季華實驗室磁控濺射系統(tǒng)順利驗收

近日，NANO-MASTER工程師至季華實驗室，順利安裝驗收NSC-3500型磁控濺射系統(tǒng)！

磁控濺射系統(tǒng)主要用于半導體應用，同時也可以用于各種需要進行微納工藝濺射鍍膜的情形?？捎糜诮饘俨牧希ń?、銀、銅、鎳、鉻等）的直流濺射、直流共濺射，絕緣材料（如陶瓷等）的射頻濺射，以及反應濺射能力?；芍С止杵?，氧化硅片，玻璃片，以及對溫度敏感的有機柔性基片等。

設(shè)備優(yōu)勢

01鍍膜均勻性

對于最關(guān)鍵的鍍膜的均勻性方面，對于6”硅片的金屬材料鍍膜，NANO-MASTER可以達到優(yōu)于3%的鍍膜均勻度，而一些設(shè)備只能穩(wěn)定在5%甚至更高。

02設(shè)備制造工藝

在配備相似等級的分子泵及機械泵的情況下，NANO-MASTER具有更快的抽真空速率，比如可以在20-25分鐘左右就達到高真空工藝，而一些設(shè)備則需要30-40分鐘。腔體真空的穩(wěn)定度影響鍍膜的性能。

03工藝的可重復性

NANO-MASTER設(shè)備在工藝控制方面，有更高的自動化能力，通過PC控制，減少人工干預造成的工藝偏差。而一些設(shè)備要求人工配合，導致不同人采用同樣的工藝做出來的效果不同，甚至同一個人在不同時間運行相同的工藝做出來的效果也不同。

04設(shè)備緊湊性

一些設(shè)備在滿足相同性能情況下，由于加工的精密度方面的差距，造成設(shè)備比較龐大，占地面積較大，使得實驗室寶貴的空間被占用嚴重。而NANO-MASTER設(shè)備相對而言具有更緊湊的設(shè)計，占地面積也較小。

05設(shè)備穩(wěn)定性

進口設(shè)備的維護率較低，可以保證設(shè)備較長時間的穩(wěn)定運行，而一些設(shè)備的故障率高，不利于設(shè)備的穩(wěn)定使用，經(jīng)常因為故障影響實驗的正常進行，影響科研進度。