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- liuliubabaliu 2017-04-21 00:00:00
- 目前地面上的電磁波測(cè)距一般都采用相位測(cè)距法。電磁波測(cè)距儀根據(jù)載波為光波或微波而有光電測(cè)距儀和微波測(cè)距儀之分。前者又因光源和電子部件的改進(jìn),發(fā)展成為激光測(cè)距儀和紅外測(cè)距儀。 早期的光電測(cè)距儀采用電子管線(xiàn)路, 以白熾燈或高壓水銀燈作為光源,體型大,測(cè)程較短,而且只能在夜間觀測(cè)。60年代末出現(xiàn)了以氦氖激光器作光源、采用晶體管線(xiàn)路的激光測(cè)距儀,主機(jī)重量約20公斤,測(cè)程可達(dá)60公里,而且日夜都可以觀測(cè),測(cè)距精度約為±(5毫米+1×10D)。70年代出現(xiàn)了通過(guò)雙載波測(cè)距、自動(dòng)改正大氣折射影響的激光測(cè)距儀,測(cè)距精度又有了進(jìn)一步的提高。1979年更出現(xiàn)了三波長(zhǎng)測(cè)距儀,使測(cè)距精度達(dá)到了千萬(wàn)分之一。在發(fā)展激光測(cè)距儀的同時(shí),60年代中期出現(xiàn)了以砷化鎵管作為光源的紅外測(cè)距儀。它的優(yōu)點(diǎn)是體型小,發(fā)光效率高;更由于微型計(jì)算機(jī)和大規(guī)模集成電路的應(yīng)用,再與電子經(jīng)緯儀結(jié)合,于是形成了具備測(cè)距、測(cè)角、記錄、計(jì)算等多功能的測(cè)量系統(tǒng),有人稱(chēng)之為電子全站儀或電子速測(cè)儀。目前這種儀器的型號(hào)很多,測(cè)程一般可達(dá)5公里,有的更長(zhǎng),測(cè)距精度為±(5毫米+3×10D),廣泛用于城市測(cè)量、工程測(cè)量和地形測(cè)量。 原理是將測(cè)距頻率調(diào)制在載波上,由主臺(tái)發(fā)射出去,經(jīng)副臺(tái)接收和轉(zhuǎn)送回來(lái)之后,測(cè)量調(diào)制波的相位。確定測(cè)線(xiàn)上整周期數(shù) n和相位差 嗘/2π 的原理與光電測(cè)距相同。早期的微波測(cè)距儀為了測(cè)定相位差,使發(fā)射的調(diào)制波在陰極射線(xiàn)管上產(chǎn)生一個(gè)圓形掃跡;返回信號(hào)則變換成為脈沖,它使圓形掃跡產(chǎn)生一個(gè)缺口,其位置表示發(fā)射信號(hào)與返回信號(hào)的相位差。以后改用移相平衡原理測(cè)定相位差。從1956年到70年代中期,微波測(cè)距儀有了重大改進(jìn)。它經(jīng)歷了電子管、晶體管和集成電路3個(gè)階段,重量減輕,體積縮小,耗電量下降,并提高載波頻率以縮小波束角,提高調(diào)制頻率使測(cè)距讀數(shù)更為精確。此外,它還有全天候和測(cè)程遠(yuǎn)(可達(dá)到100公里)的優(yōu)點(diǎn),因此是一種很方便的測(cè)距儀器。但因它的波束角比光電測(cè)距儀的大,多路徑效應(yīng)嚴(yán)重,地表和地物的反射波使接收波的組成極為復(fù)雜,而又無(wú)法區(qū)分,給觀測(cè)結(jié)果帶來(lái)誤差。此外,大氣濕度對(duì)微波測(cè)距的影響相當(dāng)大,而在野外濕度又難于測(cè)定。因此,微波測(cè)距的精度低于光電測(cè)距。
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常見(jiàn)芯片開(kāi)封技術(shù)及儀器簡(jiǎn)介
Wayne Zhang(似空科學(xué)儀器(上海)有限公司)
2022.10.11
芯片失效分析(FA, Failure Analysis)的常見(jiàn)方法中,包含非破壞性分析(無(wú)損檢測(cè),如超聲波、X-RAY分析)、破壞性物理分析(有損檢測(cè),如芯片開(kāi)封/開(kāi)蓋、切片制樣)、I-V電氣特性分析、EMMI微光檢測(cè)等。
其中芯片開(kāi)封/開(kāi)蓋分析是DPA(破壞性物理分析)的重要手段,是研究芯片封裝效果和技術(shù)的一種必要方法。
本文簡(jiǎn)單概述常見(jiàn)芯片開(kāi)封技術(shù)和儀器。
1、機(jī)械開(kāi)封
其原理是用應(yīng)力直接去除芯片的封裝材料,屬于物理開(kāi)封。常規(guī)機(jī)械工具及專(zhuān)用切割、研磨、銑刨、拋光等儀器就可應(yīng)用于這種方式。
