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2025-01-21 09:37:28三軸等離子: “三軸等離子”通常指的是一種高級(jí)的等離子處理技術(shù)，它采用三軸控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)更為精確和復(fù)雜的等離子處理操作。這種技術(shù)通過精確控制等離子體的位置和移動(dòng)路徑，可在材料表面進(jìn)行微細(xì)加工、刻蝕、涂覆等多種處理。三軸等離子設(shè)備在半導(dǎo)體制造、微電子封裝、材料科學(xué)等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用，能夠提升處理效率、精度和均勻性，是現(xiàn)代高科技產(chǎn)業(yè)中不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備之一。

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三軸等離子問答

2023-03-14 12:04:54等離子去膠機(jī)（Plasma Cleaner）: 等離子去膠機(jī)（Plasma Cleaner）為何要去除光刻膠？在現(xiàn)代半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，會(huì)大量使用光刻膠來將電路板圖圖形通過掩模版和光刻膠的感光與顯影，轉(zhuǎn)移到晶圓光刻膠上，從而在晶圓表面形成特定的光刻膠圖形，然后在光刻膠的保護(hù)下，對(duì)下層薄膜或晶圓基底完成進(jìn)行圖形刻蝕或離子注入，最后再將原有的光刻膠徹底去除。去膠是光刻工藝中的最后一步。在刻蝕/離子注入等圖形化工藝完成后，晶圓表面剩余光刻膠已完成圖形轉(zhuǎn)移和保護(hù)層的功能，通過去膠工藝進(jìn)行完全清除。光刻膠去除是微加工工藝過程中非常重要的環(huán)節(jié)，光刻膠是否徹底去除干凈、對(duì)樣片是否有造成損傷，都會(huì)直接影響后續(xù)集成電路芯片制造工藝效果。半導(dǎo)體光刻膠去除工藝有哪些？半導(dǎo)體光刻膠去除工藝，一般分成兩種，濕式去光刻膠和干式去光刻膠。濕式去膠又根據(jù)去膠介質(zhì)的差異，分為氧化去膠和溶劑去膠兩種類別。干式去膠適合大部分去膠工藝，去膠徹底且速度快，是現(xiàn)有去膠工藝中zui好的方式。一、等離子去膠機(jī)簡述：氧等離子去膠是利用氧氣在微波發(fā)生器的作用下產(chǎn)生氧等離子體，具有活性的氧等離子體與有機(jī)聚合物發(fā)生氧化反應(yīng)，使有機(jī)聚合物被氧化成水蒸汽和二氧化碳等排除腔室，從而達(dá)到去除光刻膠的目的，這個(gè)過程我們有時(shí)候也稱之為灰化或者剝離。氧等離子去膠相比于濕法去膠工藝更為簡單、適應(yīng)性更好，去膠過程純干法工藝，無液體或者有機(jī)溶劑參與。當(dāng)然我們需要注意的是，這里并不是說氧等離子去膠工藝100%好于濕法去膠，同時(shí)也不是所有的光刻膠都適用于氧等離子去膠，以下幾種情形我們需要注意：① 部分穩(wěn)定性極高的光刻膠如SU-8、PI（聚酰亞胺），往往膠厚也比較大，純氧等離子體去膠速率也比較有限，為了保證快速去膠，往往還會(huì)在工藝氣體中增加氟基氣體增加去膠速率，因此不只是氧氣是反應(yīng)氣體，有時(shí)候我們也需要其他氣體參與；② 涂膠后形成類非晶態(tài)二氧化硅的HSQ光刻膠。由于其構(gòu)成并不是單純的碳?xì)溲酰允菬o法使用氧等離子去膠機(jī)來實(shí)現(xiàn)去膠；③ 當(dāng)我們的樣品中有其他需要保留的結(jié)構(gòu)層本身就是有機(jī)聚合物構(gòu)成的，在等離子去膠的過程中，這些需要保留的層也可能會(huì)在氧等離子下發(fā)生損傷；④ 樣品是由容易氧化的材料或者有易氧化的結(jié)構(gòu)層，氧等離子去膠過程，這些材料也會(huì)被氧化，如金屬AG、C、CR、Fe以及Al，非金屬的石墨烯等二維材料；市面上常見氧等離子去膠機(jī)按照頻率可分為微波等離子去膠機(jī)和射頻等離子去膠機(jī)兩種，微波等離子去膠機(jī)的工作頻率為2.45GHz，射頻等離子去膠機(jī)的工作頻率為13.5MHz，更高的頻率決定了等離子體擁有更高的離子濃度、更小的自偏壓，更高的離子濃度決定了去膠速度更快，效率更高；更低的自偏壓決定了其對(duì)襯底的刻蝕效應(yīng)更小，也意味著去膠過程中對(duì)襯底無損傷，而射頻等離子去膠機(jī)其工作原理與刻蝕機(jī)相似，結(jié)構(gòu)上更加簡單。