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- 勤奮的ly9063 2010-05-15 00:00:00
- 鍍膜機(jī)的組成及各部件：機(jī)械泵、增壓泵、油擴(kuò)散泵、冷凝泵、真空測量系統(tǒng)、鍍膜監(jiān)控系統(tǒng)及各自的工作原理，鍍膜機(jī)按照其應(yīng)用領(lǐng)域的不同可以分為電子槍熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)、磁控濺射鍍膜機(jī)、等離子鍍膜機(jī)、射頻鍍膜機(jī)等，但是他們的結(jié)構(gòu)都一樣，以光學(xué)鍍膜機(jī)為例，主要有三大部分組成：真空主體——真空腔，輔助排氣系統(tǒng)（包括排氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)）、蒸發(fā)系統(tǒng)（包括坩堝及回轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)、電子槍柜）、成膜控制系統(tǒng)。
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- 鄧彥恒 2010-05-08 00:00:00
- 1。真空室 2。真空獲得系統(tǒng) 3。真空檢測系統(tǒng) 4。控制系統(tǒng) 5。冷卻水系統(tǒng) 6。壓縮空氣系統(tǒng) 7。電源系統(tǒng) 8。工件轉(zhuǎn)架系統(tǒng) 9。蒸發(fā)源系統(tǒng) 10。反應(yīng)氣體系統(tǒng) 11。配電系統(tǒng) 是做畢業(yè)設(shè)計么？有不明白的可以Hi我
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