- 2025-01-21 09:31:31mirau干涉顯微鏡
- Mirau干涉顯微鏡是一種高精度測量儀器，采用Mirau干涉物鏡設(shè)計，將參考光路與測量光路集成于一體，無需額外參考鏡。它利用光波干涉原理，通過測量光程差來檢測樣品表面的微小形變和高度變化，具有高分辨率、高靈敏度及非接觸測量的特點。Mirau干涉顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)元件、材料科學(xué)等領(lǐng)域，用于表面形貌分析、薄膜厚度測量及應(yīng)力分析等，是科研與工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的工具。
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