因此，在光電器件的加工中，去膠機(jī)的選擇更推薦使用損傷更小的微波等離子去膠機(jī)。二、等離子清洗去膠機(jī)的工作原理：氧氣是干式等離子體脫膠技術(shù)中的首要腐蝕氣體。它在真空等離子體脫膠機(jī)反應(yīng)室內(nèi)高頻和微波能的作用下，電離產(chǎn)生氧離子、自由氧原子O*、氧分子和電子混合的等離子體，其間氧化能力強(qiáng)的自由氧原子（約10-20%）在高頻電壓作用下與光刻膠膜發(fā)生反應(yīng)：O2→O*+O*，CxHy+O*→CO2↑+H2O↑。反應(yīng)后產(chǎn)生的CO2和H2O然后被抽走。三、等離子去膠機(jī)的優(yōu)勢(shì)：1、等離子清洗機(jī)的加工過程易于控制、可重復(fù)且易于自動(dòng)化；使用等離子掃膠機(jī)可以使得清洗效率獲得更大的提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn)2、等離子掃膠機(jī)清洗對(duì)象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序，可以提高整個(gè)工藝流水線的處理效率；3、等離子掃膠機(jī)使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害，同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問題；4、避免使用ODS有害溶劑，這樣清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法；5、等離子去膠機(jī)采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同，等離子體的方向性不強(qiáng)，這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀；6、等離子去膠機(jī)在完成清洗去污的同時(shí)，還可以改良材料本身的表面性能，如提高表面的潤濕性能、改良膜的黏著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。四、等離子去膠的主要影響因素：頻率選擇：頻率越高，氧越易電離形成等離子體。頻率太高，以至電子振幅比其平均自由程還短，則電子與氣體分子碰撞幾率反而減少，使電離率降低。一般常用頻率為 13.56MHz及2.45GHZ 。功率影響：對(duì)于一定量的氣體，功率大，等離子體中的的活性粒子密度也大，去膠速度也快；但當(dāng)功率增大到一定值，反應(yīng)所能消耗的活性離子達(dá)到飽和，功率再大，去膠速度則無明顯增加。由于功率大，基片溫度高，所以應(yīng)根據(jù)工藝需要調(diào)節(jié)功率。真空度的選擇：適當(dāng)提高真空度，可使電子運(yùn)動(dòng)的平均自由程變大，因而從電場獲得的能量就大，有利電離。另外當(dāng)氧氣流量一定時(shí)，真空度越高，則氧的相對(duì)比例就大，產(chǎn)生的活性粒子濃度也就大。但若真空度過高，活性粒子濃度反而會(huì)減小。氧氣流量的影響：氧氣流量大，活性粒子密度大，去膠速率加快；但流量太大，則離子的復(fù)合幾率增大，電子運(yùn)動(dòng)的平均自由程縮短，電離強(qiáng)度反而下降。若反應(yīng)室壓力不變，流量增大，則被抽出的氣體量也增加，其中尚沒參加反應(yīng)的活性粒子抽出量也隨之增加，因此流量增加對(duì)去膠速率的影響也就不甚明顯。五、等離子去膠機(jī)的應(yīng)用：1、光刻膠的去除、剝離或灰化2、SU-8的去除/ 犧牲層的去除3、有機(jī)高分子聚合物的去除4、等離子去除殘膠/去浮渣/打底膜5、失效分析中的扁平化處理6、表面沾污清除和內(nèi)腐蝕（深腐蝕）應(yīng)用7、清洗微電子元件，電路板上的鉆孔或銅線框架8、剝離金屬化工藝前去除浮渣9、提高黏附性，消除鍵合問題10、塑料的表面改型：O2處理以改進(jìn)涂覆性能11、產(chǎn)生親水或疏水表面

