- 2025-01-10 10:53:25全自動等離子去膠
- 全自動等離子去膠是一種高效的表面處理工藝,采用先進的等離子技術(shù),通過等離子體中的活性粒子與材料表面膠質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)和物理轟擊,實現(xiàn)膠質(zhì)層的高效、精確去除。該工藝具備高精度、高穩(wěn)定性及環(huán)保性等特點,適用于半導(dǎo)體制造、電子封裝、光學(xué)元件加工等領(lǐng)域。全自動等離子去膠機能夠自動完成去膠過程,減少人工操作,提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量,同時確保表面的清潔度和粗糙度滿足后續(xù)工藝要求。
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全自動等離子去膠問答
- 2023-03-14 12:04:54等離子去膠機(Plasma Cleaner)
- 等離子去膠機(Plasma Cleaner) 為何要去除光刻膠?在現(xiàn)代半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,會大量使用光刻膠來將電路板圖圖形通過掩模版和光刻膠的感光與顯影,轉(zhuǎn)移到晶圓光刻膠上,從而在晶圓表面形成特定的光刻膠圖形,然后在光刻膠的保護下,對下層薄膜或晶圓基底完成進行圖形刻蝕或離子注入,最后再將原有的光刻膠徹底去除。去膠是光刻工藝中的最后一步。在刻蝕/離子注入等圖形化工藝完成后,晶圓表面剩余光刻膠已完成圖形轉(zhuǎn)移和保護層的功能,通過去膠工藝進行完全清除。光刻膠去除是微加工工藝過程中非常重要的環(huán)節(jié),光刻膠是否徹底去除干凈、對樣片是否有造成損傷,都會直接影響后續(xù)集成電路芯片制造工藝效果。 半導(dǎo)體光刻膠去除工藝有哪些?半導(dǎo)體光刻膠去除工藝,一般分成兩種,濕式去光刻膠和干式去光刻膠。濕式去膠又根據(jù)去膠介質(zhì)的差異,分為氧化去膠和溶劑去膠兩種類別。干式去膠適合大部分去膠工藝,去膠徹底且速度快,是現(xiàn)有去膠工藝中zui好的方式。 一、等離子去膠機簡述:氧等離子去膠是利用氧氣在微波發(fā)生器的作用下產(chǎn)生氧等離子體,具有活性的氧等離子體與有機聚合物發(fā)生氧化反應(yīng),使有機聚合物被氧化成水蒸汽和二氧化碳等排除腔室,從而達(dá)到去除光刻膠的目的,這個過程我們有時候也稱之為灰化或者剝離。氧等離子去膠相比于濕法去膠工藝更為簡單、適應(yīng)性更好,去膠過程純干法工藝,無液體或者有機溶劑參與。當(dāng)然我們需要注意的是,這里并不是說氧等離子去膠工藝100%好于濕法去膠,同時也不是所有的光刻膠都適用于氧等離子去膠,以下幾種情形我們需要注意:① 部分穩(wěn)定性極高的光刻膠如SU-8、PI(聚酰亞胺),往往膠厚也比較大,純氧等離子體去膠速率也比較有限,為了保證快速去膠,往往還會在工藝氣體中增加氟基氣體增加去膠速率,因此不只是氧氣是反應(yīng)氣體,有時候我們也需要其他氣體參與;② 涂膠后形成類非晶態(tài)二氧化硅的HSQ光刻膠。由于其構(gòu)成并不是單純的碳?xì)溲?,所以是無法使用氧等離子去膠機來實現(xiàn)去膠;③ 當(dāng)我們的樣品中有其他需要保留的結(jié)構(gòu)層本身就是有機聚合物構(gòu)成的,在等離子去膠的過程中,這些需要保留的層也可能會在氧等離子下發(fā)生損傷;④ 樣品是由容易氧化的材料或者有易氧化的結(jié)構(gòu)層,氧等離子去膠過程,這些材料也會被氧化,如金屬AG、C、CR、Fe以及Al,非金屬的石墨烯等二維材料; 市面上常見氧等離子去膠機按照頻率可分為微波等離子去膠機和射頻等離子去膠機兩種,微波等離子去膠機的工作頻率為2.45GHz,射頻等離子去膠機的工作頻率為13.5MHz,更高的頻率決定了等離子體擁有更高的離子濃度、更小的自偏壓,更高的離子濃度決定了去膠速度更快,效率更高;更低的自偏壓決定了其對襯底的刻蝕效應(yīng)更小,也意味著去膠過程中對襯底無損傷,而射頻等離子去膠機其工作原理與刻蝕機相似,結(jié)構(gòu)上更加簡單。因此,在光電器件的加工中,去膠機的選擇更推薦使用損傷更小的微波等離子去膠機。 二、等離子清洗去膠機的工作原理:氧氣是干式等離子體脫膠技術(shù)中的首要腐蝕氣體。