米孔逐漸受到了人們的普遍重視引起了人們的廣泛興趣，尤其是納米孔作為生物聚合物的檢測器件，為一些生物化學現(xiàn)象的基礎研究提供了研究的平臺。然而生物納米孔所固有的一些缺陷也很明顯，如生物相容性差及微孔的尺寸不可更改等；針對于此，ALD技術可通過表面修飾，改善納米孔的生物相容性，同時提升抗菌抑菌和促進細胞合成。

圖一: ALD Al2O3(僅~10 nm)可作為MEMS齒輪高硬度潤滑膜

圖二：ALD應用于低溫MEMS器件構造

圖三：MRAM磁隧道結（MTJ）存儲元件

圖四：一種具有納米蛛網結構的細菌纖維素膜

氧氣檢測儀應用范圍？

 噴霧干燥機性能特點及應用范圍如下:
1 食品工業(yè)：密脂奶粉、胳朊、可可奶粉、代乳液、豬血粉、蛋青（黃）等。
2 食物及植物: 燕麥、雞汁、咖啡、速溶茶、調味香料肉、蛋白質、大豆、花生蛋白質、水解物等。
3 糖類: 玉米漿、玉米淀粉、葡萄糖、果膠、麥芽糖、山梨酸鉀等。
4 塑料樹脂：AB、ABS乳液、尿醛樹脂、酚醛樹脂、密膠（脲）甲醛樹脂、聚乙烯、聚氟乙烯等。
5 化學工業(yè)：氟化鈉（鉀）、堿性染料顏料、染料中間體、復合肥、甲醛硅酸、催化劑、硫酸劑、氨基酸、白炭黑等. 6 陶瓷：氧化鋁、瓷磚材料、氧化鎂、滑石粉等。

       果蔬汁或果蔬漿制粉品可采用噴霧干燥，其制品的速溶性較好。用果蔬汁制粉品前往往需要添加某些物質，如糖、淀粉等，否則其同形物含量過少。由于果蔬漿在制粉品前，含有大量糖分、果膠等黏性物質，故需將其加水稀釋，也由此造成能耗急劇增加。因此，用于湯料和固體飲料。用于調料的果蔬粉品，可用果蔬干片（濕含量低于4%），磨成符合要求細度的粉品，此種粉品風味更濃，而溶解性較差，但加工時的能耗遠遠低于噴霧干燥的能耗。

      壓力噴霧干燥機應用范圍：
化工：有機催化劑，樹脂，合成洗衣粉，油脂類，硫銨，染料，染料中間體，白碳黑，石墨，磷銨等。
食品：氨基酸及類似物，調味料，蛋白質，淀粉，乳制品，咖啡抽取物，魚粉，肉精等。
制藥：中成藥，農藥，***，醫(yī)藥沖劑等。
陶瓷：氧化鎂，瓷土，各種金屬氧化物，白云石等。
噴霧造粒機應用范圍：
各種肥料，氧化鋁，陶瓷粉，制藥，重金屬超硬鋼，化肥，粒狀洗衣粉，中成藥等。
噴霧冷卻造粒應用范圍：
胺基脂肪酸，石蠟，甘油酸脂，牛脂等。
噴霧結晶，噴霧濃縮，噴霧反應等方面也經常使用。

      氣流噴霧干燥機應用范圍：
1.化學工業(yè)：白炭黑、硫酸鋇、洗滌劑、CR助劑、膠乳、凈水劑、樹脂、堿式硫酸鉻、氧化鋁、氧化鈦、高嶺土、鐵氧體、塊滑石、碳化物、肥料，腐值酸、染料、混凝土外加劑、塑料、冰晶石等。
2.食品工業(yè)：糊精、麥芽糖、蛋白fen、蛋黃粉、低聚糖、顆粒油脂、速溶咖啡、淀粉、香料、果蔬顆粒
3.醫(yī)藥工業(yè)：中西藥粉劑、***、生化產品、維生素、農藥粉劑、水解蛋白、酶、單細胞蛋白等。
4.乳品工業(yè)：脫脂奶粉、全脂奶粉、豆奶粉、冰淇淋粉、乳精粉、酷朊酸鈉等
5.環(huán)保：煙氣脫硫、造紙黑液及藥廠廢液處理等
6.建材工業(yè)：陶瓷坯料、釉料、超細粉料等
7.其他：魚粉廢液、飼料

       噴霧干燥同其他干燥方法相比較，噴霧干燥具有許多優(yōu)點：
(l)干燥速度快，物料受熱時間短
(2)干燥條件和產品的質量指標易于調節(jié)
(3)生產***，操作人員少
(4)生產過程簡化，后續(xù)工序少

       由于噴霧干燥的以上特點，其適合干燥的物料主要有：
(1)水果和蔬菜杏、芒果、天門冬類、椰奶、香蕉、桃、蠶豆、洋蔥、甜菜根、番茄、胡蘿h、軟果類、柑橘填充物等。
(2)乳制品牛奶、奶油、冰淇淋粉等。
(3)蛋白制品豆粉、蛋粉等。
(4)糖類制品葡萄糖類制品。
(5)谷類制品麥精、淀粉等。
(6)酵母制品酵母粉、飼料酵母等。
(7)飲料制品速溶咖啡、速溶茶、可可等。
(8)香料制品天然香料、合成香料等。
(9)肉、魚類制品骨粉、血漿粉、魚粉等。