輝光放電光譜技術(shù)是一種分析技術(shù)，其能夠直接對固體樣品進(jìn)行分析。材料的基板分析為其Z早的應(yīng)用領(lǐng)域。這些年以來，輝光深度剖面分析技術(shù)在材料表面分析領(lǐng)域得到了廣泛地應(yīng)用，人們對此技術(shù)也越來越看重。輝光放電光譜儀相比于俄歇(AES)、二次離子質(zhì)譜(SIMS)等其他的表面分析儀器，盡管原子水平的表層分析不能進(jìn)行，然而其在表層和深度部面分析方面具有非常顯著的優(yōu)勢，其又較為便宜的價(jià)格，能夠非常迅速地分析和十分方便地定量。在國外的工廠、實(shí)驗(yàn)室及研究ZX得到了非常廣泛的應(yīng)用。新材料的研究開發(fā)和產(chǎn)品的質(zhì)量控制為該技術(shù)的主要用途。

基本組成

儀器主體和配套設(shè)施共同構(gòu)成了輝光放電光譜儀。其中，輝光放電光源、光學(xué)系統(tǒng)、信號接收器及電子控制系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)軟件系統(tǒng)為構(gòu)成主體儀器的四個(gè)主要部分。標(biāo)準(zhǔn)樣品、再校準(zhǔn)標(biāo)樣、表面形貌儀、氬氣氣源、氮?dú)鈿庠础悠防鋮s系統(tǒng)、壓縮空氣等為配套設(shè)施。輝光放電燈連接(P1、P2)一對真空泵系統(tǒng)，兩個(gè)真空泵有不一樣的真空度。P2的真空度要遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過P1的真空度，真空系統(tǒng)迅速抽走被濺射的原子，從而使樣品中元素成分與接收到的光譜強(qiáng)度始終保持同步得到保證。

透鏡、狹縫、反光鏡、光柵多色儀和單色儀等是儀器的光學(xué)系統(tǒng)的主要組成部分。多色儀的每一通道僅對某一元素的某一波長的光進(jìn)行接收?？梢愿鶕?jù)用戶要求配置通道數(shù)，越多的通道數(shù)，就能夠同時(shí)將更多的元素檢測出來。一個(gè)可轉(zhuǎn)動的衍射光柵內(nèi)置于單色儀中。全譜掃描未知樣品為其主要的用途，用來定性分析或者半定量分析,其也能夠結(jié)合多色儀被作為多色儀的一個(gè)通道來使用,此時(shí)，能夠按照用戶的要求將其設(shè)定為某一元素的某一波長，使得N+1功能實(shí)現(xiàn)，從而對多色儀的不足加以彌補(bǔ)。

多色儀和單色儀內(nèi)每一通道有一個(gè)接收器,光電倍增管和電子控制系統(tǒng)共同組成了接收器，對光信號進(jìn)行接收，放大光信號后送到電子控制系統(tǒng)進(jìn)行系統(tǒng)集成并與計(jì)算機(jī)通訊是其作用。

軟件部分是Z重要的人機(jī)界面,輝光放電光譜儀有著較為簡單的操作，在軟件上進(jìn)行大部分工作的操作。QUANTUM軟件為輝光放電光譜儀的專用配套軟件。儀器的校準(zhǔn),建立標(biāo)準(zhǔn)曲線,數(shù)據(jù)處理,檢測樣品,輸出報(bào)告等為其主要的工作。