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【國儀FIB秀】國儀雙束電鏡助力28nm制程芯片分析

來源：國儀量子技術(shù)（合肥）股份有限公司 更新時(shí)間：2025-03-25 17:45:12 閱讀量：292
導(dǎo)讀：【國儀FIB秀】國儀雙束電鏡助力28nm制程芯片分析

圖片

28nm制程芯片分析

CIQTEK

基于自主可控的雙束電鏡系統(tǒng)，成功實(shí)現(xiàn)28nm工藝節(jié)點(diǎn)芯片的透射電鏡（TEM）納米級(jí)樣品制備。經(jīng)TEM驗(yàn)證可清晰解析各結(jié)構(gòu)關(guān)鍵尺寸，為半導(dǎo)體工藝缺陷分析與良率提升提供國產(chǎn)化精密檢測(cè)方案。





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