FOP MicroPZ 微型光纖滲壓計的設計基于微型MOMS (微光學機械系統(tǒng))壓力傳感器的非接觸撓度測量技術，制造MOMS壓力傳感器時采用了光刻技術。MOMS壓力傳感器有一個柔性隔膜，安裝在密封真空腔體的頂部，其壓力測量原理基于法布里-珀羅白光干涉技術。法布里-珀羅腔由兩個反射鏡面組成，一面是柔性隔膜的內(nèi)表面，另一面是固定在引線光纖端面上的基準光學表面。壓力會導致法布里-珀羅腔的長度發(fā)生變化。

由于光纖讀數(shù)儀或數(shù)據(jù)記錄儀可以在各種溫度、電磁干擾（EMI）、濕度和振動條件下一致而準確地測量腔長，因此該系統(tǒng)即使在Z惡劣的條件下也能獲得可靠的壓力測量結果。FOP-MicroPZ微型光纖滲壓計裝有不銹鋼保護套和一塊多孔不銹鋼透水石，從而確保它的機械堅固性，并且不銹鋼透水石能保護傳感

元件不受固體顆粒的影響，從而只感測被測流體的壓力。這款傳感器包括外殼在內(nèi)的總直徑為4.8mm，總長度為54 mm。

這款FOP-MicorPZ微型光纖滲壓計是為工業(yè)和土木工程應用而設計的。MOMS壓力傳感器是在玻璃和硅片上批量生產(chǎn)的，采用了來自半導體行業(yè)的成熟光刻技術。

高分辨率

本質安全

不受電磁干擾（EMI）/ 射頻干擾（RF）/閃電的影響

長期可靠性

堅固的不銹鋼結構

適用于惡劣環(huán)境

非常小的直徑(4.8 mm)

大壩

隧道

廢物貯存庫

堤防或路堤

量程：100, 200, 350（標準）, 500, 750, 1000 kPa

精度：滿量程的± 0.5%

分辨率：滿量程的0.065%

過載：1.5x量程

外徑：4.8 mm

長度：54 mm

基體材料：316不銹鋼

光纖：PVC 3mm 外徑 CAF-UO3-1F

透水石：316不銹鋼 (孔隙 40 μm)