在近代物理學中，等離子體為一種較為普通的概念，為在一定程度上被電離（電離度比0.1%要大）的一種氣體，其中陽離子與電子的濃度處于平衡狀態(tài)，從宏觀上來講，是一種呈電中性的物質(zhì)。利用電感耦合等離子體作為激發(fā)光源，通過處于激發(fā)態(tài)的待測元素原子回到基態(tài)時發(fā)射的特征譜線分析待測元素的儀器，被稱為電感耦合等離子發(fā)射光譜儀。

性能：

1、ICP-AES法蒸發(fā)、原子化和激發(fā)能力比較高，并且是無電極放電，無電極沾污。因為等離子體光源高溫非同尋常（炎炬溫度達到10000攝氏度，樣品區(qū)的溫度也超過了6000攝氏度），一般分析方法的化學干擾、基體干擾能夠被避免，相比于其它光譜分析方法，有著較為低的干擾水平。相比于通常的化學火焰，等離子體焰炬的溫度更加的高，可以原子化、激發(fā)通常化學火焰不容易激發(fā)的元素，因此對于測定不容易激發(fā)的元素非常的有幫助。并且難熔的金屬氧化物在Ar氣氛中不太容易生成，從而不能夠顯著地影響基體效應和共存元素，不少能夠直接進行操作和簡單實用地進行分析。

2、溶液進樣分析方法的穩(wěn)定性和測量精度為ICP-AES法所具有，相較于濕式化學法，ICP-AES法的分析精度差不多高，并且有著相當好的檢出限，檢出限比1毫克/升還要低的元素很多?，F(xiàn)代的ICP-AES儀器有著低于1%的測定精度RSD。與此同時，ICP溶液分析方法能夠采用標準物質(zhì)加以校正，可溯源性為其所具有，非常多的標準物質(zhì)的定值已經(jīng)采用它，其被ISO列為標準分析方法。

3、ICP-AES法采用相應的進樣技術能夠直接分析液態(tài)樣品。

4、shou先，ICP-AES法為一種發(fā)射光譜分析方法，能夠同時對多元素加以測定。僅需使待測原子處于激發(fā)狀態(tài)，就能夠使得各自特征譜線同時發(fā)射出使測定同時進行。ICP-AES儀器不管為單道掃描亦或是多道直讀，都能夠在同一試樣溶液中對大量元素（30～50個，甚至更多）進行同時測定。自然界存在的所有元素（不包含He、Ne、Ar、Kr、Xe惰性氣體）的用ICP-AES法測定的報告均已經(jīng)有了。當然，在實際的應用上使用ICP-AES法并不可以方便地測定所有的元素。依然有些元素采用其他分析方法進行層比使用ICP-AES法來進行測定要來的更加的有效。即便這樣，在元素分析的方法中，ICP-AES法依然是zui為有效的。

5、ICP光源的光相當?shù)谋?，有著較小的自吸現(xiàn)象，因此AES法校正曲線的線性范圍能夠達到5-6個數(shù)量級，一些儀器甚至能夠達到7-8個數(shù)量級，就能夠?qū)?.00n%～n0%的含量同時進行測定。元素濃度與測量信號在大部分情況下呈簡單的線性。不僅能夠?qū)Φ蜐舛瘸煞诌M行測量（比毫克/升），又能夠同時對高濃度成分進行測量（幾百或數(shù)千毫克/升），為對ICP-AES多元素同時測定能力充分發(fā)揮的一個相當有價值的分析特性。