在國際上，隨著光電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，紫外光表面清洗技術(shù)也被提了出來。有機(jī)化合物的光敏氧化作用為紫外光清洗技術(shù)所利用，從而使得將黏附在材料表面上的有機(jī)物質(zhì)去除的目的達(dá)到，通過光清洗后的材料表面能夠"原子清潔度"。紫外臭氧清洗機(jī)為一種小型紫外臭氧清洗設(shè)備,能夠用來對各種單晶基片進(jìn)行清洗，從而使得成膜質(zhì)量變得更好。與此同時，還能夠?qū)⒐饪棠z去除，使材料表面潤濕性得到改善以及對SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等進(jìn)行清洗。一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段被提供，對于一些有機(jī)化合物的清除尤為合適。

紫外臭氧清洗機(jī)的維護(hù)保養(yǎng)

1、在干燥通風(fēng)平穩(wěn)的位置安放紫外臭氧清洗機(jī)。

2、在對紫外臭氧清洗機(jī)使用的過程，需要特別留心，不要對產(chǎn)品進(jìn)行隨意地挪動或者不能夠?qū)⒆贤獬粞跚逑礄C(jī)的上蓋打開，從而防止導(dǎo)致溢水的情況發(fā)生。

3、在對紫外臭氧清洗機(jī)使用結(jié)束以后，為了防止機(jī)器內(nèi)部有一位產(chǎn)生或者有細(xì)菌滋生，需要對其進(jìn)行及時地清潔。通常的清潔劑即能夠使用。

4、應(yīng)當(dāng)保持紫外臭氧清洗機(jī)潔凈與干燥，尤其值得注意的是預(yù)防回水。對紫外臭氧清洗機(jī)的電壓電流是否正常進(jìn)行定期的檢查。

5、對于工具的檢查與保養(yǎng)大概一周會有一次，往軸承等轉(zhuǎn)動部位添加黃油，往氣動馬達(dá)部位添加機(jī)油。