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生物醫(yī)學(xué)玻璃的激光微加工—芯片實(shí)驗(yàn)室

來源:凌云光技術(shù)股份有限公司 更新時間:2020-12-15 11:03:00 閱讀量:1915

相信大家在部分科幻電影或動漫中,常常能看到可以植入人體的芯片,用來監(jiān)控身體各個參數(shù)、增強(qiáng)人體機(jī)能和神經(jīng)反應(yīng)。芯片一旦植入,普通人就變身成為神秘特工或終 戰(zhàn)士。

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而現(xiàn)實(shí)中隨著馬斯克的腦機(jī)接口正在一步步邁向臨床,AlphGo把人類棋手完虐等以前只能在科幻電影中見到的“未來科技”,逐步在現(xiàn)實(shí)生活中出現(xiàn)的時候,擁有“小身材有大智慧”的AI芯片似乎也能夠夢想照進(jìn)現(xiàn)實(shí)了。

事實(shí)上,如今已有一些“芯片實(shí)驗(yàn)室(Lab-on-a-chip)”出現(xiàn)了,并且其發(fā)展速度是非常快的!

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芯片實(shí)驗(yàn)室


什么是“芯片實(shí)驗(yàn)室(Lab-on-a-chip)”?簡單地說,能夠?qū)⒄麄€在實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行的基本操作單位集成到簡單微系統(tǒng)上的技術(shù)就叫“芯片實(shí)驗(yàn)室”?!靶酒瑢?shí)驗(yàn)室”中的芯片是作為流體在其中流動的微通道圖案,可被模塑或刻蝕。


微通道和外部宏觀環(huán)境之間的連接需要通過若干孔,這些孔穿透芯片,具有不同的尺寸,用于將流體注入芯片或從芯片中移除。在微流控芯片中,根據(jù)實(shí)驗(yàn)需要,流體被混合、分離或引導(dǎo)。終結(jié)果可形成自動復(fù)合系統(tǒng),從而實(shí)現(xiàn)高通量檢測。


在生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用領(lǐng)域,芯片實(shí)驗(yàn)室可以實(shí)現(xiàn)快速診斷。芯片實(shí)驗(yàn)室技術(shù)有望成為一種重要的診斷工具。這些微型化的設(shè)備使醫(yī) 療保健服務(wù)提供方可以使用非常少量的試劑和測試樣本執(zhí)行一系列診斷測試。此外得益于它們的便攜性,還可以在遠(yuǎn)離實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的現(xiàn)場進(jìn)行測試。


制作芯片實(shí)驗(yàn)室(Lab- on-a-chip)或微流控芯片(Microfluidic chip)的材料主要是玻璃,受限于芯片的微尺度特性,在制備過程中,對玻璃進(jìn)行激光微加工有著很高的要求。制作芯片實(shí)驗(yàn)室的大挑戰(zhàn)之一是在玻璃芯片內(nèi)部加工高精度管道、容器和閥門。


挑戰(zhàn):玻璃微加工



由于其脆性和透明性,玻璃中進(jìn)行微小的特征加工進(jìn)行是相當(dāng)困難的。如果使用常規(guī)工具手段,實(shí)際上是不可能的。但是快激光器可以勝任這種加工。當(dāng)脈沖持續(xù)時間低于幾十皮秒時,激光與材料的相互作用進(jìn)入冷燒蝕狀態(tài),加工質(zhì)量和精度會變得很高。


常規(guī)的微制造方法,例如光刻,壓印和軟蝕刻,已經(jīng)用于制備微流體芯片。然而,當(dāng)要實(shí)現(xiàn)具有多功能集成的復(fù)雜微流控芯片時,這些方法將面臨巨大挑戰(zhàn),因?yàn)樗鼈冃枰喙に嚥襟E,并且成本很高。







刻蝕來啦

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▲由NKT Photonics的ORIGAMI XP飛秒激光制備的芯片實(shí)驗(yàn)室樣品

大功率快激光脈沖穿透玻璃。緊聚焦的飛秒激光脈沖可以經(jīng)濟(jì)**地生產(chǎn)具有多功能的通用微流控芯片。短脈沖寬度提供了令人難以置信的峰值功率,即使在透明材料中,也可以進(jìn)行表面和塊狀材料內(nèi)部的改性以進(jìn)行劃線。

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▲飛秒激光加工的芯片溝道特寫

快激光確保加工的高精度和高質(zhì)量。通過利用激光的高度空間選擇性,可以將相互作用區(qū)域**地設(shè)置在材料的特定局部區(qū)域。這使得飛秒加工技術(shù)可以在透明材料中以微尺度對復(fù)雜的三維形狀進(jìn)行非常高分辨率的圖案化和雕刻。

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▲深度小于10 μm的溝道特寫

NKT快激光器可以實(shí)現(xiàn)非常精細(xì)的深度和通道寬度控制

飛秒級短脈沖寬度比材料中的電子-聲子耦合過程都短,因此短的飛秒脈沖寬度,意味著在飛秒時間尺度傳遞能量,這能很好的YZ熱影響區(qū)的形成和熱損害。這種“冷燒蝕”方式實(shí)現(xiàn)了高精度和高分辨率的微加工處理,并具有的處理可靠性。緊密聚焦的光束可以在微尺度上非常高分辨率地對復(fù)雜形狀進(jìn)行微加工。

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▲用ORIGAMI XP飛秒激光處理過的芯片實(shí)驗(yàn)室樣品的特寫

圖片展示為芯片中直徑約0.6 mm的圓形儲集層



NKT Photonics:我們來提供

NKT Photonics的快激光提供的短脈沖非常適合用于制備芯片實(shí)驗(yàn)室器件。我們強(qiáng)烈建議將ORIGAMI XP用于玻璃和其他透明材料的激光加工。

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ORIGAMI XP是一款集成、單箱、微焦級飛秒激光器。激光頭、控制器和空氣冷卻系統(tǒng)都集成在一個小巧而堅(jiān)固的包裝中,體積小,甚至可以放在手提行李中! 


ORIGAMI XP系統(tǒng)基于緊湊的啁啾脈沖放大技術(shù)平臺,能夠在1030 nm處提供高達(dá)75μJ的脈沖能量,5 W的平均功率以及小于400 fs的脈沖持續(xù)時間。 

特點(diǎn):

?風(fēng)冷,單箱體,易于集成

?<400 fs標(biāo)準(zhǔn)脈沖寬度

? 5 W / 75 μJ @ 1030nm

?2.5 W / 40 μJ @ 515 nm

?1 W / 20 μJ @ 343nm

?單發(fā)(Single-shot)和按需脈沖(Pulse-on-Demand)

?雙輸出波長模塊

?出色的脈沖能量和指向穩(wěn)定性

?工業(yè),堅(jiān)固的設(shè)計(jì)

?可以任意方向安裝

?實(shí)時脈沖能量測量和控制?

?高可靠性

?亦可用水冷  

凌云光技術(shù)股份有限公司作為NKT Photonics公司在ZG的戰(zhàn)略合作伙伴,多年的合作中NKT Photonics公司與凌云始終如一,為客戶不斷提供更穩(wěn)定、更先進(jìn)、更前沿的技術(shù)


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