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- 書墨ing 2013-01-14 00:00:00
- 包括千分尺，游標(biāo)卡尺，還有測厚儀，其中千分尺的可靠度高點，測厚儀要經(jīng)常校準(zhǔn)的。
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- ljz128ljz 2013-01-14 00:00:00
- 厚度很薄的，一般在數(shù)十埃至幾微米范圍內(nèi)的。為適應(yīng)各種成分和結(jié)構(gòu)的薄層的測厚要求，已研制成各種測量設(shè)備。像真尚有的傳感器zlds100。采用比色法、干涉條紋法以及橢偏術(shù)等測量各種透明薄膜；采用磨角染色法、層錯法、紅外光反射法以及背散射技術(shù)等檢驗外延層厚度、擴(kuò)散層和離子注入層的深度；采用間接干涉法和臺階儀等測量金屬膜和多晶硅的厚度等。
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