大型工業(yè)容器在一般工業(yè)上的應用相當廣泛，這類容器在生產(chǎn)時需要對其密封性能進行檢測，如果泄漏嚴重，通常會對附屬設(shè)備、工藝條件產(chǎn)生不良影響。

       當容器的體積比較大，且需要進行真空檢漏時，就需要使用氦質(zhì)譜檢漏儀搭配輔抽泵組一起來完成容器的內(nèi)腔體泄漏檢測。具體實施過程是將輔抽泵組與被檢的容器連接后，通過泵組將腔體內(nèi)部抽到一定的真空度，然后開啟檢漏儀，通過對容器表面可疑泄漏處（通常是焊縫、法蘭連接等）噴吹氦氣，觀察檢漏儀的讀數(shù)，來尋找泄漏點。

       下圖為安徽歌博科技有限公司為客戶提供氦質(zhì)譜檢漏儀來檢測工業(yè)大腔體容器的氣密性，主要應用了負壓噴氦的檢漏方法。

       客戶現(xiàn)場的大腔體容器容積為2 m³，漏率要求為6.9*10^-10Pa.m³/s。因為工件漏率要求很高，所以要求工件內(nèi)部要抽得足夠干凈，所以我們建議客戶配置分子泵組作為輔抽泵，同時配置真空計檢測腔體真空度。氦質(zhì)譜檢漏儀連接在分子泵的排氣口和機械泵的進氣口之間。泵組與容器上焊接的KF40法蘭直接相連，先開機械泵對容器腔體抽真空，當真空度達到10Pa時開啟分子泵。經(jīng)過大約一個半小時的抽空，容器腔體內(nèi)真空度達到了0.5Pa，此時打開檢漏儀檢漏口的真空擋板閥，測得系統(tǒng)本底值為5.0*10^-10Pa.m³/s，即可以進行噴氦檢漏。我們由近及遠，由上到下，在法蘭連接及焊縫處等可疑漏點噴吹少量氦氣，觀察檢漏儀的讀數(shù)是否上升，來查找漏點并進行封堵。待查完漏點后，再用薄膜將容器整體包裹住，向薄膜內(nèi)充一定濃度的氦氣，可通過氦氣濃度儀來判斷充入氦氣的濃度。觀察檢漏儀穩(wěn)定后的讀數(shù)，即可判斷工件整體漏率是否合格。