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2025-01-10 17:02:42EDS能譜分析
EDS能譜分析,即能量散射譜分析,是一種用于材料微區(qū)成分分析的先進(jìn)技術(shù)。它利用聚焦的高能電子束轟擊樣品表面,激發(fā)樣品中元素的原子內(nèi)層電子躍遷,產(chǎn)生特征X射線。通過探測(cè)這些X射線的能量和強(qiáng)度,可以確定樣品中存在的元素種類及其相對(duì)含量。EDS具有分析速度快、靈敏度高、樣品制備簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、地質(zhì)學(xué)等領(lǐng)域。

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