在上一篇《從被動(dòng)到主動(dòng)：主動(dòng)隔振技術(shù)如何突破精密控制的“低頻瓶頸”？》中，我們探討了主動(dòng)隔振技術(shù)如何突破被動(dòng)隔振的 “低頻瓶頸”—— 當(dāng)振動(dòng)頻率低于 2Hz 時(shí)，傳統(tǒng)被動(dòng)隔振方案難以奏效，而主動(dòng)隔振通過(guò) “實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) + 主動(dòng)抵消” 的閉環(huán)控制，成為超高精度設(shè)備的剛需技術(shù)。作為全球精密隔振領(lǐng)域的領(lǐng)軍品牌，TMC 的主動(dòng)隔振系統(tǒng)究竟如何將這項(xiàng)技術(shù)落地為可靠產(chǎn)品？本文將從核心產(chǎn)品系列、技術(shù)亮點(diǎn)、適用場(chǎng)景三大維度，帶您全面解鎖 TMC 主動(dòng)隔振的實(shí)力。

TMC 主動(dòng)隔振系統(tǒng)核心產(chǎn)品矩陣：覆蓋全場(chǎng)景精度需求

TMC 基于 STACIS 專利技術(shù)，打造了一系列主動(dòng)隔振產(chǎn)品，精準(zhǔn)匹配不同設(shè)備類型、負(fù)載范圍及環(huán)境要求，從小型電鏡到大型半導(dǎo)體設(shè)備均能完美適配：

1、STACIS 4 ——最先進(jìn)的商用主動(dòng)隔振器

STACIS?4是最先進(jìn)的商用主動(dòng)隔振系統(tǒng)。它裝有慣性振動(dòng)傳感器，配合精準(zhǔn)的控制算法與先進(jìn)的壓電作動(dòng)器。STACIS 可實(shí)時(shí)偵測(cè)地面振動(dòng)，再憑借壓電作動(dòng)器的收縮或膨脹即刻消除地面振動(dòng)。全新的STACIS 4建立在我們成熟的STACIS技術(shù)基礎(chǔ)上，該技術(shù)被全球十大半導(dǎo)體制造商中的九家所使用。

優(yōu)勢(shì)：

• 全頻段隔振：使用獨(dú)特的串聯(lián)式設(shè)計(jì)與壓電技術(shù)，主動(dòng)隔振頻段覆蓋0.2-150Hz，2Hz 時(shí)振動(dòng)衰減達(dá) 99.9%（60dB 以上），1Hz 時(shí)衰減 85%-96%，徹底解決低頻振動(dòng)難題；

• 在臨界頻率1-5 Hz范圍內(nèi)沒(méi)有共振放大現(xiàn)象。

• TMC“Hard-Mount”架構(gòu)提供了比被動(dòng)隔離器快10倍的穩(wěn)定時(shí)間。

• 沒(méi)有氣浮系統(tǒng)重力不穩(wěn)定的風(fēng)險(xiǎn)。

• 可以與任何設(shè)備自帶的隔離系統(tǒng)“堆疊”。

性能參數(shù)：

• 六個(gè)自由度的主動(dòng)消振

• 有效帶寬：0.2 -150 Hz

• 1 Hz即開(kāi)始有效隔振

• 隔振效率@1Hz：85% - 96%

• 隔振效率@2Hz：96-99.9%

• 穩(wěn)定時(shí)間（典型）：0.2s

有三種負(fù)載能力的版本可供選擇:

– 400 – 1100 lbs (182 – 500 kg)

– 900 – 2100 lbs (410 – 955 kg)

– 1900 – 4500 lbs (864 – 2045 kg)

對(duì)于尺寸較大的平臺(tái)系統(tǒng)，可以將多個(gè)STACIS系統(tǒng)組合為一個(gè)操作系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)整體的隔振。STACIS 4 通常會(huì)配置層壓鋼板平臺(tái)和底座支架來(lái)調(diào)整適配高度。

最新升級(jí)-低噪聲的數(shù)字控制器

每個(gè)STACIS系統(tǒng)都由數(shù)字DC2020控制器控制，可以通過(guò)直觀的基于網(wǎng)頁(yè)的用戶界面(Web GUI)，從電腦端的網(wǎng)頁(yè)瀏覽器進(jìn)行控制 - 不需要額外的軟件。

數(shù)字技術(shù)允許在現(xiàn)場(chǎng)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行調(diào)整內(nèi)部增益，相位，自定義濾波器，自定義警報(bào)等；通過(guò)Web GUI，用戶可以查看狀態(tài)、管理操作和設(shè)置、輸入診斷指令等

靈活的安裝方式

安裝在混凝土地板上：普通實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，通常是需要獲得極低的系統(tǒng)高度時(shí)。

