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旋涂基片尺寸太厚怎么辦？

來源：武漢邁可諾科技有限公司 更新時(shí)間：2018-01-24 16:39:19 閱讀量：792

問題：

      我們使用的基片厚度一般為7mm左右，資料里說只能是0.1-1.0 mm，我們的片子能否達(dá)到應(yīng)有的轉(zhuǎn)速及穩(wěn)定性能？高速旋轉(zhuǎn)下，氣爪能否卡牢？

回復(fù)：

       一般我們需要詳細(xì)了解您的7mm基底的尺寸和材質(zhì)以及由此所決定的重量。重量超出額定負(fù)載范圍太多，有可能導(dǎo)致馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)精度被損傷，那樣的話就很麻煩，必須要返回原廠校準(zhǔn)。對于400B-6NPP/Lite來說，我們用以參考基底材料是150mm的直徑，1mm的厚度的標(biāo)準(zhǔn)晶圓片。

如果您確實(shí)需要旋涂基底確實(shí)很厚重，需要選擇HPD高性能的馬達(dá)。總之請?jiān)敿?xì)說明您的7mm基底的尺寸，材質(zhì)和重量，我們才能給您推薦配置。


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