傳統(tǒng)的粗糙度評(píng)定為二維參數(shù)評(píng)定，評(píng)定的時(shí)候在一條線上進(jìn)行評(píng)定，不能夠完整地反映整個(gè)表面的全部信息，越來(lái)越不能滿足加工行業(yè)的發(fā)展需要。表面形貌的三維評(píng)定方法是利用區(qū)域表面獲得所需要的相關(guān)信息，給出表面形成機(jī)理信息和研究表面的直觀圖像，三維評(píng)定從整體上對(duì)零件表面特征進(jìn)行描述，具有全局性。

　　三維表面粗糙度參數(shù)有很多，今天介紹**個(gè)參數(shù)Sa。

定義：

　　Sa為表面算術(shù)平均高度，指輪廓表面內(nèi)的點(diǎn)與ZX面距離的算術(shù)平均或幾何平均值，在取樣區(qū)域 D 上，被測(cè)量的輪廓面和建立的基準(zhǔn)面之間的 z 坐標(biāo)距離的算術(shù)平均，即表面粗糙度曲面方程 z 坐標(biāo)值的算術(shù)平均。數(shù)學(xué)表達(dá)式為

應(yīng)用：

　　Sa常用來(lái)描述精密加工表面粗糙度，可以有效地檢測(cè)整個(gè)區(qū)域的高度特征以便控制加工工藝的制定。對(duì)不同的加工工藝方法，其Sa值變化明顯。

晶圓表面粗糙度評(píng)定，數(shù)據(jù)由中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀測(cè)量得出

歷史：

　　2005 年，在ISO/TC213的Zxin標(biāo)準(zhǔn)草案ISO/TC213N756中對(duì)表面三維表征參數(shù)進(jìn)行了詳細(xì)分類(lèi)，主要分為功能參數(shù)、幅度參數(shù)、空間參數(shù)、綜合參數(shù)、體積參數(shù)共5大類(lèi)23個(gè)參數(shù)，在幅度參數(shù)中就包括Sa。

　　2012年4月1日，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織正式頒布《ISO 25178-2-2012 產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS)--表面結(jié)構(gòu)：區(qū)域--第2部分：術(shù)語(yǔ)、定義和表面結(jié)構(gòu)參數(shù)》，對(duì)Sa進(jìn)行了確認(rèn)。