- 2025-02-28 19:22:58正性光刻膠
- 正性光刻膠,也稱(chēng)正膠,主要由線性酚醛樹(shù)脂、感光劑(如重氮萘醌DNQ)和溶劑組成。曝光前,它對(duì)顯影液不可溶;曝光后,曝光部分溶解于顯影液,形成的圖形與掩膜版遮光區(qū)相同。正性光刻膠具有良好對(duì)比度和高分辨率,常用于制作晶體管、集成電路等高精度圖形領(lǐng)域。
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