- 2025-01-10 10:54:03ICP等離子源
- ICP等離子源，即感應(yīng)耦合等離子體源，是一種常用的等離子體發(fā)生裝置。它利用高頻感應(yīng)電流產(chǎn)生的磁場，在氣體中激發(fā)并維持等離子體狀態(tài)。ICP等離子源具有高能密度、高穩(wěn)定性和均勻性好等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于材料加工、光譜分析、薄膜沉積及表面改性等領(lǐng)域。通過精確調(diào)控氣體流量、壓強(qiáng)及功率等參數(shù)，可以實(shí)現(xiàn)等離子體的精確控制，滿足不同應(yīng)用需求。
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