用氮吸附法測定比表面，關鍵是得到單層飽和吸附量，但絕大多數材料的吸附特性不是單層吸附，而是所謂多層吸附， BRUMAUER-EMMETT-TELLER三人在1938年提出了多分子層吸附理論，通過對氣體吸附過程的熱力學與動力學分析，推出了的氮吸附量隨氮氣分壓（P/Po）而變的BET方程：
P/V（Po-P）=1/VmC+[（C-1)/VmC](P/Po)
   分析指出，（P/Po）在0.05-0.35范圍中，BET方程是一個線性方程，該直線的斜率與截距之和的倒數正好就是單層飽和吸附量，于是在此范圍中，選擇3-5個壓力點，測出每個壓力點的吸附量，然后按照BET方程作圖，即可求得單層飽和吸附量，進而計算出比表面。通過BET方程求出比表面成為國際通用的方法，也稱為 “BET比表面”。BET比表面是外表面積與所有通孔內表面積的總和。把BET方程改變形式如下：
V/Vm =[ P/(Po-P)]/{(1/C)+[(C-1)/C](P/Po)}
     V/Vm 就是吸附層數。它取決于C與P/Po，同一種材料，在不同的壓力下，吸附層數不同，不同的材料，在相同的壓力下，吸附層數不同。