全部評(píng)論(2條)
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- 蝴蝶結(jié)827 2014-04-30 00:00:00
- 微納米技術(shù)（MEMS，nano technology）為微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)和納米科學(xué)技術(shù)（nano science and technology， nano ST）的簡稱，是20世紀(jì)80年代末在美國、日本等發(fā)達(dá)國家興起的高新科學(xué)技術(shù)。由于其巨大的應(yīng)用前景，因此自問世以來微納米技術(shù)受到了各國政府和學(xué)者的普遍重視，是當(dāng)前科技界的熱門研究領(lǐng)域之一。微納米技術(shù)的研究和發(fā)展必將對(duì)21世紀(jì)的航空、航天、軍事、生命科學(xué)和健康保健、汽車工業(yè)、仿生機(jī)器人、家用電器等領(lǐng)域產(chǎn)生深遠(yuǎn)的影響 微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)主要涉及0.1μm（1μm=10??-6?m）到數(shù)毫米尺度范圍內(nèi)的傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)的研究開發(fā)，它以單晶硅為基本材料，以光刻并行制造為主要加工特點(diǎn)，采用微電子工藝設(shè)備結(jié)合其他特殊工藝設(shè)備作為加工手段。納米尺度一般是指1～100nm（1nm=10 -9?m），納米科學(xué)是研究納米尺度范疇內(nèi)原子、分子和其他類型物質(zhì)運(yùn)動(dòng)和變化的科學(xué)，而在同樣尺度范圍內(nèi)對(duì)原子、分子等進(jìn)行操縱和加工的技術(shù)則稱為納米技術(shù)，納米尺度的機(jī)電系統(tǒng)則稱作納機(jī)電系統(tǒng)?？梢姸咧g既有聯(lián)系又有區(qū)別，前者是后者的基礎(chǔ)，而后者是前者的發(fā)展方向。
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- sunnyyaokongqi 2017-11-26 13:10:45
- 微納米技術(shù)（MEMS，nano technology）為微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)和納米科學(xué)技術(shù)（nano science and technology， nano ST）的簡稱，是20世紀(jì)80年代末在美國、日本等發(fā)達(dá)國家興起的高新科學(xué)技術(shù)。由于其巨大的應(yīng)用前景，因此自問世以來微納米技術(shù)受到了各國政府和學(xué)者的普遍重視，是當(dāng)前科技界的熱門研究領(lǐng)域之一。微納米技術(shù)的研究和發(fā)展必將對(duì)21世紀(jì)的航空、航天、軍事、生命科學(xué)和健康保健、汽車工業(yè)、仿生機(jī)器人、家用電器等領(lǐng)域產(chǎn)生深遠(yuǎn)的影響 微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)主要涉及0.1μm（1μm=10??-6?m）到數(shù)毫米尺度范圍內(nèi)的傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)的研究開發(fā)，它以單晶硅為基本材料，以光刻并行制造為主要加工特點(diǎn)，采用微電子工藝設(shè)備結(jié)合其他特殊工藝設(shè)備作為加工手段。納米尺度一般是指1～100nm（1nm=10 -9?m），納米科學(xué)是研究納米尺度范疇內(nèi)原子、分子和其他類型物質(zhì)運(yùn)動(dòng)和變化的科學(xué)，而在同樣尺度范圍內(nèi)對(duì)原子、分子等進(jìn)行操縱和加工的技術(shù)則稱為納米技術(shù)，納米尺度的機(jī)電系統(tǒng)則稱作納機(jī)電系統(tǒng)?？梢姸咧g既有聯(lián)系又有區(qū)別，前者是后者的基礎(chǔ)，而后者是前者的發(fā)展方向。
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