主要用途為對無機物進行分析的質(zhì)譜儀，即為無機質(zhì)譜儀，不相同的物質(zhì)離子化的方式為不同于有機質(zhì)譜儀工作原理的地方。測物質(zhì)離子化的方式是通過電感耦合高頻放電或者其他的方式。

分類

無機元素微量分析和同位素分析等方面為無機質(zhì)譜儀主要的應(yīng)用范圍。無機質(zhì)譜儀包括電感耦合等離子體質(zhì)譜儀、輝光放電質(zhì)譜儀、激光探針質(zhì)譜儀、離子探針質(zhì)譜儀以及火花源質(zhì)譜儀。

輝光放電質(zhì)譜儀

輝光放電質(zhì)譜儀有這較高的分辨率，高靈敏度，高精度分析能夠進行，對于元素周期表中絕大部分元素而言均適用，進行固體分析非常便利。

電感耦合等離子體質(zhì)譜儀

電感耦合等離子體質(zhì)譜，有著簡單易認的譜線，有著非常高的靈敏度和測量精度。

火花源質(zhì)譜儀

火花源質(zhì)譜儀除了能夠整體性分析固體樣品，而且還能夠進行表面和逐層分析甚至于液體分析。

激光探針質(zhì)譜儀

激光探針質(zhì)譜儀能夠進行表面和縱深分析。

應(yīng)用

較快的測試速度以及較為精確的結(jié)果為質(zhì)譜分析法的特點。其在石油化工、食品化學、醫(yī)學衛(wèi)生、環(huán)境科學、材料科學、核工業(yè)、地球化學、礦物學和地質(zhì)學等領(lǐng)域以及空間技術(shù)和GA工作等特種分析方面得到了非常廣泛地應(yīng)用。

無機質(zhì)譜法

定性定量分析無機化合物的質(zhì)譜方法，即為無機質(zhì)譜法?；鸹ㄔ促|(zhì)譜儀為早期主要使用的質(zhì)譜儀器，如今電感耦合等離子體（ICP）電離源與質(zhì)譜被成功地結(jié)合了起來，使得質(zhì)譜法在無機物的分析方面得到了更為普遍的應(yīng)用。無機質(zhì)譜法的主要應(yīng)用領(lǐng)域包括固體表面的微區(qū)和深度分析、無機物元素分析以及高純氣體中痕量雜質(zhì)分析等。非常高的靈敏度為無機質(zhì)譜法的的顯著優(yōu)點。