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2025-01-10 17:02:23CVD流化床
CVD流化床是一種利用化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)在流化床反應(yīng)器中制備材料的方法。它通過(guò)將氣體反應(yīng)物引入流化床中,在固體顆粒表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),形成所需的沉積層。CVD流化床具有高效、均勻、可連續(xù)生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于制備各種功能材料和涂層,如陶瓷、碳化物、氮化物等,在材料科學(xué)和工程領(lǐng)域具有重要價(jià)值。

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