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  li8795254 2017-05-22 00:00:00

  光譜儀是指利用折射或衍射產(chǎn)生色散的一類光譜測量儀器。光柵光譜儀是光譜測量中Z常用的儀器，基本結(jié)構(gòu)如圖1所示。它由入射狹縫S1、準(zhǔn)直球面反射鏡M1、光柵G、聚焦球面反射鏡M2以及輸出狹縫S2構(gòu)成。衍射光柵是光柵光譜儀的核心色散器件。它是在一塊平整的玻璃或金屬材料表面（可以是平面或凹面）刻畫出一系列平行、等距的刻線，然后在整個(gè)表面鍍上高反射的金屬膜或介質(zhì)膜，就構(gòu)成一塊反射試驗(yàn)射光柵。相鄰刻線的間距d稱為光柵常數(shù)，通?？叹€密度為每毫米數(shù)百至數(shù)十萬條，刻線方向與光譜儀狹縫平行。入射光經(jīng)光柵衍射后，相鄰刻線產(chǎn)生的光程差，為入射角，為衍射角，則可導(dǎo)出光柵方程：光柵方程將某波長的衍射角和入射角通過光柵常數(shù)d聯(lián)系起來，為入射光波長，m為衍射級(jí)次，取等整數(shù)。式中的“”號(hào)選取規(guī)則為：入射角和衍射角在光柵法線的同側(cè)時(shí)取正號(hào)，在法線兩側(cè)時(shí)取負(fù)號(hào)。如果入射光為正入射，光柵方程變?yōu)?。衍射角度隨波長的變化關(guān)系，稱為光柵的角色散特性，當(dāng)入射角給定時(shí)，可以由光柵方程導(dǎo)出，復(fù)色入射光進(jìn)入狹縫S1后，經(jīng)M2變成復(fù)色平行光照射到光柵G上，經(jīng)光柵色散后，形成不同波長的平行光束并以不同的衍射角度出射，M2將照射到它上面的某一波長的光聚焦在出射狹縫S2上，再由S2后面的電光探測器記錄該波長的光強(qiáng)度。光柵G安裝在一個(gè)轉(zhuǎn)臺(tái)上，當(dāng)光柵旋轉(zhuǎn)時(shí)，就將不同波長的光信號(hào)依次聚焦到出射狹縫上，光電探測器記錄不同光柵旋轉(zhuǎn)角度（不同的角度代表不同的波長）時(shí)的輸出光信號(hào)強(qiáng)度，即記錄了光譜。這種光譜儀通過輸出狹縫選擇特定的波長進(jìn)行記錄，稱為光柵單色儀。在使用單色儀時(shí)，對波長進(jìn)行掃描是通過旋轉(zhuǎn)光柵來實(shí)現(xiàn)的。通過光柵方程可以給出出射波長和光柵角度之間的關(guān)系（如圖2所示），圖2光柵轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)示意圖2ψ轉(zhuǎn)臺(tái)衍射光入射光光柵其中，為光柵的旋轉(zhuǎn)角度，為入射角和衍射角之和的一半，對給定的單色儀來說為一常數(shù)。光譜儀是指利用折射或衍射產(chǎn)生色散的一類光譜測量儀器。光柵光譜儀是光譜測量中Z常用的儀器，基本結(jié)構(gòu)如圖1所示。它由入射狹縫S1、準(zhǔn)直球面反射鏡M1、光柵G、聚焦球面反射鏡M2以及輸出狹縫S2構(gòu)成。一、光學(xué)系統(tǒng)光譜儀光學(xué)系統(tǒng)，如圖1所示：M1準(zhǔn)光鏡、M2物鏡、M3轉(zhuǎn)鏡、G平面衍射光柵、S1入射狹縫、通過旋轉(zhuǎn)M3選擇出射狹縫S2或S3從而選擇接收器件類型，出射狹縫為S2則為光電倍增管或硫化鉛、鉭酸鋰、TGS等接收器件；出射狹縫為S3則為CCD接受器件。入射狹縫、出射狹縫均為直狹縫，寬度范圍0~2mm連續(xù)可調(diào)，光源發(fā)出的光束進(jìn)入入射狹縫S1，S1位于反射式準(zhǔn)光鏡M2的焦面上，通過S1射入的光束經(jīng)M2反射成平行光束投向平面光柵G上，衍射后的平行光束經(jīng)物鏡M2成像在S2上，或經(jīng)物鏡M2和M3平面成像在S3上。光源系統(tǒng)為儀器提供工作光源，可選氘燈、鎢燈、鈉燈、汞燈等各種光源。