（一）停水

　　1）發(fā)生停水或水壓報(bào)警時(shí)，先確認(rèn)水壓表是否偏低，水管和爐筒溫度是否明顯升高。

　　a、快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150MM。

　　b、關(guān)閉加熱功率。

　　c、復(fù)位控制柜面板上單晶生長(zhǎng)控制器，使其處于手動(dòng)狀態(tài)。

　　d、降低堝位到熔料堝位。

　　e、關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。

　　2）停水后水壓恢復(fù)

　　a、冷卻水恢復(fù)供應(yīng)時(shí)，監(jiān)控水壓，有異常立即報(bào)告管理人員。

　　b、水壓恢復(fù)時(shí)，爐內(nèi)無(wú)嚴(yán)重氧化現(xiàn)象，熔體未結(jié)晶或已結(jié)晶但液面結(jié)晶小于10分鐘且石英坩堝未破裂，按加熱功率開(kāi)，調(diào)節(jié)功率到熔料功率。

　　c、啟動(dòng)堝轉(zhuǎn)，設(shè)定為2轉(zhuǎn)/分。

　　d、熔化結(jié)晶面，在此期間應(yīng)密切爐內(nèi)有無(wú)嚴(yán)重氧化現(xiàn)象，注意硅料液面熔化情況，一旦發(fā)生嚴(yán)重氧化現(xiàn)象、硅液面下降，立即停爐并上報(bào)管理人員。

　　e、待結(jié)晶全熔后，手動(dòng)調(diào)節(jié)功率為引晶功率溫度穩(wěn)定后，開(kāi)始引晶。

　　3）停水后水壓無(wú)法恢復(fù)，或恢復(fù)時(shí)熔體已結(jié)晶大于10分鐘。

　　a、在熔體結(jié)晶15分鐘時(shí)，快速提升坩堝，使坩堝頂起導(dǎo)流筒100mm。

　　b、停爐，充分冷卻后拆爐

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　　1）若爐子工作時(shí)，加熱部分停電。

　　a、復(fù)位控制柜面板上單晶生長(zhǎng)控制器，使其處于手動(dòng)狀態(tài)。

　　b、降低堝位到熔料堝位。

　　c、關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。

　　d、加熱部分恢復(fù)時(shí)，若時(shí)間較短，按加熱功率開(kāi)，將功率升至熔料功率。

　　e、啟動(dòng)堝轉(zhuǎn)，設(shè)定為2轉(zhuǎn)/分。

　　f、熔化結(jié)晶面，在此期間應(yīng)密切爐內(nèi)有無(wú)嚴(yán)重氧化現(xiàn)象，注意硅料液面熔化情況，一旦發(fā)生嚴(yán)重氧化現(xiàn)象、硅液面下降，立即停爐并上報(bào)管理人員。

　　g、待結(jié)晶全熔后，手動(dòng)調(diào)節(jié)功率為引晶功率溫度穩(wěn)定后，開(kāi)始引晶。

　　h、加熱部分恢復(fù)時(shí)，若停電時(shí)間較長(zhǎng)，快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。

　　r、在熔體結(jié)晶15分鐘時(shí)，快速提升坩堝，使坩堝頂起導(dǎo)流筒100mm。

　　j、停爐，充分冷卻后拆爐

　　2）若爐子工作時(shí)，加熱電源、控制電源同時(shí)斷電。

　　a、立即關(guān)閉抽空閥門(mén)。

　　b、手動(dòng)搖手柄降低堝位使晶棒與硅液脫離。