其優(yōu)點(diǎn)是簡(jiǎn)單直觀,根據(jù)精度要求,可選儀器價(jià)格范圍很寬(甚至拿把螺絲刀也可以,在特殊情況下)。
缺點(diǎn)是開(kāi)封的幾何形狀不太容易控制,總體來(lái)講精度比較低,容易導(dǎo)致對(duì)應(yīng)力敏感的樣品破碎,或者由于儀器需要用耗材而造成“二次污染”。
當(dāng)然,這個(gè)領(lǐng)域也有精度可達(dá)1微米,幾何形狀可編程的儀器,比如,美國(guó)ALLIED公司的銑削、研磨、拋光一體機(jī)X-PREP。但這種高端儀器,價(jià)格幾十萬(wàn)美元,且對(duì)“敏感單位”禁運(yùn)。
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2、化學(xué)開(kāi)封
其原理是用硝酸、硫酸及其混合液對(duì)芯片封裝材料進(jìn)行腐蝕,屬于化學(xué)開(kāi)封。
優(yōu)點(diǎn)是沒(méi)有物理應(yīng)力,不會(huì)造成樣品破碎,并且不會(huì)傷害硅等耐酸的半導(dǎo)體材料的電氣特性。
缺點(diǎn)是所用材料為強(qiáng)酸,對(duì)人體危害大,建立實(shí)驗(yàn)室和購(gòu)買(mǎi)耗材收到政府嚴(yán)格管控,開(kāi)封速度較慢,如果芯片中有耐酸性不好的走線(xiàn)則需要特殊處理。另外,其開(kāi)封效果受到四種參數(shù)的影響,包括酸配比、流速、溫度、腐蝕時(shí)長(zhǎng),對(duì)操作人員有一定的經(jīng)驗(yàn)要求。
目前該領(lǐng)域沒(méi)有國(guó)產(chǎn)的專(zhuān)用儀器,市面上常見(jiàn)的是美國(guó)NISENE的JetEtch系列和美國(guó)RKD的Elite Etch系列。
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3、激光開(kāi)封
其原理是用高能激光灼燒局部區(qū)域?qū)е滤芊獠牧戏鬯槊撀洹?/p>
優(yōu)點(diǎn)是效率高,幾何形狀可編輯,沒(méi)有二次污染,不需要強(qiáng)酸暴露,屬于物理開(kāi)封。
缺點(diǎn)是會(huì)產(chǎn)生局部高溫,容易導(dǎo)致半導(dǎo)體材料電氣屬性失效,所以一般只能開(kāi)封到半導(dǎo)體材料表面,后續(xù)殘留封裝材料需要其它手段去除。
該領(lǐng)域的專(zhuān)用設(shè)備供應(yīng)商國(guó)內(nèi)外都有,目前國(guó)產(chǎn)化程度越來(lái)越高,價(jià)格相比進(jìn)口設(shè)備有了明顯下降,并且性能和實(shí)用性已經(jīng)和進(jìn)口設(shè)備沒(méi)有差距。
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4、等離子開(kāi)封
其原理是通過(guò)電場(chǎng)功率將反應(yīng)氣體離子化后與需要去除的材料接觸并產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)而揮發(fā)。總體上屬于化學(xué)開(kāi)封,也有同時(shí)采用化學(xué)和物理機(jī)制的。
優(yōu)點(diǎn)是沒(méi)有物理應(yīng)力,精細(xì)化程度高,不攻擊敏感材料,可到達(dá)細(xì)孔凹陷部位。
缺點(diǎn)是速度慢,價(jià)格昂貴。
該領(lǐng)域的專(zhuān)用設(shè)備供應(yīng)商主要來(lái)自歐洲和美國(guó)。
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5、離子開(kāi)封
其原理是通過(guò)高壓電場(chǎng)加速帶電離子,用其轟擊目標(biāo)材料,使它們脫落。本質(zhì)上是物理開(kāi)封,帶有某些化學(xué)效果。
優(yōu)點(diǎn)是精度非常高,可處理多種目標(biāo)材料。
缺點(diǎn)是不容易控制幾何形狀,速度慢,儀器價(jià)格昂貴。
該領(lǐng)域的專(zhuān)用設(shè)備供應(yīng)商主要來(lái)自日本、歐洲和美國(guó)。
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- 超快光譜技術(shù)的應(yīng)用及常見(jiàn)的測(cè)量技術(shù)