2025-04-25 14:45:14三廂高低溫沖擊試驗(yàn)箱怎么安裝: 三廂高低溫沖擊試驗(yàn)箱作為一種重要的環(huán)境測試設(shè)備，廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品、汽車、航空航天等領(lǐng)域，旨在模擬不同溫度環(huán)境下的使用條件，以評(píng)估產(chǎn)品在極端溫度變化下的性能。正確安裝三廂高低溫沖擊試驗(yàn)箱是確保其有效運(yùn)行和準(zhǔn)確測試結(jié)果的關(guān)鍵步驟。本文將詳細(xì)介紹三廂高低溫沖擊試驗(yàn)箱的安裝流程，包括設(shè)備的選擇、位置確定、連接設(shè)置等多個(gè)方面，幫助相關(guān)工程技術(shù)人員順利完成安裝工作，確保設(shè)備的高效使用與長期穩(wěn)定性。 1. 安裝前的準(zhǔn)備工作在進(jìn)行三廂高低溫沖擊試驗(yàn)箱的安裝前，需要對(duì)安裝場地進(jìn)行充分的評(píng)估。選擇一個(gè)通風(fēng)良好、溫度適宜且濕度控制穩(wěn)定的環(huán)境。安裝位置應(yīng)避免直射陽光及遠(yuǎn)離熱源或振動(dòng)源，以免影響試驗(yàn)箱的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。確保地面平整堅(jiān)固，以支撐試驗(yàn)箱的重量，避免設(shè)備因地面不平而出現(xiàn)傾斜或損壞。 2. 確定電源和氣源三廂高低溫沖擊試驗(yàn)箱的正常運(yùn)行需要穩(wěn)定的電源和氣源支持。確保試驗(yàn)箱所需的電壓與當(dāng)前電力供應(yīng)相匹配，一般試驗(yàn)箱的電源為380V或220V的交流電，需根據(jù)設(shè)備規(guī)格進(jìn)行選擇。接著，檢查電源接入的線路和插頭是否符合國家電氣標(biāo)準(zhǔn)，確保安全使用。部分三廂高低溫沖擊試驗(yàn)箱需要?dú)庠粗С?，如壓縮空氣。因此，氣源的安裝和維護(hù)也不可忽視。氣源管道應(yīng)保持清潔干燥，避免空氣中的水分和油分影響試驗(yàn)箱的正常運(yùn)行。 3. 設(shè)備的搬運(yùn)與定位在確保場地準(zhǔn)備就緒后，便可開始搬運(yùn)設(shè)備。三廂高低溫沖擊試驗(yàn)箱通常體積較大，重量較重，因此搬運(yùn)時(shí)需要使用專業(yè)的起重工具或設(shè)備，避免人工搬運(yùn)時(shí)造成損傷。搬運(yùn)過程中應(yīng)小心輕放，防止撞擊和震動(dòng)對(duì)設(shè)備造成損害。定位時(shí)，應(yīng)根據(jù)設(shè)備的設(shè)計(jì)要求和廠房空間來選擇佳位置，確保操作人員能夠方便地進(jìn)行操作和維護(hù)，同時(shí)保持設(shè)備周圍適當(dāng)?shù)目障?，以利于空氣流通和散熱?4. 安裝連接與調(diào)試在試驗(yàn)箱擺放好之后，下一步是進(jìn)行設(shè)備的連接和調(diào)試。按照設(shè)備的電氣接線圖連接電源線和氣源管道，確保各項(xiàng)連接牢固、安全。然后，進(jìn)行設(shè)備的首次調(diào)試，檢查溫控系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)以及加熱系統(tǒng)等是否正常運(yùn)行。調(diào)試過程中，注意觀察溫度和濕度的變化，確保其達(dá)到設(shè)定的測試條件，且設(shè)備能夠快速響應(yīng)并穩(wěn)定工作。如有異常，應(yīng)立即檢查并調(diào)整設(shè)備的各項(xiàng)參數(shù)，排除可能的故障。 5. 定期維護(hù)與注意事項(xiàng) 在設(shè)備成功安裝并投入使用后，定期的維護(hù)和檢查至關(guān)重要。設(shè)備的長期穩(wěn)定運(yùn)行離不開良好的保養(yǎng)和管理。定期檢查電氣線路、氣源設(shè)備和溫控系統(tǒng)的運(yùn)行狀態(tài)，及時(shí)清理設(shè)備內(nèi)部的灰塵與雜物，確保其無障礙運(yùn)行。三廂高低溫沖擊試驗(yàn)箱的安裝是一個(gè)系統(tǒng)性工程，涉及多個(gè)方面的準(zhǔn)備工作和細(xì)致的調(diào)試步驟。通過正確的安裝和操作，可以確保試驗(yàn)箱在各類高低溫沖擊測試中的穩(wěn)定性和精確性，從而為相關(guān)產(chǎn)品的質(zhì)量評(píng)估提供可靠的數(shù)據(jù)支持。

2024-04-26 11:21:59空氣消毒機(jī)除了等離子紫外線臭氧還有其他消毒方式嗎: 空氣消毒機(jī)除了等離子紫外線臭氧還有其他方式嗎？