二、電子系統(tǒng)電子系統(tǒng)由電源系統(tǒng)、接收系統(tǒng)、信號(hào)放大系統(tǒng)、A/D轉(zhuǎn)換系統(tǒng)和光源系統(tǒng)等部分組成。電源系統(tǒng)為儀器提供所需的工作電壓；接受系統(tǒng)將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)；信號(hào)放大器系統(tǒng)包括前置放大器和放大器兩個(gè)部分；A/D轉(zhuǎn)換系統(tǒng)將模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)，以便計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理。三、軟件系統(tǒng)WDS系列多功能光柵光譜儀的控制和光譜數(shù)據(jù)處理操作均由計(jì)算機(jī)來完成。軟件系統(tǒng)主要功能有：儀器系統(tǒng)復(fù)位、光譜掃描、各種動(dòng)作控制、測量參數(shù)設(shè)置、光譜采集、光譜數(shù)據(jù)文件管理、光譜數(shù)據(jù)的計(jì)算等。WDS系列多功能光柵光譜儀器系統(tǒng)操作軟件根據(jù)型號(hào)不同和接收儀器不的同配有PMT操作系統(tǒng)和CCD操作系統(tǒng)。每一系統(tǒng)均可采用快捷鍵和下拉菜單來進(jìn)行儀器操作，下面分別進(jìn)行說明。3.1PMT操作系統(tǒng)3.1.1開機(jī)與系統(tǒng)復(fù)位確認(rèn)光柵光譜儀已經(jīng)正確連接并打開電源。在WONDOWS操作系統(tǒng)中，從“開始”——“程序”——“WDS系列光柵光譜儀”中執(zhí)行相應(yīng)的PMT可執(zhí)行程序，或雙擊桌面上的快捷方式，啟動(dòng)系統(tǒng)操作程序。在系統(tǒng)初始化過程后應(yīng)有波長復(fù)位正確的提示，然后按“確定”進(jìn)入系統(tǒng)操作主界面。3.1.2菜單欄的使用系統(tǒng)菜單欄包括文件、測量方式、數(shù)據(jù)處理、系統(tǒng)操作和幫助五項(xiàng)內(nèi)容。3.1.2.1文件文件菜單中包括新建、打開、存盤、參數(shù)設(shè)置、打印和退出系統(tǒng)等項(xiàng)。其中，新建，即清除當(dāng)前圖譜文件并重新建立一個(gè)圖譜文件。打開，即打開已存圖譜文件，可根據(jù)系統(tǒng)提示選擇文件所在路徑。存盤，即保存當(dāng)前圖譜文件，可根據(jù)系統(tǒng)提示選擇文件保存路徑。參數(shù)設(shè)置，即根據(jù)測量需對系統(tǒng)參數(shù)進(jìn)行相應(yīng)的參數(shù)設(shè)置。在測量模式一欄中，可選擇能量或透過率測量，并在系統(tǒng)允許的范圍內(nèi)，對起始刻度和終止刻度進(jìn)行設(shè)置。能量（0~4095），透過率（0~100）。在掃描速度一欄中，可對掃描記錄數(shù)據(jù)的速度進(jìn)行相應(yīng)的設(shè)置，當(dāng)樣品未知時(shí)，一般可選擇快速或中速，對于不同的儀器型號(hào)會(huì)稍有所不同。在掃描方式一欄中，可選擇測量為連續(xù)方式或重式，或在當(dāng)前波長對時(shí)間進(jìn)行記錄。在波長范圍一欄中，可根據(jù)需要在系統(tǒng)允許的波長范圍內(nèi)對其進(jìn)行相應(yīng)的設(shè)置。系統(tǒng)允許的波長范圍根據(jù)儀器型號(hào)的不同有所不同。在光譜帶寬一欄中，系統(tǒng)設(shè)置為手動(dòng)，即根據(jù)測量需要對出射、入射狹縫寬度進(jìn)行相應(yīng)的設(shè)置。系統(tǒng)默認(rèn)增益為1，若信號(hào)較弱，可適當(dāng)選擇增益（1~4）。