安裝在高架地板上：通常應(yīng)用于潔凈室中。

安裝案例：

SEM-Base VI ：適用電鏡的地面式主動(dòng)隔振平臺(tái)

核心定位：SEM-Base VI被設(shè)計(jì)用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡（SEM）以及許多聚焦離子束（FIB）和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強(qiáng)大的控制器和高級(jí)圖形用戶界面（GUI）。SEM-Base VI使許多實(shí)驗(yàn)室和設(shè)施達(dá)到了滿足工具制造商規(guī)格所需的地面振動(dòng)水平。

硬安裝技術(shù) - SEM-Base VI與所有內(nèi)部SEM振動(dòng)控制系統(tǒng)兼容，可以從0.6 Hz開(kāi)始主動(dòng)減輕低頻地面振動(dòng)。

主動(dòng)慣性振動(dòng)消除 - SEM-Base VI使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地面上也能實(shí)現(xiàn)高水平的振動(dòng)衰減。

采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計(jì) - 獨(dú)特的串行設(shè)計(jì)和專有的高力壓電技術(shù)可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動(dòng)帶寬和從2 Hz開(kāi)始減振90％的卓越慣性主動(dòng)振動(dòng)消除性能。。

應(yīng)用案例

SEM-Base LP ：專用于Thermo Fisher Scientific 產(chǎn)品的低姿態(tài)電鏡定制方案

核心定位：針對(duì)Thermo Fisher Scientific（原 FEI）系列電鏡（如 Apreo、Helios G4、Nova NanoSEM 等）的低姿態(tài)定制款，高度僅 133.6mm（5.26in）。

安裝更簡(jiǎn)便，性能卓越，且符合人體工學(xué)優(yōu)化。緊湊的設(shè)計(jì)便于安裝時(shí)無(wú)需抬起掃描電子顯微鏡（SEM）柱，除了 SEM 內(nèi)置的調(diào)平腳。而且一旦安裝，SEM 離地面高度不會(huì)增加。

核心優(yōu)勢(shì)：保持SEM-Base VI 的全頻段隔振性能，同時(shí)通過(guò)低姿態(tài)設(shè)計(jì)讓電鏡更貼近地面，提升穩(wěn)定性。

LaserTable-Base ：混合壓電 / 氣浮主動(dòng)隔振系統(tǒng)

LaserTable-Base?是現(xiàn)有光學(xué)平臺(tái)隔振技術(shù)的一大飛躍。通常，光學(xué)平臺(tái)由低頻氣動(dòng)隔振系統(tǒng)支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效，但這些被動(dòng)系統(tǒng)實(shí)際上放大了關(guān)鍵的1至3 Hz范圍內(nèi)的振動(dòng)。

TMC的STACIS通過(guò)結(jié)合壓電致動(dòng)器和慣性振動(dòng)傳感器的專有技術(shù)克服了這些限制，可消除而不會(huì)放大極低頻振動(dòng)。LaserTable-Base將這兩項(xiàng)技術(shù)（空氣和STACIS）整合到一個(gè)集成的消振系統(tǒng)中。由于兩個(gè)串聯(lián)隔振系統(tǒng)的綜合效應(yīng)，這實(shí)現(xiàn)了低頻率消振和前所未有的高頻隔振水平。

LaserTable-Base的上部氣動(dòng)部分采用模塊化設(shè)計(jì)，可互換。它可以結(jié)合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空氣隔振器或剛性、非隔振支架，具體取決于應(yīng)用要求。

性能：

將低頻、被動(dòng)MaxDamp?空氣隔振器與壓電主動(dòng)消振系統(tǒng)串聯(lián)在一起，可得到整體傳遞率曲線，即兩條單獨(dú)傳遞率曲線的總和。由此產(chǎn)生的隔振性能非常顯著，在某些頻率范圍內(nèi)，我們受到測(cè)量?jī)x器噪聲基底的限制。并且無(wú)法測(cè)量和演示完整的隔振性能。也就是說(shuō)，在10-12 Hz以上，組合系統(tǒng)的實(shí)際性能預(yù)計(jì)將超過(guò)所示性能，因?yàn)榻M合隔振理論上是兩個(gè)子系統(tǒng)所提供的隔振的總和。

應(yīng)用照片：

從0.2Hz 的超低頻振動(dòng)到 150Hz 的中高頻干擾，TMC 主動(dòng)隔振系統(tǒng)以專利技術(shù)、全場(chǎng)景產(chǎn)品矩陣和極致精度控制，重新定義了精密設(shè)備的振動(dòng)防護(hù)標(biāo)準(zhǔn)。無(wú)論是半導(dǎo)體制造的納米級(jí)加工，還是科研領(lǐng)域的極限測(cè)量，TMC 都能提供 “量身定制” 的主動(dòng)隔振解決方案，讓精密設(shè)備擺脫環(huán)境振動(dòng)的束縛。

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