它在真空等離子體脫膠機反應(yīng)室內(nèi)高頻和微波能的作用下,電離產(chǎn)生氧離子、自由氧原子O*、氧分子和電子混合的等離子體,其間氧化能力強的自由氧原子(約10-20%)在高頻電壓作用下與光刻膠膜發(fā)生反應(yīng):O2→O*+O*,CxHy+O*→CO2↑+H2O↑。反應(yīng)后產(chǎn)生的CO2和H2O然后被抽走。 三、等離子去膠機的優(yōu)勢:1、等離子清洗機的加工過程易于控制、可重復(fù)且易于自動化;使用等離子掃膠機可以使得清洗效率獲得更大的提高。整個清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成,因此具有產(chǎn)率高的特點2、等離子掃膠機清洗對象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的,不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序,可以提高整個工藝流水線的處理效率;3、等離子掃膠機使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對人體的傷害,同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題;4、避免使用ODS有害溶劑,這樣清洗后不會產(chǎn)生有害污染物,因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法;5、等離子去膠機采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同,等離子體的方向性不強,這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù),因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀;6、等離子去膠機在完成清洗去污的同時,還可以改良材料本身的表面性能,如提高表面的潤濕性能、改良膜的黏著力等,這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。 四、等離子去膠的主要影響因素:頻率選擇:頻率越高,氧越易電離形成等離子體。頻率太高,以至電子振幅比其平均自由程還短,則電子與氣體分子碰撞幾率反而減少,使電離率降低。一般常用頻率為 13.56MHz及2.45GHZ 。功率影響:對于一定量的氣體,功率大,等離子體中的的活性粒子密度也大,去膠速度也快;但當(dāng)功率增大到一定值,反應(yīng)所能消耗的活性離子達(dá)到飽和,功率再大,去膠速度則無明顯增加。由于功率大,基片溫度高,所以應(yīng)根據(jù)工藝需要調(diào)節(jié)功率。真空度的選擇:適當(dāng)提高真空度,可使電子運動的平均自由程變大,因而從電場獲得的能量就大,有利電離。另外當(dāng)氧氣流量一定時,真空度越高,則氧的相對比例就大,產(chǎn)生的活性粒子濃度也就大。但若真空度過高,活性粒子濃度反而會減小。氧氣流量的影響:氧氣流量大,活性粒子密度大,去膠速率加快;但流量太大,則離子的復(fù)合幾率增大,電子運動的平均自由程縮短,電離強度反而下降。若反應(yīng)室壓力不變,流量增大,則被抽出的氣體量也增加,其中尚沒參加反應(yīng)的活性粒子抽出量也隨之增加, 因此流量增加對去膠速率的影響也就不甚明顯。 五、等離子去膠機的應(yīng)用:1、光刻膠的去除、剝離或灰化2、SU-8的去除/ 犧牲層的去除3、有機高分子聚合物的去除4、等離子去除殘膠/去浮渣/打底膜5、失效分析中的扁平化處理6、表面沾污清除和內(nèi)腐蝕(深腐蝕)應(yīng)用7、清洗微電子元件,電路板上的鉆孔或銅線框架8、剝離金屬化工藝前去除浮渣9、提高黏附性,消除鍵合問題10、塑料的表面改型:O2處理以改進涂覆性能11、產(chǎn)生親水或疏水表面
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- 2022-08-25 11:12:04揭秘遠(yuǎn)程微波等離子去膠機
