化學(xué)過濾器作為潔凈室通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)的一個組成部分，用于安裝在潔凈室內(nèi)的各種位置，不同的位置提供不同程度的靈活性，并針對特定的污染物或污染源進(jìn)行定位。

化學(xué)過濾器可以很容易地整合到現(xiàn)有的空氣處理設(shè)備中，用于氣態(tài)分子污染物（AMC）控制，可以是多個位置的過濾系統(tǒng)的組合，也可以是單個位置的多個過濾階段的組合，基本上可以解決任何AMC問題，進(jìn)而保護(hù)敏感的制程。

（1）置于新風(fēng)空調(diào)箱，移除由室外引進(jìn)的污染；

（2）置于循環(huán)回風(fēng)空調(diào)箱，移除制程環(huán)境所產(chǎn)生的污染以節(jié)省新風(fēng)量及新風(fēng)空調(diào)負(fù)荷；

（3）與風(fēng)機(jī)過濾單元結(jié)合控制潔凈室天花板氣流出口的潔凈；

（4）微環(huán)境，接近制程設(shè)備機(jī)臺端供給潔凈氣流。

化學(xué)過濾器種類多，主要分為： 平板型化學(xué)過濾器 、W型化學(xué)過濾器、箱式化學(xué)過濾器、圓筒化學(xué)過濾模塊、插片式化學(xué)過濾器、V型化學(xué)過濾模塊等，能滿足各類氣態(tài)污染物過濾需求，助力企業(yè)優(yōu)化生產(chǎn)工藝、提升產(chǎn)品良率，扎實推動企業(yè)節(jié)能降耗增效。