打印，即根據(jù)提示對話框，打印當(dāng)前圖譜。退出系統(tǒng)，當(dāng)結(jié)束系統(tǒng)測量，選擇此項(xiàng)，根據(jù)提示退出光柵光譜儀操作系統(tǒng)。3.1.2.2測量方式測量方式菜單中包括光譜掃描、基線掃描和時(shí)間掃描等項(xiàng)。其中，光譜掃描，即根據(jù)當(dāng)前參數(shù)設(shè)置對當(dāng)前光譜進(jìn)行記錄?；€掃描，當(dāng)選擇了透過率測量方式時(shí)，在光譜掃描之前首先要對系統(tǒng)進(jìn)行基線掃描以記錄系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)，在進(jìn)行基線掃描時(shí)，狀態(tài)欄顯示值一般應(yīng)在0~4095之間。時(shí)間掃描，即在當(dāng)前參數(shù)設(shè)置情況下，對當(dāng)前波長進(jìn)行時(shí)間記錄。3.1.2.3數(shù)據(jù)處理在數(shù)據(jù)處理菜單中包括刻度擴(kuò)展、局部放大、峰值檢索、峰值顯示、讀取數(shù)據(jù)、光譜平滑、光譜微分和光譜運(yùn)算等項(xiàng)。其中，刻度擴(kuò)展，指對當(dāng)前橫、縱坐標(biāo)的起始、終止刻度在系統(tǒng)允許的范圍內(nèi)進(jìn)行相應(yīng)的放大或縮小。點(diǎn)擊此項(xiàng)功能將彈出如圖6所示對話框。局部放大，指對當(dāng)前圖譜文件進(jìn)行部分放大。峰值檢索，指讀當(dāng)前圖譜文件中一定范圍內(nèi)的峰值進(jìn)行檢索并將結(jié)果顯示出來。點(diǎn)擊此項(xiàng)彈出如圖7所示對話框，提示輸入峰值高度，輸入峰值高度后，點(diǎn)擊確定即可。讀取數(shù)據(jù)，即讀取當(dāng)前圖譜的橫、縱坐標(biāo)數(shù)據(jù)，可選擇列表方式或光標(biāo)讀取方式。光譜平滑，點(diǎn)擊此項(xiàng)系統(tǒng)將對當(dāng)前圖譜文件進(jìn)行平滑處理，以去掉噪聲或過小的峰值，來方便圖譜的讀取或辨別。光譜微分，點(diǎn)擊此項(xiàng)功能可對當(dāng)前圖譜進(jìn)行一至四次微分。光譜運(yùn)算，點(diǎn)擊此項(xiàng)系統(tǒng)彈出提示對話框，提示選擇當(dāng)前圖譜與任意常數(shù)的加、減、乘、除四則運(yùn)算。3.1.2.4系統(tǒng)操作系統(tǒng)操作菜單中主要包括波長檢索、波長校正、系統(tǒng)復(fù)位和系統(tǒng)設(shè)置等項(xiàng)。其中，波長檢索，點(diǎn)擊此項(xiàng)系統(tǒng)彈出如圖8所示波長檢索對話框，提示輸入目的波長，波長范圍為系統(tǒng)允許波長范圍內(nèi)的任意波長值。波長線性校正，當(dāng)對光柵光譜議儀器系統(tǒng)檢測發(fā)現(xiàn)系統(tǒng)波長值與準(zhǔn)確波長不對應(yīng)時(shí)，可通過此項(xiàng)對系統(tǒng)波長進(jìn)行校正，在對話框中輸入系統(tǒng)值與實(shí)際波長值的差值，點(diǎn)擊確定即可。系統(tǒng)復(fù)位，當(dāng)儀器在運(yùn)行過程中發(fā)現(xiàn)有不正?，F(xiàn)象出現(xiàn)時(shí)，可點(diǎn)擊此項(xiàng)對系統(tǒng)進(jìn)行重新復(fù)位，以消除影響。系統(tǒng)設(shè)置，即系統(tǒng)調(diào)試時(shí)用到的一些數(shù)據(jù)，用戶不可更改。3.1.2.5幫助幫助菜單中提供了廠商及儀器版本信息。3.1.3工具欄的使用工具欄中主要包括新建、打開、保存、打印、光譜掃描、參數(shù)設(shè)置、波長檢索、讀取數(shù)據(jù)、峰值檢索、刻度擴(kuò)展、屏幕刷新和停止等項(xiàng)。