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2025-01-10 10:50:17overlay量測
Overlay量測是一種半導體制造中的關鍵測量技術,用于評估不同層級間圖案的對準精度。它通過在芯片上預設的標記進行高精度測量,確保各層電路圖案精確對齊,從而提高芯片制造的良品率和性能。Overlay量測涉及先進的圖像處理算法和精密的光學測量設備,是半導體工藝控制中不可或缺的一環(huán)。

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