8英寸晶圓上的40納米的薄膜,有什么方式測量。不要破壞樣品。
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8英寸晶圓上的40納米的薄膜,有什么方式測量。不要破壞樣品。方法越簡單越好。... 8英寸晶圓上的40納米的薄膜,有什么方式測量。不要破壞樣品。 方法越簡單越好。 展開
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- jayheihei 2016-02-17 00:00:00
- 用臺階儀就好了,臺階儀在測量方式上可以分為接觸式和非接觸式測量,接觸式就是用探針在薄膜的表面滑動,在薄膜的邊緣出現(xiàn)臺階的地方,探針的位置會發(fā)生改變,傳感器記錄這一改變進行相應(yīng)的運算即可得到臺階高度,薄膜厚度,溝槽深度和表面粗糙度等等信息。非接觸式的則是利用光學原理,無論是白光干涉,還是白光色散,再有就是激光共聚焦等等,無非根據(jù)光信號傳感來判斷薄膜厚度。接觸式臺階儀分為手動的和自動的。便宜些的你就用手動的,比如Nanomap系列的PS,測個厚度足夠了。貴些的用自動的。自動的可以得到三維形貌所以又有人叫三維輪廓儀,三維形貌儀啥的。自動的可以測量表面形貌,表面粗糙度,面粗糙度等等。
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一、需求目的:1、熱達標;2、故障少
二、細化需求,怎么評估樣品:1、設(shè)計方面;2、測試方面
三、具體到芯片設(shè)計有哪些需要關(guān)注:
1、頂層設(shè)計
2、仿真
3、熱設(shè)計及功耗
4、資源利用、速率與工藝
5、覆蓋率要求
6、
四、具體到測試有哪些需要關(guān)注:
1、可測試性設(shè)計
2、常規(guī)測試:晶圓級、芯片級
3、可靠性測試
4、故障與測試關(guān)系
5、
測試有效性保證;
設(shè)計保證?測試保證?篩選?可靠性?
設(shè)計指標?來源工藝水平,模塊水平,覆蓋率
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晶圓代工迎來新的黃金期
近期,以臺積電為代表的幾大晶圓代工廠備受關(guān)注,原因在于它們2020年diyi季度的財報。與各大IDM和Fablessdiyi和第二季度低迷的財報或財測不同,臺積電、聯(lián)電和中芯國際這三大晶圓代工廠的業(yè)績十分亮眼,與當下疫情給半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶來的負面影響形成了鮮明的對比??磥?,晶圓代工(Foundry)這種商業(yè)模式確有其過人之處。
2019年10月,DIGITIMES Research預(yù)估 2019至2024年晶圓代工產(chǎn)值年復(fù)合增長率(CAGR)有望達到5.3%。而突如其來的疫情肯定會拉低這一預(yù)估,不過,臺積電對外展現(xiàn)出了較為樂觀的態(tài)度,該公司認為,2019至2024年,不含存儲器的半導(dǎo)體業(yè)年復(fù)合增長率有望達到5%,而晶圓代工業(yè)的增長幅度將比整個半導(dǎo)體業(yè)要高一些。不過,受到疫情影響,2020年半導(dǎo)體業(yè)將呈現(xiàn)同比負增長,這已經(jīng)成為行業(yè)普遍共識。而在這樣低迷的經(jīng)濟環(huán)境下,臺積電預(yù)計其全年的營收將實現(xiàn)同比增長15%左右,這是一個很亮眼的數(shù)字了。
晶圓代工業(yè)之所以能夠逆勢增長,首先是由其自身的商業(yè)模式?jīng)Q定的。
在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展初期,是不存在IC設(shè)計和制造分工的,只有一種IDM模式,隨著市場和產(chǎn)業(yè)發(fā)展,一些規(guī)模較小的廠商,因為財力有限,無法負擔自有晶圓廠,因此,就會把設(shè)計的芯片交給實力較為雄厚的IDM制造,這是Z早的代工模型。然而,早期在ZL保護意識缺乏的情況下,將設(shè)計出來的芯片交給其他IDM制造,存在著較大的產(chǎn)品安全風險,即競爭對手很可能會掌握你的芯片信息。
這樣,晶圓代工模式應(yīng)運而生,1987年,臺積電創(chuàng)建,開創(chuàng)了一個新的時代。自那以后,隨著市場和產(chǎn)業(yè)發(fā)展,無晶圓廠的Fabless數(shù)量逐年增加,給晶圓代工廠帶來了滾滾財源,也因此,更多的Foundry涌現(xiàn)出來,不過,與越來越多的Fabless數(shù)量相比,F(xiàn)oundry的數(shù)量還是相對有限的,直到今天依然如此。畢竟,由于重資產(chǎn)和高技術(shù)密集的特點,籌建一家Foundry的難度要遠大于Fabless。
對于Foundry來說,由于長期專注于晶圓代工業(yè)務(wù),且給自己的定位明確,并能持之以恒;另外,這種商業(yè)模式的多客戶、多產(chǎn)品線、多制程特點,比IDM和Fabless更加厚重且多元,某種程度上,其抗風險能力更強。
除了自身特點之外,晶圓代工廠能夠交出亮眼的業(yè)績,且在未來幾年內(nèi)的年復(fù)合增長率大概率會高于全行業(yè)平均水平,還有多種市場因素,主要包括以下三點:終端設(shè)備的芯片元器件用量逐年提升;IDM芯片制造外包業(yè)務(wù)增加;設(shè)備和互聯(lián)網(wǎng)廠商自研芯片增加。這三大增量市場內(nèi)的芯片大都需要交給晶圓代工廠生產(chǎn),因此,未來幾年Foundry的業(yè)績很值得期待。
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