- NPC-3500型微波等離子去膠機微波等離子去膠機工作原理:為了產(chǎn)生等離子,系統(tǒng)使用遠(yuǎn)程微波源。氧在真空環(huán)境下受高頻及微波能量作用,電離產(chǎn)生具有強氧化能力的游離態(tài)氧原子,它在高頻電壓作用下與光刻膠薄膜反應(yīng),反應(yīng)后生成的 CO2 和 H2O 通過真空系統(tǒng)被抽走。CF4 氣體可以達(dá)到更快速的去膠速率,尤其對于難以去除的光刻膠也具備出色的去除能力。在微波等離子體氛圍中,活性氣體被等離子化,將跟光刻膠產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),反應(yīng)生產(chǎn)的化合物通過真空泵被快速抽走,可以達(dá)到高效的去膠效果。該去膠機微波源為遠(yuǎn)程微波源,轟擊性的離子將被過濾掉之后微波等離子進入到工藝腔室參與反應(yīng),因此可以實現(xiàn)無損的去膠。微波等離子去膠機主要用途:MEMS壓力傳感器加工工藝中光刻膠批量處理;去除有機或無機物,而無殘留;去膠渣、深刻蝕應(yīng)用;半導(dǎo)體晶圓制造中光刻膠及SU8工藝;平板顯示生產(chǎn)中等離子體預(yù)處理;太陽能電池生產(chǎn)中邊緣絕緣和制絨;先進晶片(芯片)封裝中的襯底清潔和預(yù)處理;NANO-MASTER微波等離子去膠機系統(tǒng)優(yōu)勢:1)Downstream結(jié)構(gòu),等離子分布均勻;2)遠(yuǎn)程微波,無損傷;3)遠(yuǎn)程微波,支持金屬材質(zhì);4)批處理,一次可支持1-25片;5)微波等離子,可以深入1um以內(nèi)的孔隙進行清洗;6)光刻膠去除的方式為化學(xué)方式,而非物理轟擊,可實現(xiàn)等離子360度全方位的分布;7)旋轉(zhuǎn)樣品臺,進一步提高去膠的均勻性。8) 腔體內(nèi)無電極,更高潔凈度;9)微波波段無紫外排放,操作更安全;10)高電子密度,去膠效率高。
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- 2025-02-11 12:30:14全自動牛奶分析儀多少錢
- 標(biāo)題:全自動牛奶分析儀多少錢 隨著乳品行業(yè)的發(fā)展,對牛奶質(zhì)量的監(jiān)測要求日益提升。全自動牛奶分析儀作為一種高效、精確的檢測設(shè)備,已廣泛應(yīng)用于乳品生產(chǎn)、加工和檢測領(lǐng)域。本文將針對全自動牛奶分析儀的價格進行深入探討,幫助讀者了解其市場價格區(qū)間,以及選擇合適設(shè)備時應(yīng)關(guān)注的因素。 全自動牛奶分析儀的價格受多種因素的影響,包括設(shè)備品牌、技術(shù)水平、功能配置以及售后服務(wù)等。一般來說,市場上的全自動牛奶分析儀價格跨度較大,從幾萬元到十幾萬元不等。高端型號通常具備更多的功能,如多項指標(biāo)檢測、數(shù)據(jù)自動上傳、在線監(jiān)控等,這些額外的功能會直接影響其價格。而價格較為實惠的設(shè)備,可能在精度、功能或數(shù)據(jù)處理能力方面相對簡單。 在選擇全自動牛奶分析儀時,企業(yè)應(yīng)根據(jù)自身的實際需求來進行預(yù)算。如果只是進行基礎(chǔ)的乳品檢測,價格較為適中的設(shè)備便可滿足要求。而對于需要進行更精密、多維度分析的大型乳制品生產(chǎn)企業(yè)來說,投資高端設(shè)備可能是更為明智的選擇。售后服務(wù)也是影響價格的重要因素之一,質(zhì)量有保障的售后服務(wù)不僅能保證設(shè)備的長期穩(wěn)定運行,還能減少突發(fā)故障對生產(chǎn)流程的影響。 全自動牛奶分析儀的價格因品牌、功能和售后服務(wù)的不同而有所差異。企業(yè)在選購時,需要綜合考慮預(yù)算與需求,確保設(shè)備能在提升生產(chǎn)效率的達(dá)到預(yù)期的檢測效果。
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- 2020-09-22 10:56:57等離子清洗機_等離子去膠機介紹
- 不可否認(rèn),國內(nèi)等離子清洗行業(yè)目前確實存在一些問題,主要表現(xiàn)在有:一、亟待提高準(zhǔn)入門檻。由于目前國內(nèi)等離子清洗行業(yè)存在有多頭管理、條塊分割現(xiàn)象,因此行業(yè)保護、無序競爭、工程服務(wù)質(zhì)量良莠不齊現(xiàn)象比比皆是。國產(chǎn)等離子清洗機品牌-金鉑利萊第二、品牌企業(yè)不多。由于行業(yè)沒有準(zhǔn)入門檻,因此等離子清洗行業(yè)以個體企業(yè)為主,占到近60~70%,并呈急劇上升之勢,這些企業(yè)當(dāng)中有一批不具備清洗大型工程的技術(shù)和設(shè)備,但卻可以以低價擾亂工程的投標(biāo)。