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問(wèn)答社區(qū)

帶氧化膜薄層的硅片用掃描電鏡觀察要覆碳嗎

Gg97hd3 2017-07-13 19:24:07 489  瀏覽
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參與評(píng)論

全部評(píng)論(1條)

  • m琉璃燈的光 2017-07-14 00:00:00
    掃描電鏡對(duì)不導(dǎo)電樣品的處理是比較常見(jiàn)的問(wèn)題,可以采用的方法有幾種。 盡量將塊狀樣品做小,甚至做成粉末,使樣品與樣品座的接觸良好。 對(duì)觀察樣品進(jìn)行鍍金或噴碳處理,使樣品表面形成導(dǎo)電膜,利于電荷流走。 Z好再用導(dǎo)電膠將噴碳或噴金后的樣品表面與樣品座(臺(tái))連接,以減少電子積累。 對(duì)于無(wú)法很好解決放電效應(yīng)對(duì)圖像影響的,可以加快掃描速度,或用集成模式采集圖像,以YZ電荷積累。 用掃描電鏡的背散射探頭采集圖像,幾乎不會(huì)有放電效應(yīng),因?yàn)楸成⑸湫盘?hào)強(qiáng)度比較高,不會(huì)為放電電荷干擾。

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