全部評(píng)論(1條)
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- 老末 2016-02-19 00:00:00
- 電子探針（Electron Probe Microanalysis-EPMA）的主要功能就是進(jìn)行微區(qū)成分分析。它是在電子光學(xué)和X射線光譜學(xué)原理的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種GX率分析儀器。 其原理是：用細(xì)聚焦電子束入射樣品表面，激發(fā)出樣品元素的特征X射線，分析特征X射線的波長(zhǎng)（或能量）可知元素種類；分析特征X射線的強(qiáng)度可知元素的含量。 其鏡筒部分構(gòu)造和SEM相同，檢測(cè)部分使用X射線譜儀，用來檢測(cè)X射線的特征波長(zhǎng)（波譜儀）和特征能量（能譜儀），以此對(duì)微區(qū)進(jìn)行化學(xué)成分分析。 6.1 電子探針儀的結(jié)構(gòu)與工作原理 結(jié)構(gòu)如圖所示，可以分為三大部分：鏡筒、樣品室、和信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)。 鏡筒和樣品室部分與SEM相同。信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)是X射線譜儀，對(duì)微區(qū)進(jìn)行化學(xué)成分分析：波長(zhǎng)分散譜儀或波譜儀（WDS），用來測(cè)定特定波長(zhǎng)的譜儀；能量分散譜儀或能譜儀（EDS），用來測(cè)定X 射線特征能量的譜儀 已知電子束入射樣品表面產(chǎn)生的X射線是在樣品表面下一個(gè)um量級(jí)乃至納米量級(jí)的作用體積發(fā)出的，若該體積內(nèi)含有各種元素，則可激發(fā)出各個(gè)相應(yīng)元素的特征X線，沿各向發(fā)出，成為點(diǎn)光源。 在樣品上方放置分光晶體，當(dāng)入射X波長(zhǎng)、入射角、分光晶體面間距d之間滿足2dsin = 時(shí)，該波長(zhǎng)將發(fā)生衍射，若在其衍射方向安裝探測(cè)器，便可記錄下來。由此，可將樣品作用體積內(nèi)不同波長(zhǎng)的X射線分散并展示出來。 上述平面分光晶體使譜儀的檢測(cè)效率非常低，表現(xiàn)在：固定波長(zhǎng)下，特定方向入射才可衍射；處處衍射條件不同； 要解決的問題是：分光晶體表面處處滿足同樣的衍射條件；實(shí)現(xiàn)衍射束聚焦 把分光晶體作適當(dāng)?shù)膹椥詮澢?，并使X射線源、彎曲晶體表面和檢測(cè)器窗口位于同一個(gè)園周上，就可以達(dá)到把衍射束聚焦的目的。該園稱為聚焦園，半徑為R。 此時(shí)，如果晶體的位置固定，整個(gè)分光晶體只收集一種波長(zhǎng)的X射線。
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