其中，新建、打開、保存、打印、和參數(shù)設(shè)置等項(xiàng)包含于菜單欄的“文件”菜單中；光譜掃描包含于菜單欄的“測量方式”菜單中；波長檢索包含于菜單欄中的“系統(tǒng)操作”菜單中；讀取數(shù)據(jù)、峰值檢索和刻度擴(kuò)展包含于菜單欄中的“數(shù)據(jù)處理”菜單中。屏幕刷新，即刷新當(dāng)前圖譜屏幕顯示以清除數(shù)據(jù)標(biāo)注的字符。停止，點(diǎn)擊此項(xiàng)，系統(tǒng)將停止當(dāng)前操作。3.1.4退出系統(tǒng)與關(guān)機(jī)當(dāng)系統(tǒng)測試結(jié)束后，將出射、入射狹縫調(diào)節(jié)至0.1mm左右，若有負(fù)高壓系統(tǒng)，則將負(fù)高壓調(diào)節(jié)至零。點(diǎn)擊菜單欄中“文件\退出系統(tǒng)”，按照提示關(guān)閉電源退出儀器操作系統(tǒng)。3.2CCD操作系統(tǒng)3.2.1開機(jī)于系統(tǒng)復(fù)位確認(rèn)光柵光譜儀已經(jīng)正確連接并打開電源。在WINDOWS操作系統(tǒng)中，從“開始”——“程序”——“WDS系列光柵光譜儀”中執(zhí)行相應(yīng)的CCD可執(zhí)行程序，或雙擊桌面上的快捷方式，啟動(dòng)系統(tǒng)操作程序。在系統(tǒng)初始化過程后應(yīng)有波長復(fù)位正確的提示，然后按“確定”進(jìn)入系統(tǒng)操作主界面。3.2.2菜單欄中使用系統(tǒng)菜單欄中包括文件、采集、數(shù)據(jù)處理、系統(tǒng)操作和幫助五項(xiàng)內(nèi)容。下面分別進(jìn)行介紹。3.2.2.1文件文件菜單中包括新建、打開、存盤、測量參數(shù)、打印和退出系統(tǒng)等項(xiàng)。其中，新建，即清除當(dāng)前圖譜文件并重新建立一個(gè)圖譜文件。打開，即打開已存圖譜文件，可根據(jù)系統(tǒng)提示選擇文件所在路徑。存盤，即保存當(dāng)前圖譜文件，可根據(jù)系統(tǒng)提示選擇文件保存路徑。測量參數(shù)，即根據(jù)測量需對系統(tǒng)參數(shù)進(jìn)行相應(yīng)的設(shè)置，通常情況下采取默認(rèn)值即可。打印，即根據(jù)提示對話框，打印當(dāng)前圖譜。退出系統(tǒng)，當(dāng)結(jié)束系統(tǒng)測量，選擇此項(xiàng)，根據(jù)提示退出光柵光譜儀操作系統(tǒng)。3.2.2.2采集采集菜單中包括一次采集、連續(xù)采集和門值設(shè)置等項(xiàng)。其中，一次采集，即在當(dāng)前ZX波長對當(dāng)前光譜進(jìn)行一次性記錄。連續(xù)采集，即在當(dāng)前ZX波長對當(dāng)前光譜進(jìn)行連續(xù)性記錄，時(shí)時(shí)刷新。門值設(shè)置，系統(tǒng)默認(rèn)門值設(shè)置為-1，當(dāng)要去除較小的峰值時(shí)，可通過設(shè)置門值來進(jìn)行限制。3.2.2.3數(shù)據(jù)數(shù)理數(shù)據(jù)處理菜單中包括讀取數(shù)據(jù)、光譜平滑、峰值檢索、刻度擴(kuò)展、顯示光譜參數(shù)、像元波長轉(zhuǎn)換和譜線運(yùn)算等項(xiàng)。其中，讀取數(shù)據(jù)，即讀取當(dāng)前圖譜的橫、縱坐標(biāo)數(shù)據(jù)，可選擇列表方式或光標(biāo)讀取方式。光譜平滑，點(diǎn)擊此項(xiàng)系統(tǒng)將對當(dāng)前圖譜文件進(jìn)行平滑處理，以去掉噪聲火過小的峰值，來方便圖譜的讀取或辨別。峰值檢索，指讀當(dāng)前圖譜文件中一定范圍內(nèi)的峰值進(jìn)行檢索并將結(jié)果顯示出來。點(diǎn)擊此項(xiàng)彈出對話框，提示輸入峰值高度，輸入峰值高度后，點(diǎn)擊確定即可?？