X射線是波長(zhǎng)介于紫外線(~10nm)與γ射線(~0.01nm)之間的電磁輻射,典型波長(zhǎng)區(qū)間為0.01nm(10pm)至10nm(100?),對(duì)應(yīng)光子能量100eV至124keV(由公式$$E=\frac{hc}{\lambda}$$計(jì)算,$$h$$為普朗克常數(shù)、$$c$$為光速)。與可見(jiàn)光相比,X射線光子能量高103~10?倍,具備穿透輕元素材料、激發(fā)原子內(nèi)層電子躍遷的核心特性,是材料表征與無(wú)損檢測(cè)的基礎(chǔ)工具。
通過(guò)鎢絲熱陰極發(fā)射電子(加熱電流3~5A,加速電壓10~100kV),電子撞擊陽(yáng)極靶材(Cu、Mo等)產(chǎn)生兩類X射線:
高能電子在磁場(chǎng)中做圓周運(yùn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的同步輻射,亮度比實(shí)驗(yàn)室管高10?~10?倍,單色性好($$\Delta\lambda/\lambda\sim10^{-5}$$),適用于蛋白質(zhì)結(jié)構(gòu)解析、微區(qū)高分辨成像等場(chǎng)景。
| 參數(shù)名稱 | 定義 | 典型范圍 | 核心應(yīng)用場(chǎng)景 |
|---|---|---|---|
| 特征波長(zhǎng)$$\lambda$$ | 靶材內(nèi)層電子躍遷光子波長(zhǎng) | Cu Kα=0.154nm;Mo Kα=0.071nm | XRD晶體解析、XRF元素分析 |
| 光子通量$$\Phi$$ | 單位時(shí)間單位面積光子數(shù) | 實(shí)驗(yàn)室管~1e1? ph/s/cm2;同步輻射~1e1? ph/s/cm2 | 快速掃描、高靈敏度分析 |
| 相對(duì)單色性$$\Delta\lambda/\lambda$$ | 波長(zhǎng)分布相對(duì)寬度 | 實(shí)驗(yàn)室管~1e?3;同步輻射~1e?? | 晶格參數(shù)精確測(cè)定、價(jià)態(tài)分析 |
| 光斑尺寸$$d$$ | 射線束聚焦直徑 | 微焦斑管~10μm;常規(guī)管~1mm | 微區(qū)材料分析、薄膜厚度測(cè)量 |
| 能量分辨率$$E/\Delta E$$ | 光子能量分辨能力 | 實(shí)驗(yàn)室管~1e2;同步輻射~1e? | 元素化學(xué)態(tài)鑒別、精細(xì)結(jié)構(gòu)分析 |
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