第三、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)落后。沒有出臺一個行業(yè)共同認(rèn)可的文件。但是不能就此下結(jié)論國內(nèi)就沒有可靠的等離子清洗設(shè)備,隨著這些年國際交流增多,這個就需要用戶多多了解和理性甄別了。深圳金鉑利萊科技有限公司成立于2014年,主要立足于真空及常壓等離子清洗設(shè)備、沖壓機器人,搬運機器人,伺服壓機及非標(biāo)自動化設(shè)備的研發(fā)、成產(chǎn)、銷售。 等離子清洗設(shè)備不僅在國內(nèi)廣受贊譽,還出口歐美等工業(yè)發(fā)達(dá)國家、受到國際市場認(rèn)可。kimberlite等離子清洗機
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- 2024-11-11 10:48:02全自動紙板破裂試驗機哪家好
- 在紙箱、紙板包裝行業(yè)中,紙板破裂試驗機是測試紙板抗破裂強度的重要設(shè)備。隨著市場需求的增加,越來越多的廠商開始生產(chǎn)各類全自動紙板破裂試驗機。市面上產(chǎn)品種類繁多,如何選擇一款適合自己需求的高性能設(shè)備成為企業(yè)面臨的難題。本文將深入探討如何根據(jù)不同的技術(shù)指標(biāo)、品牌信譽以及售后服務(wù)來挑選合適的全自動紙板破裂試驗機,確保測試結(jié)果、穩(wěn)定,幫助企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量,達(dá)到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。全自動紙板破裂試驗機的關(guān)鍵性能指標(biāo)選擇合適的全自動紙板破裂試驗機,首先需要關(guān)注幾個關(guān)鍵的技術(shù)指標(biāo)。重要的指標(biāo)包括:破裂強度、測試精度、大負(fù)載、測量范圍以及自動化程度。優(yōu)質(zhì)的試驗機能夠提供高精度的測試數(shù)據(jù),確保紙板的抗破裂性能得到準(zhǔn)確評估。在這些指標(biāo)中,破裂強度通常決定了測試的大承受能力,而測試精度則直接影響到質(zhì)量控制的有效性。設(shè)備的自動化程度也是不容忽視的因素。全自動設(shè)備不僅能提高測試效率,還能減少人工誤差,確保數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性和一致性。因此,在選擇設(shè)備時,企業(yè)應(yīng)該優(yōu)先考慮那些自動化水平高、操作簡便的產(chǎn)品,特別是那些支持遠(yuǎn)程控制和數(shù)據(jù)分析的先進設(shè)備。品牌信譽與售后服務(wù)的重要性在選擇全自動紙板破裂試驗機時,品牌信譽和售后服務(wù)也扮演著至關(guān)重要的角色。知名品牌通常能夠提供更為可靠的產(chǎn)品質(zhì)量和更加完善的售后服務(wù)體系,確保設(shè)備在使用過程中的長期穩(wěn)定性。專業(yè)的技術(shù)支持和快速響應(yīng)的售后服務(wù)可以幫助企業(yè)在設(shè)備出現(xiàn)故障時盡早解決問題,避免生產(chǎn)停滯帶來的損失。例如,國內(nèi)外一些領(lǐng)先的品牌不僅提供標(biāo)準(zhǔn)的質(zhì)保期,還提供長期的技術(shù)支持、設(shè)備維護和校準(zhǔn)服務(wù),確保設(shè)備始終處于佳狀態(tài)。這些因素?zé)o疑是選擇全自動紙板破裂試驗機時需要考慮的內(nèi)容??偨Y(jié):如何選擇適合的全自動紙板破裂試驗機綜合以上分析,選擇一款合適的全自動紙板破裂試驗機需要從設(shè)備性能、品牌信譽、售后服務(wù)等多個維度進行考量。只有結(jié)合企業(yè)自身的生產(chǎn)需求,挑選出符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)且操作簡便、精度高的設(shè)備,才能真正實現(xiàn)質(zhì)量保障與生產(chǎn)效率的雙贏。對于注重產(chǎn)品質(zhì)量和測試穩(wěn)定性的企業(yè)來說,選擇一款性價比高、技術(shù)領(lǐng)先的全自動紙板破裂試驗機將是提升產(chǎn)品競爭力的重要一步。
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