全部評(píng)論(1條)
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- jdqjzl 2017-05-20 00:00:00
- 在被測(cè)量的薄膜上垂直照射可視光，光的一部分在膜的表面反射，另一部分透進(jìn)薄膜，然后在膜與底層之間的界面反射，薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。利用白光干涉測(cè)量法的原理，它用一個(gè)寬波段的光源來(lái)測(cè)得不同波長(zhǎng)的反射數(shù)據(jù)，由于反射率n和k隨薄膜的不同而變化，根據(jù)這一特性進(jìn)行曲線擬合從而求得膜厚。不同類型材料的相應(yīng)參數(shù)通過(guò)不同的模型來(lái)描述，從而保證了不同類型材料膜厚測(cè)量的準(zhǔn)確性。 大成精密設(shè)備薄膜測(cè)厚儀采用非放射性先進(jìn)測(cè)量技術(shù)，是測(cè)量隔膜厚度的理想解決方案。
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