針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)XCDA管路潔凈度測(cè)試、CDA管路氣體測(cè)試需求，以TSI 9110-01 塵埃粒子計(jì)數(shù)器搭配 7955 HPD 高壓氣體擴(kuò)散器為核心組合，成為該場(chǎng)景下的檢測(cè)首選。因粒子計(jì)數(shù)器無(wú)法直接對(duì)高壓氣體采樣，7955 HPD 高壓氣體擴(kuò)散器可實(shí)現(xiàn)壓力降低，為高壓壓縮氣體系統(tǒng)的粒子污染測(cè)量提供適配條件，二者協(xié)同完成半導(dǎo)體氣體管路潔凈度的專業(yè)評(píng)估。

TSI 9110-01+7955 HPD 這一黃金組合，憑借高壓適配、數(shù)據(jù)精準(zhǔn)的核心優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)氣體管路潔凈檢測(cè)的高效與可靠，從檢測(cè)源頭規(guī)避微塵對(duì)芯片制程的污染風(fēng)險(xiǎn)。該方案可充分滿足 ISO 14644-1 及半導(dǎo)體行業(yè)嚴(yán)苛潔凈標(biāo)準(zhǔn)，助力企業(yè)對(duì)氣體輸送系統(tǒng)的潔凈度水平進(jìn)行精準(zhǔn)把控，保障系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定合規(guī)。

• 高靈敏度檢測(cè)：可精準(zhǔn)計(jì)數(shù)0.1μm - 5.0μm微塵粒子，契合半導(dǎo)體XCDA管路、CDA管路對(duì)超細(xì)微塵的管控要求；

• 數(shù)據(jù)可靠合規(guī)：內(nèi)置NIST可溯源校準(zhǔn)，測(cè)試數(shù)據(jù)具備權(quán)威性，直接對(duì)接行業(yè)審計(jì)需求；

• 高效便捷操作：一鍵啟動(dòng)測(cè)試，實(shí)時(shí)顯示數(shù)據(jù)，支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出與報(bào)表生成，縮短檢測(cè)周期。 

• 高壓適配性：專為高壓氣體管路設(shè)計(jì)，可穩(wěn)定擴(kuò)散XCDA氣體、CDA管路氣體測(cè)試，確保檢測(cè)樣本覆蓋管路全鏈路；

• 穿透管路死角：擴(kuò)散器氣流均勻，輕松覆蓋閥門、接口等易積塵盲區(qū)，避免“漏檢”風(fēng)險(xiǎn)；

• 安全兼容：材質(zhì)耐高壓、抗腐蝕，與半導(dǎo)體氣體管路材質(zhì)兼容，測(cè)試過程無(wú)二次污染。

1. 無(wú)縫適配：9110-01與7955原廠匹配，無(wú)需額外調(diào)試，即連即用，降低設(shè)備兼容成本；

2. 高效降本：雙設(shè)備協(xié)同測(cè)試，相比傳統(tǒng)方法效率提升30%，減少停機(jī)檢測(cè)時(shí)間，降低生產(chǎn)損失；

3. 全程可控：從氣體擴(kuò)散到粒子計(jì)數(shù)，全流程數(shù)據(jù)可視化，便于追溯與問題定位。 

1. 前期準(zhǔn)備：將7955高壓氣體擴(kuò)散器接入XCDA管路測(cè)試端口，確認(rèn)擴(kuò)散器與管路密封適配；連接9110-01粒子計(jì)數(shù)器與擴(kuò)散器，完成設(shè)備校準(zhǔn)與參數(shù)設(shè)置（根據(jù)客戶潔凈等級(jí)設(shè)定粒子計(jì)數(shù)閾值）。

2. 全域檢測(cè)：啟動(dòng)7955擴(kuò)散器，高壓氣流均勻覆蓋管路內(nèi)表面；9110-01同步啟動(dòng)計(jì)數(shù)，實(shí)時(shí)捕捉管路內(nèi)微塵粒子，重點(diǎn)檢測(cè)管路接口、閥門、彎曲段等關(guān)鍵區(qū)域。

3. 數(shù)據(jù)輸出：測(cè)試完成后，9110-01自動(dòng)生成合規(guī)性報(bào)告，清晰呈現(xiàn)粒子濃度、超標(biāo)點(diǎn)等關(guān)鍵信息，支持PDF/Excel格式導(dǎo)出，直接用于內(nèi)部管控與外部審計(jì)。 

1. 半導(dǎo)體工廠XCDA管路新建/改造后的驗(yàn)收測(cè)試；

2. 日常生產(chǎn)中XCDA管路潔凈度定期巡檢；

3. 芯片制程異常時(shí)，管路微塵污染排查；

4. 行業(yè)合規(guī)審計(jì)前的預(yù)檢測(cè)與整改輔助。 

選擇TSI 9110-01+7955組合，不僅是選擇一套檢測(cè)設(shè)備，更是選擇半導(dǎo)體XCDA管路潔凈的“安心保障”——我們提供原廠技術(shù)支持、設(shè)備校準(zhǔn)服務(wù)，確保每一次測(cè)試都精準(zhǔn)、可靠，助力您的芯片生產(chǎn)全程“零塵干擾”，守護(hù)高端制造核心競(jìng)爭(zhēng)力！

關(guān)于億天凈化

深圳市億天凈化技術(shù)有限公司成立于 2005 年，是一家專注潔凈技術(shù)領(lǐng)域的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、國(guó)家級(jí)專精特新“小巨人”企業(yè)，一直致力于受控空氣環(huán)境品質(zhì)的發(fā)展。公司以空氣凈化產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為核心，聚焦電子半導(dǎo)體、生物制藥、食品安全、醫(yī)療疾控、環(huán)保等領(lǐng)域，為客戶提供覆蓋新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)、排風(fēng)全場(chǎng)景的空氣質(zhì)量綜合解決方案，服務(wù)貫穿 “診斷、檢測(cè)、監(jiān)測(cè)、控制” 全鏈路，可精準(zhǔn)應(yīng)對(duì)粉塵顆粒物、氣態(tài)污染物（AMC）、病毒微生物等污染問題，同時(shí)提供檢測(cè)儀器、智能監(jiān)測(cè)系統(tǒng)等核心產(chǎn)品及工藝制程、工藝水系統(tǒng)、室外污染源排放的監(jiān)測(cè)控制整體解決方案，以 “數(shù)據(jù)精準(zhǔn)、產(chǎn)品可靠” 樹立行業(yè)標(biāo)桿。