潭葦U(kuò)展，指對當(dāng)前橫、縱坐標(biāo)的起始、終止刻度在系統(tǒng)允許的范圍內(nèi)進(jìn)行相應(yīng)的放大或縮小。點(diǎn)擊此項(xiàng)功能將彈出對話框。顯示光譜參數(shù)，即顯示當(dāng)前光譜的測量參數(shù)。像元波長轉(zhuǎn)換，即選擇將系統(tǒng)操作界面的橫坐標(biāo)用像元或波長的方式顯示。譜線運(yùn)算，即對當(dāng)前光譜的與常數(shù)加、減、乘、除四則運(yùn)算。3.2.2.4系統(tǒng)操作系統(tǒng)操作菜單中主要包括檢索儀器ZX波長、檢索譜線ZX波長、零點(diǎn)波長校正、系統(tǒng)參數(shù)設(shè)置和系統(tǒng)復(fù)位等項(xiàng)。其中，檢索儀器ZX波長，即將操作系統(tǒng)界面顯示的ZX波長檢索至目的波長處。檢索譜線ZX波長，即若當(dāng)前顯示的圖譜文件ZX波長非儀器當(dāng)前ZX波長時(shí)，用此項(xiàng)功能將儀器ZX波長檢索值譜線ZX波長。零點(diǎn)波長校正，當(dāng)對光柵光譜儀器系統(tǒng)檢測發(fā)現(xiàn)系統(tǒng)波長值與準(zhǔn)確波長不對應(yīng)時(shí)，可通過此項(xiàng)對系統(tǒng)波長進(jìn)行校正，在對話框中輸入系統(tǒng)值與實(shí)際波長值的差值，點(diǎn)擊確定即可。系統(tǒng)參數(shù)設(shè)置，即系統(tǒng)調(diào)試時(shí)用到的一些數(shù)據(jù)，用戶不可更改。系統(tǒng)復(fù)位，當(dāng)儀器在運(yùn)行過程中發(fā)現(xiàn)有不正常現(xiàn)象出現(xiàn)時(shí)，可點(diǎn)擊此項(xiàng)對系統(tǒng)進(jìn)行重新復(fù)位，以消除影響。3.2.3工具欄的使用工具欄中主要包括新建、打開、保存、打印、波長檢索、參數(shù)設(shè)置、讀取數(shù)據(jù)、峰值檢索、刻度擴(kuò)展、放大、縮小和屏幕刷新等項(xiàng)。其中，新建、打開、保存、打印和參數(shù)設(shè)置等項(xiàng)包含于菜單欄的“文件”菜單中；波長檢索包含于菜單欄中的“系統(tǒng)操作”菜單中；讀取數(shù)據(jù)、峰值檢索和刻度擴(kuò)展包含于菜單欄中的“數(shù)據(jù)處理”菜單中；一次采集和連續(xù)采集包含于“采集”菜單中。屏幕刷新，即刷新當(dāng)前圖譜屏幕顯示以清除數(shù)據(jù)標(biāo)注的字符。停止，點(diǎn)擊此項(xiàng)，系統(tǒng)將停止當(dāng)前操作。3.2.4退出系統(tǒng)與關(guān)機(jī)當(dāng)系統(tǒng)測試結(jié)束后，將入射狹縫調(diào)節(jié)至0.1mm左右，點(diǎn)擊菜單欄中“文件\退出系統(tǒng)”，按照提示關(guān)閉電源退出儀器操作系統(tǒng)。四、實(shí)驗(yàn)內(nèi)容和步驟：1、開機(jī)之前，請認(rèn)真檢查光柵光譜儀的各個(gè)部分（單色儀主機(jī)、電控箱、接受單元、計(jì)算機(jī)、）連線是否正確，保證準(zhǔn)確無誤。為了保證儀器的性能指標(biāo)和壽命，在每次使用完畢，將入射狹縫寬度、出射狹縫寬度分別調(diào)節(jié)到0.1mm左右。在儀器系統(tǒng)復(fù)位完畢后，根據(jù)測試和實(shí)驗(yàn)的要求分別調(diào)節(jié)入射狹縫寬度、出射狹縫寬度到合適的寬度。2、接收單元WDS系列多功能光柵光譜儀根據(jù)儀器型號(hào)的不同配有光電倍增管、CCD、硫化鉛、鉭酸鋰、TGS等不同接收單元。注意，若采用光電倍增管作為接收單元，不一定要在光電倍增管加有負(fù)高壓的情況下，使其暴露在強(qiáng)光下（包括自然光）。