關(guān)于磁控濺射靶材的問題
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旋轉(zhuǎn)靶材描述里面有一個life，有的靶材為60%life，這里的life是什么意思？
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- ↘*社會又如何 2014-09-16 00:00:00
- 如果有可能的話，Z可能的是靶材利用率，磁控旋轉(zhuǎn)靶材一般在兩頭的位置，磁場形成回路，磁場Z強，這樣，磁控濺射聚集更多的自由電子，形成較強的自維持放電現(xiàn)象。相對應(yīng)的，Z容易濺射，濺射速率增強，所以濺射速度較其他地方的濺射速率快，靶材消耗就快，Z后形成兩端凹陷。 這樣情況下，凹陷部分靶材Z先用完，其他地方的靶材還沒有用完，所以便有了靶材利用率一說。普通的平面靶材的利用率一般是旋轉(zhuǎn)靶材的1/2左右。旋轉(zhuǎn)靶材的利用率一般在60%左右。如果能達到的靶材利用率的，除了改變磁場強度的手段，就是改變靶材的結(jié)構(gòu)。 但是國內(nèi)能達到的靶材利用率的好像沒有，我老人家整的“狗骨頭靶材”也只能說是接近。希望樓主能把圖片放上來看一眼，或者聯(lián)系下我。我的Q是：460的976的991。
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