英國愛丁堡儀器

一體化全自動顯微共聚焦拉曼光譜儀 RM5

儀器介紹

RM5顯微共聚焦拉曼光譜儀是一款緊湊型的全自動顯微拉曼光譜儀，可以內(nèi)置多達三個激光器。具有可調(diào)節(jié)的電動狹縫和多位可調(diào)節(jié)的共聚焦針孔，用于獲取更高的圖像清晰度，更好的熒光背景抑 制和更靈活的應用條件優(yōu)化。

適用于新型材料、生物醫(yī)藥、物質(zhì)鑒定等方面的測量，提供超高的光譜分辨率、空間分辨率和靈敏度，結(jié)合拉曼成像技術(shù)（2D/3D/Surface Mapping），實現(xiàn)全方位拉曼信息檢測。

儀器特點

+ 緊湊型一體化分析級拉曼光譜儀

+ 多種配置一體化耦合

+  內(nèi)置標準物質(zhì)和自動校準功能

+  真共聚焦技術(shù)

+  功能強大的Ramacle?軟件

+  高性能附件兼容（偏振組件、顯微鏡、樣品臺等）

應用范圍

生物醫(yī)藥

   藥品成分和分布狀態(tài)分析；

   原料檢定；

   生物相容性；

   藥物/細胞相互作用；

鋁箔上含有痕量撲熱息痛顆粒的拉曼成像圖

植物細胞木質(zhì)素成像分布分析，A.白光圖；B.成像圖

能源光伏以及半導體材料表征

   薄膜太陽能電池結(jié)構(gòu)分析；

   原位技術(shù)檢測充放電；

   電極材料的缺陷分析；

   材料本征應力/應變的特征；

分散碳納米管在晶圓上分布的拉曼成像（左）+硅基石墨烯單晶拉曼成像（右）

熒光顯微鏡主要應用在生物領域及醫(yī)學研究中，能得到細胞或組織內(nèi)部微細結(jié)構(gòu)的熒光圖像，在亞細胞水平上觀察諸如Ca2+ 、PH值，膜電位等生理信號及細胞形態(tài)的變化，是形態(tài)學，分子生物學，神經(jīng)科學，藥理學，遺傳學等領域中新一代強有力的研究工具。

以共聚焦技術(shù)為原理的共聚焦顯微鏡，是用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。

材料科學的目標是研究材料表面結(jié)構(gòu)對于其表面特性的影響。因此，高分辨率分析表面形貌對確定表面粗糙度、反光特性、摩擦學性能及表面質(zhì)量等相關(guān)參數(shù)具有重要意義。共焦技術(shù)能夠測量各種表面反射特性的材料并獲得有效的測量數(shù)據(jù)。

VT6000共聚焦顯微鏡基于共聚焦顯微技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可以對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。在材料生產(chǎn)檢測領域中能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用

1.MEMS

微米和亞微米級部件的尺寸測量，各種工藝（顯影，刻蝕，金屬化，CVD， PVD，CMP等）后表面形貌觀察，缺陷分析。

2.精密機械部件，電子器件

微米和亞微米級部件的尺寸測量，各種表面處理工藝，焊接工藝后的表面形 貌觀察，缺陷分析，顆粒分析。

3.半導體/ LCD

各種工藝（顯影，刻蝕，金屬化，CVD，PVD，CMP等）后表面形貌觀察， 缺陷分析 非接觸型的線寬，臺階深度等測量。

4.摩擦學，腐蝕等表面工程

磨痕的體積測量，粗糙度測量，表面形貌，腐蝕以及亞微米表面工程后的表面形貌。

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科研級模塊化顯微共聚焦拉曼光譜儀RMS1000

儀器介紹

RMS1000拉曼光譜儀是一臺“開放式”研究級別的共焦顯微拉曼光譜儀。在儀器系統(tǒng)中可配置多達5個集成的窄帶激光器，另，可以連接外部激光器，以及用于熒光壽命測量的脈沖激光器。RMS1000是一個真正的共焦系統(tǒng)，具有可調(diào)節(jié)的電動狹縫和多個位置可調(diào)節(jié)的針孔，能實現(xiàn)更高的圖像清晰度，更好的熒光抑 制，應用優(yōu)化。

適用于新型半導體材料、生物分子（如蛋白質(zhì)、多肽）等方面的研究，提供超高的光譜分辨率、空間分辨率和靈敏度。模塊化的設計，結(jié)合拉曼成像技術(shù)（2D/3D/Surface Mapping）和熒光成像技術(shù)(FLIM)，實現(xiàn)全方位樣品信息檢測。

