德國普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340

來源：蒙天真空技術（上海）有限公司更新時間：2023-03-22 15:31:15 閱讀量：4400

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 技術參數(shù):

型號	ASM340	ASM340 D	ASM340 I
對氦氣的Z小檢檢漏率	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s
檢測模式	真空模式和吸槍mo式	真空模式和吸槍mo式	真空模式和吸槍mo式
檢測氣體	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
啟動時間 min	3	3	3
對氦氣的抽氣速度 l/s	2.5	2.5	2.5
進氣口Zda壓力 hPa	25	25	5
前級泵抽速 m3/h	油泵 15	隔膜泵 3.4	不含前級泵
重量 kg	56	45	32

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 優(yōu)點:

1. 前級泵配備旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高達15 m3/h

2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對氦氣抽速 2.5 l/s

3. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的Z小檢檢漏率：

真空模式：5E-13 Pa m3/s

吸槍mo式：5E-10 Pa m3/s 目前業(yè)界公認Z小漏率

4. 移動式操作面板（有線、無線）

5. 集成SD卡, 方便資料處理

6. 抗破大氣、抗震動, 降低由操作失誤帶來的風險性

7. 豐富的可選配件, 如吸槍、遙控器、小推車、旁路裝置、標準漏孔等

8. 檢測時間短

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