2021-07-20 18:07:51三軸傾角加速度計(jì)的原理、特點(diǎn)及應(yīng)用: 三軸傾角加速度計(jì)又名三軸加速度傳感器，市面上也叫無線傾角加速度計(jì)，產(chǎn)品名稱很多，但是其結(jié)構(gòu)原理都是一樣的。傾角加速度計(jì)原理是通過測量給定直線軸向的彈簧上的力來檢測直線加速度和重力矢量。加速度計(jì)是一種出現(xiàn)在大批量應(yīng)用中的MEMS傳感器。因?yàn)槠鋵?duì)運(yùn)動(dòng)十分敏感的特性，現(xiàn)在在工程監(jiān)測上用的較多。對(duì)于多數(shù)的傳感器應(yīng)用來看，兩軸的傾角加速度計(jì)已經(jīng)能滿足多數(shù)應(yīng)用，但是有些方面的應(yīng)用還是集中在三軸加速度傳感器中例如在數(shù)采設(shè)備，貴重資產(chǎn)監(jiān)測，碰撞監(jiān)測，測量建筑物振動(dòng),風(fēng)機(jī),風(fēng)力渦輪機(jī)和其他敏感的大型結(jié)構(gòu)振動(dòng)。目前的三軸傾角加速度計(jì)大多采用壓電式、壓阻式和電容式三種工作原理，產(chǎn)生的加速度于電阻、電壓和電容的變化成正比，所以一定的技術(shù)上來講三個(gè)單軸是可以變成一個(gè)三軸的。因?yàn)榧闪巳SMEMS加速度傳感器，磁偏角傳感器、定位模塊內(nèi)部實(shí)時(shí)監(jiān)測加速度和角度變化，可通過角度變化或加速度變化感知整體姿態(tài)變化。在工程上應(yīng)用最多的還是用于監(jiān)測建筑物的振動(dòng)和一些大型解結(jié)構(gòu)物的振動(dòng)。因?yàn)閮A角加速度計(jì)對(duì)運(yùn)動(dòng)十分敏感，在監(jiān)測應(yīng)用上會(huì)更適合。工程上的監(jiān)測需要高精度，所以對(duì)于一些微小的變化都要能捕捉記錄。無線傾角加速度計(jì)的特點(diǎn)是能夠在預(yù)先不知道物體運(yùn)動(dòng)方向的場合下，準(zhǔn)確且全面的測量出物體的空間加速度，并且體積小（100mm*100mm*60mm），質(zhì)量輕。安裝十分方便，并且一次可連續(xù)工作2年。鋁合金的材質(zhì)讓其在野外安全性更好，不會(huì)輕易被惡劣天氣所影響工作。

2022-08-25 11:12:04揭秘遠(yuǎn)程微波等離子去膠機(jī): NPC-3500型微波等離子去膠機(jī)微波等離子去膠機(jī)工作原理：為了產(chǎn)生等離子，系統(tǒng)使用遠(yuǎn)程微波源。氧在真空環(huán)境下受高頻及微波能量作用，電離產(chǎn)生具有強(qiáng)氧化能力的游離態(tài)氧原子，它在高頻電壓作用下與光刻膠薄膜反應(yīng)，反應(yīng)后生成的 CO2 和 H2O 通過真空系統(tǒng)被抽走。CF4 氣體可以達(dá)到更快速的去膠速率，尤其對(duì)于難以去除的光刻膠也具備出色的去除能力。在微波等離子體氛圍中，活性氣體被等離子化，將跟光刻膠產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，反應(yīng)生產(chǎn)的化合物通過真空泵被快速抽走，可以達(dá)到高效的去膠效果。該去膠機(jī)微波源為遠(yuǎn)程微波源，轟擊性的離子將被過濾掉之后微波等離子進(jìn)入到工藝腔室參與反應(yīng)，因此可以實(shí)現(xiàn)無損的去膠。微波等離子去膠機(jī)主要用途：MEMS壓力傳感器加工工藝中光刻膠批量處理；去除有機(jī)或無機(jī)物，而無殘留；去膠渣、深刻蝕應(yīng)用；半導(dǎo)體晶圓制造中光刻膠及SU8工藝；平板顯示生產(chǎn)中等離子體預(yù)處理；太陽能電池生產(chǎn)中邊緣絕緣和制絨；先進(jìn)晶片(芯片)封裝中的襯底清潔和預(yù)處理；NANO-MASTER微波等離子去膠機(jī)系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)：1）Downstream結(jié)構(gòu)，等離子分布均勻；2）遠(yuǎn)程微波，無損傷；3）遠(yuǎn)程微波，支持金屬材質(zhì)；4）批處理，一次可支持1-25片；5）微波等離子，可以深入1um以內(nèi)的孔隙進(jìn)行清洗；6）光刻膠去除的方式為化學(xué)方式，而非物理轟擊，可實(shí)現(xiàn)等離子360度全方位的分布；7）旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，進(jìn)一步提高去膠的均勻性。8) 腔體內(nèi)無電極，更高潔凈度；9）微波波段無紫外排放，操作更安全；10）高電子密度，去膠效率高。