儀器特點

+ 模塊化科研級拉曼光譜儀

+ 雙焦長光譜儀可同時配置（800mm&250mm）

+ 最多耦合4個檢測器（如CCD、EMCCD、InGaAs等）

+ 最多耦合5個內(nèi)置激光器（配置外置激光器接口）

+ 內(nèi)置標準物質(zhì)和自動校準功能

+ 功能強大的Ramacle?軟件

+ 真共聚焦技術(shù)

+ 強大的擴展功能（兼具拉曼+熒光測試）（正置/倒置顯微鏡）

應用范圍

生物醫(yī)藥

   藥品成分和分布狀態(tài)分析；

   原料檢定；

   生物相容性以及DNA/RNA分析；

   藥物/細胞相互作用；

   微生物組織分析以及成像；

藥片樣品的拉曼表面成像以及成分分析（撲熱息痛、阿司匹林、咖 啡因）

鈴蘭草根莖的雙光子成像（左圖）+熒光壽命成像（右圖）

能源光伏

   薄膜太陽能電池結(jié)構(gòu)分析；

   原位技術(shù)檢測充放電；

   硅光電池的晶化率分析；

   電極材料的缺陷分析；

光伏器件碳納米管空穴提取層（白光成像圖（左）+熒光光譜成像圖（右））

新型材料

   材料本征應力/應變的特征；

   物相晶型鑒別及結(jié)晶度測量；

   環(huán)境傳感以及地質(zhì)學探究。

不同材料樣品的成像（暗場成像、二次諧波成像、拉曼成像、PL成像）（從左到右）

TRPL Mapping系統(tǒng)簡介：
時間分辨熒光共聚焦顯微成像及光譜系統(tǒng) MicroTime100 & FluoTime300將正置共聚焦熒光壽命顯微鏡和熒光壽命光譜儀結(jié)合在一起，能實現(xiàn)幾百nm的空間分辨率和ps~s的熒光壽命測試和光譜測試。能用于檢測：熒光共聚焦成像、熒光壽命成像、時間分辨光譜、穩(wěn)態(tài)激發(fā)/發(fā)射譜、時間分辨熒光共聚焦顯微光譜、自由選取ROI的微區(qū)（時間分辨）熒光成像和（時間分辨）光譜，并且支持升級單分子光譜功能（閃爍，反聚束）、拓展了FLIM和紅外部分，完全適用于諸多薄膜、納米材料的研究，是研究時間分辨光致發(fā)光的理想工具。

TRPL Mapping系統(tǒng)工作原理圖：

TRPL Mapping系統(tǒng)產(chǎn)品組合：

主要特點：
?  在共聚焦成像基礎上，可選點做微區(qū)PL、TRPL測試
?  半導體激光器波長從375nm到1060nm可選
?  可配置多個單光子探測器，用于反聚束檢測
?  納米級XYZ 掃描臺
?  幾百nm的空間分辨率，皮秒到秒級別的壽命測量范圍
?  探測波長范圍從350nm至1000nm可選，可擴展至1700nm
?  高配版光譜儀支持氙燈激發(fā)，低溫和量子產(chǎn)率擴展

主要功能：
? 熒光壽命成像 （FLIM）
? 磷光壽命成像（PLIM）
? 熒光共振能量轉(zhuǎn)移（FRET）
? 模式匹配分析
? 時間分辨光致發(fā)光（TRPL）
? TRPL 成像
? 反聚束效應

主要應用：
? 單分子光譜/探測
? 單線態(tài)氧研究
? 熒光上轉(zhuǎn)換
? 熒光各向異性研究
? 穩(wěn)態(tài)熒光光譜測量
? 量子產(chǎn)率測量
? 光化學研究
? LEDs，OLED，量子點檢測

應用實例:
1、TRPL for Semiconductor Analysis—Device Architecture Characterization
用于半導體分析的TRPL——器件結(jié)構(gòu)表征

2、CIGS MAPPING
對CIGS材料的mapping，通過熒光壽命的分析，可以直觀看出缺陷

3、perovskite solar cells

4、Carrier diffusion
GaAsP 量子阱系統(tǒng)中的載流子擴散

鹵化物鈣鈦礦晶體中的載流子擴散

通過對時間和三維空間的4維數(shù)據(jù)的采集，可以可視化半導體/太陽能電池不同區(qū)域和深度的載流子擴散。因此，它們可以揭示載流子擴散的局部變化以及諸如載流子缺陷和晶體邊界等微尺度的異質(zhì)性。