參與評論

評論

登錄后參與評論

全部評論(1條)

• 

  梅花鹿有內涵h(huán)a 2015-10-12 00:00:00

  近些年，隨著使用者對電容式位移傳感器的認識不斷發(fā)展，電容式位移傳感器被應用到更多領域并發(fā)揮著越來越大的作用，這里先簡單探討幾點其的優(yōu)勢： 電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點。在國內研究所，高等院校、工廠和研發(fā)部門得到廣泛應用，成為科研、教學和生產中一種不可缺少的測試儀器。 電容式微位移傳感器是將待測位移轉換為電容量變化的裝置。它實質上是個具有可變參數(shù)的電容器。和其他傳感器不同，電容式位移傳感器輸入能量極低，只需要非常小的輸入力。由于帶電板板之間的靜電引力很小，只有幾個牛頓，因此電容傳感器特別適用于解決輸入能量極低的測量問題，尤其適合于微小的位移測量。溫度穩(wěn)定性好。傳感器的電容值一般與電極材料無關，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料，又因本身發(fā)熱極小，對穩(wěn)定性影響甚微。結構簡單，適應性強，待測體是導體或半導體均可，可在惡劣環(huán)境中工作。電容式傳感器結構簡單，易于制造，可做得非常小巧，以實現(xiàn)某些特殊的測量;能工作在高低溫、強輻射及強磁場等惡劣的環(huán)境中，也能對帶有磁性的工件進行測量。其可以獲得比較大的相對變化量，采用高線性電路，動態(tài)范圍可達到或更大，這就可以大大提高傳感器的輸出能力。動態(tài)響應快。電容傳感器系統(tǒng)的固有頻率高，同時電容的介質損耗非常小，因而特別適合于動態(tài)測量的場合?？梢詫崿F(xiàn)非接觸測量，具有平均效應。例如非接觸測量回轉軸的振動或偏心、小型滾珠軸承的徑向間隙等。當采用非接觸測量時，電容式傳感器具有平均效應，可以減小工作表面粗糙等對測量的影響。 電容傳感器也有一些領域不適合使用，比如使用環(huán)境有污染，油污，水或者灰塵，都有可能影響到傳感器的檢測結果。 綜上，電容傳感器可以被用于需要高精度，高可靠性，高頻率的測量領域。Z典型的案例是用于半導體光刻機，目前世界上Z先進的光刻機ASML，就使用德國米銥的capaNCDT電容傳感器作為物鏡和工件臺定位的。還有天文望遠鏡，也有用電容式傳感器對鏡面進行校訂。在一些特殊領域，如水膜測厚，液面定位，航空航天，汽車自動化等領域都有廣泛應用。 具體可以看下德國米銥的網站，他們的電容式傳感器案例還有挺多。

  贊(4)

  回復(0)

  評論

  評論

  登錄后參與評論