硬 X 射線光電子能譜 (常見縮寫HAXPES, HXPS, HX-PES, ...) 已經(jīng)發(fā)展成為一種重要的分析技術(shù)，通過使用能量從 2 keV 到 15 keV 的 X 射線來研究各種材料的電子結(jié)構(gòu)，這使XPS探測深度可以從10nm擴(kuò)展到30nm。

HAXPES 會(huì)議從歐洲同步輻射光源（ESRF） 的第一屆國際研討會(huì) HAXPES 2003 開始，已經(jīng)在全.球舉辦了多次。第九屆硬X射線光電子能譜國際會(huì)議（HAXPES 2022）將于2022年5月31日至6月3日在日本兵庫縣姬路市（Himeji, Japan）舉行。會(huì)議將涵蓋 HAXPES相關(guān)的原子和分子物理、化學(xué)、應(yīng)用科學(xué)、量子材料和電子動(dòng)力學(xué)方面最新和令人興奮的主題，以及該領(lǐng)域的最新技術(shù)進(jìn)展。

ULVAC-PHI 應(yīng)用科學(xué)家張薰勻博士受邀參加本屆HAXPES研討會(huì)，將以“Accurate and Non-destructive Layer Structure Analysis of Semiconductor Materials Using Angle Resolved HAXPES”為主題，介紹HAXPES在半導(dǎo)體材料無損膜層結(jié)構(gòu)深度分析中的應(yīng)用。

部分邀請(qǐng)報(bào)告(暫定)：

歷屆HAXPES會(huì)議信息：

• The 1st Int. Workshop, HAXPES2003, Sep. 11-12, ESRF at Grenoble

• The 2nd Int. Workshop, HAXPES2006, Sep. 19-20, SPring-8 at Harima

• ALS Satellite Worhshop 2008 (ALS User's meeting), Oct. 14-15, ALS at Berkeley

• BEESY Satellite Workshop 2008, Dec. 8, BESSY at Berlin

• The 3rd Int. Workshop, HAXPES2009, May 20-22, BNL at Brookhaven

• SOLEIL Satellite Workshop 2010, Jan. 18-19, SOLEIL at France

• The 4th Int. Workshop, HAXPES2011, Sep. 14-16, DESY at Hamburg

• The 5th Int. Conf., HAXPES2013, Jun. 17-20, Uppsala University, at Uppsala

• The 6th Int. Conf., HAXPES2015, Mar. 30 - Apr. 3, NSRRC at Hsinchu

• The 7th Int. Conf., HAXPES2017, Sep. 11-15, Berkeley

• The 8th Int. Conf., HAXPES2019, Jun. 3-6, Sorbonne Univerity at Paris

參會(huì)

本次參會(huì)信息請(qǐng)點(diǎn)擊原文：

http://rsc.riken.jp/haxpes2022/index.html

https://www.ulvac-phi.com/en/events/2022/haxpes-2022/

X射線光電子能譜和X射線熒光光譜是一樣的嗎？