隨著超快激光器的發(fā)展,有關(guān)超快激光與物質(zhì)相互作用的研究越來(lái)越受到人們的關(guān)注。由于超快光脈沖具有短脈沖和高光強(qiáng)兩個(gè)主要特性,超快光與物質(zhì)的相互作用就形成了超快光譜學(xué)和強(qiáng)場(chǎng)物理兩個(gè)分支。其中,超快光譜學(xué)研究物理的超快光學(xué)特性以及超快光與物質(zhì)的相互作用,主要利用超快光的窄脈沖特性來(lái)研究物質(zhì)隨時(shí)間演化的特性,時(shí)間分辨和實(shí)現(xiàn)相干態(tài)等是其主要特色。
超快光譜學(xué)可以應(yīng)用于物理、化學(xué)、生物、材料、YL、能源及環(huán)境等眾多領(lǐng)域。在物理領(lǐng)域,超快光譜還可以應(yīng)用于半導(dǎo)體磁性材料、超導(dǎo)體、絕緣體、復(fù)雜材料、量子結(jié)構(gòu)、納米和表面體系等等。
超快光譜與物質(zhì)相互作用的本質(zhì)是電磁波與物質(zhì)的相互作用。超快光能夠與物質(zhì)中的電荷、晶格、自旋、軌道角動(dòng)量等多個(gè)自由度相互作用,由于超快光可與這些自由度單獨(dú)相互作用,因此,某些時(shí)候可以通過(guò)這些相互作用來(lái)感知、探測(cè)和解釋凝聚態(tài)物質(zhì)內(nèi)部的自身的量子激發(fā)態(tài)之間的相互作用,例如改變外部物理?xiàng)l件(如溫度、磁場(chǎng)、電壓、壓力等)時(shí),通過(guò)感受某一種或兩種元激發(fā)的動(dòng)力學(xué)特性的改變來(lái)感知內(nèi)部的相互作用的改變,從而探測(cè)物質(zhì)內(nèi)部相變的發(fā)生。相互作用大多伴隨著能量的轉(zhuǎn)移,也即非彈性光散射過(guò)程。
在凝聚態(tài)物質(zhì)中,由電磁相互作用的強(qiáng)度和原子間距的尺度所決定的凝聚態(tài)物質(zhì)內(nèi)部的物理過(guò)程,大多數(shù)發(fā)生在fs、ps甚至是ns的時(shí)間尺度上即所謂的超快物理過(guò)程,例如吸收光子后處于激發(fā)態(tài)的載流子的弛豫過(guò)程,自旋相干性的消失,晶格的周期振動(dòng)和衰減等。在凝聚態(tài)物質(zhì)中,每個(gè)原子與大量其他原子相連接著,這提供了大量的衰減渠道,使得處于激發(fā)態(tài)的單個(gè)和集體元激發(fā)會(huì)很快地衰減到基態(tài),從而表現(xiàn)為超快物理過(guò)程。
研究超快物理過(guò)程,目前大多采用超快激光器所發(fā)射的超短激光脈沖串來(lái)實(shí)現(xiàn)。激光器分為兩類(lèi):一是連續(xù)波激光器;二是超快激光器。
目前,超快光譜學(xué)的一個(gè)重要特色是時(shí)間分辨。時(shí)間分辨是指物理事件隨時(shí)間的演化過(guò)程在時(shí)間維度上展示出來(lái),其是相對(duì)于時(shí)間積分而言的;由于物質(zhì)總是不能脫離開(kāi)時(shí)間而存在,一個(gè)可探測(cè)物理量如果不是時(shí)間分辨信號(hào),那么它通常是時(shí)間積分或時(shí)間平均的信號(hào)。通常時(shí)間分辨信號(hào)涉及的時(shí)間尺度比較大,可以從ns到as尺度。
對(duì)應(yīng)于不同時(shí)間尺度上發(fā)生的物理過(guò)程,時(shí)間分辨的探測(cè)技術(shù)也會(huì)有所不同。
(1)在>0.01 s的時(shí)間尺度上發(fā)生的物理事件用攝像機(jī)記錄下來(lái)
(2)在ms - ns量級(jí)的尺度上發(fā)生的物理過(guò)程
用示波器等進(jìn)行記錄,也可以用計(jì)算機(jī)控制的電子學(xué)或光電子學(xué)器件來(lái)進(jìn)行記錄,不過(guò),這些方法往往Z終受限于微觀上電路的RC響應(yīng)時(shí)間常數(shù)。
(3)在幾十ps - ns之間的時(shí)間分辨過(guò)程
用專(zhuān)門(mén)開(kāi)發(fā)的電子學(xué)方法進(jìn)行探測(cè)比如時(shí)間相關(guān)單光子計(jì)數(shù)(TCSPC技術(shù))
(4)在fs - ps之間發(fā)生的物理事件
