- 2025-04-12 13:38:01磷酸
- 磷酸是一種常見的無機酸，廣泛應用于食品、飲料、肥料和工業(yè)生產中。
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磷酸問答
- 2020-09-04 17:12:20芯中有我｜電子級磷酸
- 電子級磷酸電子級磷酸屬于高純磷酸，是電子行業(yè)廣泛使用的一種超高純化學試劑，主要用于芯片的濕法清洗和濕法蝕刻，包括基片涂膠前的清洗，光刻過程中的蝕刻及ZZ去膠以及硅片本身制作過程中的清洗和絕緣膜蝕刻、半導體膜蝕刻、導體膜蝕刻、有機材料蝕刻等。隨著芯片制程的不斷變小，芯片生產工藝對磷酸質量要求越來越高，生產難度也越來越大。根據網絡信息顯示，此前電子級磷酸只有美國、德國、日本、韓國等少數幾個國家可以生產，直到去年才有國內廠家取得技術突破，可以自行生產電子級磷酸，并將之出口到三星等國際知名芯片制造廠商。其實早在2011年12月30日，全國半導體設備和材料標準化技術委員會就發(fā)布了國家標準GB/T28159-2011《電子級磷酸》，其中將電子級磷酸分為E1普通電子級磷酸和E2高純電子級磷酸，并分別對其中陰陽離子和金屬含量做了要求。瑞士萬通離子色譜整機由瑞士進口，堅實可靠，可以對電子級磷酸中硝酸根、硫酸根和氯離子等陰離子以及部分陽離子進行分析，確保磷酸的產品質量。二維離子色譜測定濃磷酸中的痕量陰離子在進行痕量分析時，高濃度的磷酸會對其它離子的分析造成干擾，需要采用二維離子色譜對其進行分析。樣品首先通過DY根色譜柱進行預分離，待測離子與磷酸分開，然后樣品進入第二個六通閥，通過切換六通閥，待測離子在預濃縮柱富集隨后進入第二根色譜柱進行再次分離，而磷酸則直接排入廢液，如下圖所示：管路連接示意圖樣品經過DY根色譜柱后的色譜圖，綠色部分為切換進第二根色譜柱的時間段經過切換，ZZ進入第二根色譜柱的樣品中磷酸根離子已經濃度大大降低，可以對其進行正常分離，從而達到檢測痕量陰離子的目的。預分離色譜柱：Metrosep Organic Acids 250預分離淋洗液：超純水，預分離淋洗液流速：0.5mL/min色譜柱：Metrosep A Supp5-250淋洗液：2.8mmol/L碳酸鈉+5.0mmol/L氫氧化鈉流速：0.7mL/min定量環(huán)：200μL檢測器：電導檢測器磷酸中的鎂、鈣和鐵對于雜質含量較高的磷酸樣品，也可直接稀釋后進樣。如下圖，將樣品稀釋1000倍后可以直接進樣對其中的鎂、鈣、鐵進行檢測。色譜柱：Metrosep C4-150淋洗液：5mmol/L酒石酸+0.09mmol/L吡啶二羧酸+2mmol/L抗壞血酸流速：0.9mL/min定量環(huán)：100μL檢測器：電導檢測器紫外法檢測磷酸中的痕量硝酸根對于磷酸中的硝酸根，由于其具有紫外吸收，還可以采用紫外檢測器對其進行檢測，將樣品稀釋50倍后進樣，zui低檢測濃度可以達5ppb。色譜柱：Metrosep Dual 3紫外波長：215nm淋洗液：300mmol/L磷酸流速：1mL/min定量環(huán)：1000μL電子級試劑是芯片制造過程中十分重要的原材料。瑞士萬通離子色譜可以對多種電子級試劑的純度進行檢測，為芯片的產品質量和成品率提供保障，在以后的文章中我們還會繼續(xù)分享其它電子級試劑的檢測解決方案，敬請期待！
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