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- jc520xy 2015-08-15 00:00:00
- 外延生長薄膜時需要用單晶材料作為襯底。 常用的比如說硅單晶。單晶晶格常數(shù)比較大,所以外延生長氧化物薄膜一般用鈦酸鍶單晶。生長石墨烯可以用銅單晶。 外延生長薄膜原理是:薄膜的某個結(jié)晶取向的晶格常數(shù)和單晶襯底的晶格常數(shù)相匹配,這樣襯底就有誘導薄膜定向結(jié)晶的作用。但是薄膜不能生長的太厚,太厚了就沒有誘導作用了。具體某種材料能不能進行外延生長、需要什么材料當沉底,請自行查閱文獻吧。 單晶薄膜和多晶薄膜的區(qū)別:一般在兩種情況下需要生長單晶薄膜。1、只有特定取向的薄膜才有Z佳的性能。這是因為一般材料的單晶的性能都是各向異性的。2、晶界對材料的某個性能影響非常大,為了消除晶界影響把薄膜做成單晶。 總結(jié)起來就是單晶的性能比多晶好很多才有必要做單晶薄膜。也有其他因素,比如你想發(fā)好文章就做了單晶的薄膜。
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- 1253564989 2016-09-18 16:32:33
- 外延生長薄膜時需要用單晶材料作為襯底。 常用的比如說硅單晶。單晶晶格常數(shù)比較大,所以外延生長氧化物薄膜一般用鈦酸鍶單晶。生長石墨烯可以用銅單晶。 外延生長薄膜原理是:薄膜的某個結(jié)晶取向的晶格常數(shù)和單晶襯底的晶格常數(shù)相匹配,這樣襯底就有誘導薄膜定向結(jié)晶的作用。但是薄膜不能生長的太厚,太厚了就沒有誘導作用了。具體某種材料能不能進行外延生長、需要什么材料當沉底,請自行查閱文獻吧。 單晶薄膜和多晶薄膜的區(qū)別:一般在兩種情況下需要生長單晶薄膜。1、只有特定取向的薄膜才有Z佳的性能。這是因為一般材料的單晶的性能都是各向異性的。2、晶界對材料的某個性能影響非常大,為了消除晶界影響把薄膜做成單晶。 總結(jié)起來就是單晶的性能比多晶好很多才有必要做單晶薄膜。也有其他因素,比如你想發(fā)好文章就做了單晶的薄膜。
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