- 2025-01-20 11:06:35ald設(shè)備
- ALD設(shè)備（原子層沉積設(shè)備）是一種用于制造納米材料和薄膜的先進(jìn)設(shè)備。其基本原理是通過將反應(yīng)前驅(qū)體交替脈沖通入反應(yīng)腔，并在樣品表面發(fā)生化學(xué)吸附反應(yīng)，形成單層原子或分子層，通過重復(fù)該過程實(shí)現(xiàn)薄膜的逐層沉積。ALD設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能電池、催化劑等領(lǐng)域，具有薄膜厚度均勻、成分精確可控、可制備復(fù)雜結(jié)構(gòu)等優(yōu)勢(shì)。
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