在使用結(jié)束后，一定要注意調(diào)節(jié)負(fù)高壓旋鈕使負(fù)高壓歸零，然后再關(guān)閉電控箱。3、狹縫調(diào)節(jié)儀器的入射狹縫和出射狹縫均為直狹縫，寬度范圍0~2mm連續(xù)可調(diào)，順時(shí)針旋轉(zhuǎn)為狹縫寬度加大，反之減小。每旋轉(zhuǎn)一周狹縫寬度變化0.5mm，Z大調(diào)節(jié)寬度為2mm。為延長使用壽命，狹縫寬度調(diào)節(jié)時(shí)應(yīng)注意Z大不要超過2mm。儀器測量完畢或平常不使用時(shí)，狹縫Z好調(diào)節(jié)到0.1mm05mm左右。4、電控箱的使用電控箱包括電源、信號(hào)放大、控制系統(tǒng)和光源系統(tǒng)（氘燈和鎢燈可選件，不包括在光譜儀器的標(biāo)準(zhǔn)配置中）。在運(yùn)行儀器操作軟件前一定要確認(rèn)所有的連接線正確連接且已經(jīng)打開電控箱的開關(guān)。5、程序安裝（如已安裝好，則跳過）儀器的參數(shù)設(shè)置和測量均由計(jì)算機(jī)來完成。因此在使用前必須先安裝WDS系列多功能光柵光譜儀器中文操作軟件。將隨儀器配備的WDS系列多功能光柵光譜儀器操作軟件系統(tǒng)安裝光盤放入光驅(qū)中，執(zhí)行其中的SETUP程序，即開始進(jìn)行安裝，安裝過程大約一分鐘。系統(tǒng)安裝結(jié)束后，將自動(dòng)在WINDOWS系統(tǒng)的“開始”—“程序”中建立“WDS系列光柵光譜儀”一項(xiàng)。執(zhí)行其中的可執(zhí)行程序即可運(yùn)行操作系統(tǒng)。6、采用標(biāo)準(zhǔn)光譜燈進(jìn)行波長校準(zhǔn)光柵光譜儀由于運(yùn)輸過程中震動(dòng)等各種原因，可能會(huì)使波長準(zhǔn)確度產(chǎn)生偏差，因此在diyi次使用前用已知的光譜線來校準(zhǔn)儀器的波長準(zhǔn)確度。在平常使用中，也應(yīng)定期檢查儀器的波長準(zhǔn)確度。檢查儀器波長準(zhǔn)確度可用氘燈、鈉燈（標(biāo)準(zhǔn)值為589.0nm和589.6nm）、汞燈以及其它已知光譜線的來源來進(jìn)行。6.1用氘燈譜線校準(zhǔn)利用氘燈的兩根譜線的波長值（標(biāo)準(zhǔn)值為486.0nm和656.0nm）來進(jìn)行校準(zhǔn)儀器。根據(jù)能量信號(hào)大小手工調(diào)節(jié)入射狹縫和出射狹縫，掃描氘燈光譜。如果波長有偏差，用“零點(diǎn)波長校正”功能進(jìn)行校正。6.2用鈉燈譜線校準(zhǔn)利用鈉燈的兩根譜線的波長值（標(biāo)準(zhǔn)值為589.0nm和589.6nm）來進(jìn)行校準(zhǔn)儀器。根據(jù)能量信號(hào)大小手工調(diào)節(jié)入射狹縫和出射狹縫，掃描鈉燈光譜。如果波長有偏差，用“零點(diǎn)波長校正”功能進(jìn)行校正。6.3用汞燈譜線校準(zhǔn)利用汞燈的五根譜線的波長值（標(biāo)準(zhǔn)值為404.7nm、435.8nm、546.1nm、577.0nm、579.0nm）來進(jìn)行校準(zhǔn)儀器。根據(jù)能量信號(hào)大小手工調(diào)節(jié)入射狹縫和出射狹縫，掃描汞燈光譜。如果波長有偏差，用“波長線性校正”功能進(jìn)行校正。7、分別掃描不同光源的光譜調(diào)節(jié)光源，使其在單色義的波長范圍內(nèi)有Z大的輸出。根據(jù)測量對系統(tǒng)參數(shù)進(jìn)行相應(yīng)的設(shè)置。根據(jù)測量學(xué)要對出射、入射狹縫寬度進(jìn)行相應(yīng)的設(shè)置。按“3軟件系統(tǒng)”進(jìn)行操作。

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