對于材料和加工工業(yè)中廣泛使用的紙制品、樹脂產(chǎn)品、金屬鍍膜等，表面形貌和表面粗糙度測量在防止故障或質(zhì)量控制中起重要作用。尤其，當(dāng)多層薄膜出現(xiàn)不良產(chǎn)品時，需要確定是表面，界面或是層內(nèi)哪個部位出現(xiàn)了問題。在大多數(shù)情況下，是進行切割以確定異常部位。但是，某些樣品是不能進行切割的，無損檢測就變得極為重要。納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800，可同時滿足上述高精度的表面形貌測量及對多層膜的無損測量，在材料和加工工業(yè)中實現(xiàn)了廣泛的應(yīng)用。

下面就以兩個實例來對多層膜無損測量分析的功能進行介紹。

1.透明樣品：金屬鍍膜分析

       以下是對金屬透明鍍膜進行無損測量分析的一個實例，從分析數(shù)據(jù)中可以得到表面，界面三維形貌，以及厚度分布的三維圖像，對于大范圍的面分析以及厚度參差不齊有一個更為直觀和清晰的認(rèn)識。

2.不透明樣品：名片印字部分分析

       以下是對名片印字部分進行無損測量分析的一個實例，從分析數(shù)據(jù)中可以得到表面三維形貌，并且可以觀察到碳粉和紙之間的分界面，從而可以測量碳粉的厚度，如圖所以，紅色部分碳粉的厚度為2.6?。

       綜上所述，使用日立納米尺度3D測量系統(tǒng)，針對透明、半透明樣品甚至某些特殊的不透明樣品，嘗試內(nèi)部結(jié)構(gòu)的無損測量，得到多層結(jié)構(gòu)每層厚度、內(nèi)部缺陷、每層界面粗糙程度等等信息。為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了一個快速簡便的解決方案。

前言：確定關(guān)鍵部件的表面質(zhì)量，即與預(yù)期形狀的偏差，無論是平面還是球面等，是高精度制造的關(guān)鍵。當(dāng)光束照射到有疵病的光學(xué)元件表面時, 會產(chǎn)生雜散光。在光學(xué)系統(tǒng)中, 影響其性能的主要原因是由系統(tǒng)內(nèi)部產(chǎn)生的大量散射光造成的, 即使整個光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計得再好, 如果內(nèi)部光學(xué)元件的質(zhì)量不過關(guān), 那么構(gòu)成的系統(tǒng)也不能正常工作。

干涉儀測量方法

傳統(tǒng)的檢測方法由干涉儀組成，例如Twyman-Green干涉儀（如下圖所示），將測試光與參考光學(xué)進行比較。干涉儀的兩個臂之間的光程差會在光電探測器的光屏上形成干涉條紋（通常為CCD陣列）。在參考光和測試光之間引入小的傾斜度會產(chǎn)生干涉圖樣，其中與均勻間隔的直線條紋的任何偏差都意味著測試組件中的像差，如下所示。

雖然許多移相干涉儀都使用HeNe激光器作為光源，但使用外腔可調(diào)諧激光器（例如Newport的TLB-6700）卻具有明顯的優(yōu)勢。首先，當(dāng)光學(xué)元件鍍有對633 nm的抗反膜時，可選擇與光學(xué)元件的工作波長完全匹配的光。其次，通過不平衡的兩臂和改變激光波長可以實現(xiàn)時變相移，從而無需線性驅(qū)動器對參考光進行平移。

Newport可調(diào)諧激光器

Newport的TLB-6700系列可調(diào)諧激光器，調(diào)諧速度快，范圍寬-Z高達(dá) 100 nm，調(diào)諧波長范圍可從407-2450nm。除以上提及應(yīng)用也可以用作諸如微腔諧振器和原子光譜等方面。

具有非常zhuo越的特性：

·可保證在整個指定的波長范圍內(nèi)實現(xiàn)單模、無跳模調(diào)諧。

·電動和壓電控制可實現(xiàn)寬范圍掃描和微調(diào)

·低噪聲，窄線寬--是市面上ECDL激光器中線寬Z窄的·集成的光纖耦合

可選型號：