用超快光譜學(xué)的方法來(lái)探測(cè)時(shí)間分辨信號(hào)從時(shí)間分辨信號(hào)可以直接獲得物理體系隨時(shí)間演化的超快過(guò)程信息,對(duì)于揭示物理機(jī)制起著重要的作用,故時(shí)間分辨對(duì)于超快動(dòng)力學(xué)研究幾乎是不可或缺的。
目前,常見(jiàn)的超快光譜技術(shù)主要有如下幾種:
1、泵浦/抽運(yùn)-探測(cè)超快光譜(pump-probe detection)
2、相干態(tài)的產(chǎn)生和探測(cè)
3、時(shí)間分辨發(fā)光光譜
4、瞬態(tài)吸收光譜
5、時(shí)間分辨四波混頻技術(shù)
6、時(shí)間分辨紅外光譜
7、THz時(shí)域超快光譜
8、X射線(xiàn)超快光譜
近幾年來(lái),隨著固體超快激光器和高速探測(cè)器的發(fā)展,超快光譜技術(shù)得到了飛速的發(fā)展,同時(shí)也加快了與其他技術(shù)的結(jié)合,促進(jìn)了學(xué)科交叉融合。目前,較為常見(jiàn)的結(jié)合技術(shù)有與電子衍射、原子力顯微鏡(AFM)、近場(chǎng)光學(xué)掃描顯微鏡(SNOM)、微波技術(shù)、角分辨光電子能譜、掃描隧道顯微鏡(STM)、電子光束成像等技術(shù)的結(jié)合。這些融合技術(shù)帶來(lái)了Z新的研究結(jié)果,拓展了超快光譜技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域。同時(shí),這些融合技術(shù)往往也是其他單一實(shí)驗(yàn)技術(shù)所無(wú)法替代的。
補(bǔ)充:
1、原子分子中發(fā)生的大多數(shù)光物理過(guò)程都具有一定的時(shí)間尺度,比如原子核的運(yùn)動(dòng),化學(xué)鍵的扭轉(zhuǎn)等發(fā)生在fs - ps時(shí)間范圍內(nèi);電荷分離和轉(zhuǎn)移、能量傳遞等發(fā)生在fs - ns時(shí)間尺度;發(fā)光材料的熒光壽命一般發(fā)生在ns量級(jí)等。
2、超短脈沖激光激發(fā)物質(zhì)后可以產(chǎn)生豐富的瞬態(tài)產(chǎn)物比如激發(fā)態(tài)分子、中性自由基、正或負(fù)離子型自由基等,穩(wěn)態(tài)測(cè)試方法只能反映整個(gè)過(guò)程的一個(gè)積分效應(yīng),而不能體現(xiàn)過(guò)程是如何隨時(shí)間變化的。時(shí)間分辨的研究則可以深入認(rèn)識(shí)分子本身的性質(zhì)。
3、光脈沖的脈寬在約10 fs以上,其可用于研究涉及外層電子的特性,可以很好地研究涉及固態(tài)物質(zhì)的物理內(nèi)容,這主要是由于固態(tài)物質(zhì)的豐富的物性多由外層電子與體系的相互作用決定;脈寬低于1 fs的光脈沖,稱(chēng)作阿秒技術(shù),此時(shí)的每個(gè)光脈沖只含有約單個(gè)左右的光波周期。阿秒技術(shù)有助于揭示內(nèi)層電子的量子躍遷動(dòng)力學(xué)過(guò)程,適合于研究原子分子體系。短于10 fs脈沖的光脈沖可用于研究電子的運(yùn)動(dòng),適用于原子體系的研究,比如觀測(cè)原子的外層電子的電離過(guò)程。
4、激光脈沖寬度決定了時(shí)間分辨探測(cè)的時(shí)間分辨率,隨著超短激光脈沖技術(shù)的發(fā)展,激光脈沖的脈寬已經(jīng)縮短到了ps、fs甚至是as量級(jí)。對(duì)于ns和更長(zhǎng)時(shí)間的分辨光譜探測(cè),一般的電子設(shè)備產(chǎn)生的延時(shí)精度及分辨率就可以滿(mǎn)足需要,不過(guò)在ps - fs時(shí)間尺度上,除了條紋相機(jī)能分辨到ps量級(jí)外,其他電子設(shè)備只能分辨到ns量級(jí),要達(dá)到fs量級(jí)的分辨率,只能通過(guò)其他方法來(lái)完成,比如光學(xué)延時(shí)方法,將時(shí)間尺度的問(wèn)題轉(zhuǎn)化為空間尺度的問(wèn)題,使一束光經(jīng)過(guò)電動(dòng)延時(shí)線(xiàn)來(lái)實(shí)現(xiàn)時(shí)間分辨,1 μm的空間精度對(duì)應(yīng)3.3 fs的時(shí)間精度(t=s/c,s是位移臺(tái)的空間精度比如1 μm,c是光速)。
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