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等離子體表面處理儀有哪些?

鵬哥19760619 2017-06-18 21:09:21 521  瀏覽
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參與評論

全部評論(1條)

  • 恩典控丶軒間 2017-06-19 00:00:00
    等離子體表面處理儀是通過利用對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態(tài),利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等的目的。

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