- 2025-01-21 09:31:31MOVPE
- MOVPE（金屬有機(jī)氣相外延）是一種利用金屬有機(jī)化合物在氣相中進(jìn)行外延生長(zhǎng)的技術(shù)。其基本原理是將金屬有機(jī)化合物和反應(yīng)氣體引入反應(yīng)室，在高溫下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成的物質(zhì)沉積在襯底上形成外延層。MOVPE廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料的制備，如GaN、InP等，具有生長(zhǎng)速度快、薄膜質(zhì)量高、成分和厚度可控等優(yōu)勢(shì)，是制備高性能半導(dǎo)體器件的重要技術(shù)。
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